Electronic sputtering with swift heavy ions

Topics in Applied Physics

Volumn 110, Issue , 2007, Pages 401-450

  Assmann, Walter ^a   Toulemonde, Marcel ^b   Trautmann, Christina ^c  

^a UNIVERSITY OF MUNICH   (Germany)

^b Centre Interdisciplinaire de Recherche Ions Lasers   (France)

^c GSI HELMHOLTZZENTRUM FÜR SCHWERIONENFORSCHUNG GMBH   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 41749090974     PISSN: 03034216     EISSN: 14370859     Source Type: Book Series    
DOI: 10.1007/978-3-540-44502-9_7     Document Type: Article

References (173)

1. A. Meftah, F. Brisard, J. M. Costantini, M. Hage-Ali, J. P. Stoquert, F. Studer, M. Toulemonde: Phys. Rev. B 48, 920 (1993) 402, 404
2. R. Katz, E. J. Kobetich: Phys. Rev. 186, 344 (1969) 402, 429
3. E. C. H. Silk, R. S. Barnes: Phil. Mag. 4, 970 (1959) 402
4. D. A. Young: Nature 183, 375 (1958) 402
5. R. L. Fleischer, P. B. Price, R. M. Walker: Nuclear Tracks in Solids. Principles and Applications (University of California Press, Berkeley 1975) 402, 403
6. R. Spohr: Ion Tracks and Microtechnology, Basic Principles and Applications (Vieweg, Braunschweig 1990) 403
7. M. Toulemonde, C. Trautmann, E. Balanzat, K. Hjort, A. Weidinger: Nucl. Instrum. Methods B 216, 1 (2004) 403
8. H. Walter, W. Prusseit, R. Semerad, H. Kinder, W. Assmann, H. Huber, H. Burkhardt, D. Rainer, J. A. Sauls: Phys. Rev. Lett. 80, 3598 (1998) 403
9. J. Wiesner: Ph.D. thesis, Univ. Darmstadt (1994) 403
10. P. K. Haff: Appl. Phys. Lett. 29, 473 (1976) 403
11. L. E. Seiberling, C. K. Meins, B. H. Cooper, J. E. Griffith, M. H. Mendenhall, T. A. Tombrello: Nucl. Instrum. Methods 198, 17 (1982) 403, 423
12. P. Sigmund: Phys. Rev. 184, 383 (1969) 403
13. I. A. Baranov, Yu. V. Martynenko, S. O. Tsepelevich, Yu. N. Yavlinskii: Sov. Phys. Usp. 31, 1015 (1988) 403, 407, 431
14. T. A. Tombrello: Nucl. Instrum. Methods B 2, 555 (1984) 403, 405
15. K. Wien: Radiat. Eff. and Def. Sol. 109, 137 (1989) 403
16. N. Itoh, A. M. Stoneham: Materials Modifications by Electronic Excitation (Cambridge Univ. Press, Cambridge 2001) 403
17. R. A. Baragiola: Phil. Trans. R. Soc. A 362, 29 (2004) 403
18. P. Sigmund (Ed.): K. Dan. Videns. Selsk. Mat. Fys. Medd. 43 (1993) 403
19. C. Houpert, F. Studer, D. Groult, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 39, 720 (1989) 404
20. A. Barbu, A. Dunlop, D. Lesueur, R. S. Averback: Europhys. Lett. 15, 426 (1991) 404, 417
21. A. Meftah, F. Brisard, J. M. Costantini, E. Dooryhée, M. Hage-Ali, M. Hervieu, J. P. Stoquert, F. Studer, M. Toulemonde: Phys. Rev. B 49, 12457 (1994) 404, 431, 438
22. A. Dunlop, H. Dammak, D. Lesueur: Nucl. Instrum. Methods B 112, 23 (1996) 404
23. J. Vetter, R. Scholz, D. Dobrev, L. Nistor: Nucl. Instrum. Methods B 141, 747 (1998) 404
24. B. Canut, N. Bonardi, S. M. M. Ramos, S. Della-Negra: Nucl. Instrum. Methods B 146, 296 (1998) 404
25. A. Dunlop, G. Jaskierowicz, S. Della-Negra: Nucl. Instrum. Methods B 146, 302 (1998) 404
26. A. Colder, O. Marty, B. Canut, M. Levalois, P. Marie, X. Portier, S. M. M. Ramos, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 174, 491 (2001) 404
