SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Applied Physics Letters

Volumn 93, Issue 16, 2008, Pages

Electron diffraction with ten nanometer beam size for strain analysis of nanodevices

(3) Armigliato, A a Frabboni, S b Gazzadi, G C b

a CNR (Italy)

b UNIVERSITY OF MODENA AND REGGIO EMILIA (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIFFRACTION; ELECTRON BEAMS; SILICON; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

BEAM SIZES; CONVERGENCE ANGLES; CROSS SECTIONS; NANOBEAM DIFFRACTIONS; NANODEVICES; QUANTITATIVE; SILICON DEVICES; SPATIAL RESOLUTIONS; SPOT POSITIONS; STRAIN ANALYSES; STRAIN INFORMATIONS; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPES;

CONVERGENCE OF NUMERICAL METHODS;

EID: 54949130565 PISSN: 00036951 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1063/1.3003581 Document Type: Article

Times cited : (29)

References (13)

1
- 0242636927
- V. Senez, A. Armigliato, I. De Wolf, G. P. Carnevale, R. Balboni, S. Frabboni, and A. Benedetti, J. Appl. Phys. 94, 5574 (2003).
- (2003) J. Appl. Phys. , vol.94 , pp. 5574
- Senez, V.¹ Armigliato, A.² De Wolf, I.³ Carnevale, G.P.⁴ Balboni, R.⁵ Frabboni, S.⁶ Benedetti, A.⁷

2
- 0037475111
- A. Armigliato, R. Balboni, G. P. Carnevale, G. Pavia, D. Piccolo, S. Frabboni, A. Benedetti, and A. G. Cullis, Appl. Phys. Lett. 82, 2172 (2003).
- (2003) Appl. Phys. Lett. , vol.82 , pp. 2172
- Armigliato, A.¹ Balboni, R.² Carnevale, G.P.³ Pavia, G.⁴ Piccolo, D.⁵ Frabboni, S.⁶ Benedetti, A.⁷ Cullis, A.G.⁸

3
- 18644369025
- A. Armigliato, R. Balboni, and S. Frabboni, Appl. Phys. Lett. 86, 063508 (2005).
- (2005) Appl. Phys. Lett. , vol.86 , pp. 063508
- Armigliato, A.¹ Balboni, R.² Frabboni, S.³

4
- 42449161474
- F. Hüe, M. J. Htch, H. Bender, F. Houdellier, and A. Claverie, Phys. Rev. Lett. 100, 156602 (2008).
- (2008) Phys. Rev. Lett. , vol.100 , pp. 156602
- Hüe, F.¹ Htch, M.J.² Bender, H.³ Houdellier, F.⁴ Claverie, A.⁵

5
- 45749105563
- M. Htch, F. Houdellier, F. Hüe, and E. Snoeck, Nature (London) 453, 1086 (2008).
- (2008) Nature (London) , vol.453 , pp. 1086
- Htch, M.¹ Houdellier, F.² Hüe, F.³ Snoeck, E.⁴

6
- 4043091241
- L. Clement, R. Pantel, L. F. Tz Kwakman, and J. L. Rouviere, Appl. Phys. Lett. 85, 651 (2004).
- (2004) Appl. Phys. Lett. , vol.85 , pp. 651
- Clement, L.¹ Pantel, R.² Tz Kwakman, L.F.³ Rouviere, J.L.⁴

7
- 33751340891
- A. Spessot, S. Frabboni, R. Balboni, and A. Armigliato, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 253, 149 (2006).
- (2006) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.253 , pp. 149
- Spessot, A.¹ Frabboni, S.² Balboni, R.³ Armigliato, A.⁴

8
- 33747373839
- F. Houdellier, C. Roucau, L. Cl̀ment, J. L. Rouvíre, and M. J. Casanove, Ultramicroscopy 106, 951 (2006).
- (2006) Ultramicroscopy , vol.106 , pp. 951
- Houdellier, F.¹ Roucau, C.² Cl̀ment, L.³ Rouvíre, J.L.⁴ Casanove, M.J.⁵

9
- 34247255401
- A. Spessot, S. Frabboni, R. Balboni, and A. Armigliato, J. Microsc. 226, 140 (2007).
- (2007) J. Microsc. , vol.226 , pp. 140
- Spessot, A.¹ Frabboni, S.² Balboni, R.³ Armigliato, A.⁴

10
- 27844598730
- K. Usuda, T. Numata, T. Irisawa, N. Hirashita, and S. Takagi, Mater. Sci. Eng., B 124-125, 143 (2005).
- (2005) Mater. Sci. Eng., B , vol.124-125 , pp. 143
- Usuda, K.¹ Numata, T.² Irisawa, T.³ Hirashita, N.⁴ Takagi, S.⁵

11
- 0037847473
- M. Gao, J. M. Zuo, R. D. Twesten, I. Petrov, L. A. Nagahara, and R. Zhang, Appl. Phys. Lett. 82, 2703 (2003).
- (2003) Appl. Phys. Lett. , vol.82 , pp. 2703
- Gao, M.¹ Zuo, J.M.² Twesten, R.D.³ Petrov, I.⁴ Nagahara, L.A.⁵ Zhang, R.⁶

12
- 33846949189
- B. Foran, Future Fab-Int'l., 20, 127 (2006).
- (2006) Future Fab-int'L. , vol.20 , pp. 127
- Foran, B.¹

13
- 54949155762
- Italy Patent (pending).
- A. Armigliato, S. Guerri, A. Migliori, G. Pizzochero, and G. C. Gazzadi, Italy Patent (pending).
- Armigliato, A.¹ Guerri, S.² Migliori, A.³ Pizzochero, G.⁴ Gazzadi, G.C.⁵

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.