27. P. I. Gaiduk, A. Nylandsted-Larsen, J. Lundsgaard Hansen, C. Trautmann, M. Toulemonde: Appl. Phys. Lett. 83, 1746 (2003) 404
28. K. Schwartz, C. Trautmann, T. Steckenreiter, O. Geiss, M. Krämer: Phys. Rev. B 58, 11232 (1998) see also C. Trautmann and M. Toulemonde and J. M. Costantini and J. J. Grob and K. Schwartz: Phys. Rev. B 62, 13 (2000) 404
29. F. Studer, Ch. Houpert, D. Groult, J. Y. Fan, A. Meftah, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 82, 91 (1993) 404
30. M. Toulemonde, G. Fuchs, N. Nguyen, F. Studer, D. Groult: Phys. Rev. B 35, 6560 (1987) 404
31. S. Ghosh, D. K. Avasthi, A. Tripathi, D. Kabiraj, S. Singh, D. S. Misra: Nucl. Instrum. Methods B 219/220, 973 (2004) 404
32. Y. Zhu, Z. X. Cai, R. C. Budhani, M. Suenaga, D. O. Welch: Phys. Rev. B 48, 6436 (1993) 404
33. R. Neumann, P. Apel, M. Toulemonde, C. Trautmann, (Eds.): Nucl. Instrum. Methods B 245 (2005) 404
34. J. M. Costantini, F. Ravel, F. Brisard, M. Caput, C. Cluzeau: Nucl. Instrum. Methods B 80/81, 1249 (1993) 404
35. T. Wiss, H. Matzke, C. Trautmann, M. Toulemonde, S. Klaumünzer: Nucl. Instrum. Methods B 122, 583 (1997) 404
36. H. Matzke, P. G. Lucuta, T. Wiss: Nucl. Instrum. Methods B 166-167, 920 (2000) 404
37. B. Canut, A. Benyagoub, G. Marest, A. Meftah, N. Moncoffre, S. M. M. Ramos, F. Studer, P. Thevenard, M. Toulemonde: Phys. Rev. B 51, 12194 (1995) 404
38. A. Benyagoub, F. Levesque, F. Couvreur, C. Gibert-Mougel, Ch. Dufour, E. Paumier: Appl. Phys. Lett. 77, 3197 (2000) 404
39. A. Benyagoub: Nucl. Instrum. Methods B 225, 88 (2004) 404
40. K. Schwartz, C. Trautmann, A. S. El-Said, R. Neumann, M. Toulemonde, W. Knolle: Phys. Rev. B 70, 184104 (2004) 404
41. I. Manika, J. Maniks, K. Schwartz, M. Toulemonde, C. Trautmann: Nucl. Instrum. Methods B 209, 93 (2003) 404
42. M. Enculescu, K. Schwartz, C. Trautmann, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 229, 397 (2005) 404
43. N. Khalfaoui, C. C. Rotaru, S. Bouffard, M. Toulemonde, J. P. Stoquert, F. Haas, C. Trautmann, J. Jensen, A. Dunlop: Nucl. Instrum. Methods B 240, 819 (2005) 404
44. K. Schwartz, C. Trautmann, R. Neumann: Nucl. Instrum. Methods B 209, 73 (2003) 404
45. C. Müller, A. Benyagoub, M. Lang, R. Neumann, K. Schwartz, M. Toulemonde, C. Trautmann: Nucl. Instrum. Methods B 209, 175 (2003) 404
46. T. Davidson, K. Schwartz, J. D. Comins, A. G. Kozakiewicz, M. Toulemonde, C. Trautmann: Phys. Rev. B 66, 214102 (2002) 404
47. C. Trautmann, M. Boccanfuso, A. Benyagoub, S. Klaumünzer, K. Schwartz, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 191, 144 (2002) 404
48. M. Boccanfuso, A. Benyagoub, K. Schwartz, M. Toulemonde, C. Trautmann: Prog. Nuc. Energy 38, 271 (2001) 404
49. M. Boccanfuso, A. Benyagoub, M. Toulemonde, C. Trautmann, K. Schwartz, Ch. Dufour: Nucl. Instrum. Methods B 175-177, 590 (2001) 404
50. F. Seitz, J. S. Koehler: in F. Seitz, D. Turnbull (Eds.): Solid. State Physics, vol. 2 (Academic, New York 1956) p. 305 404, 428
51. Z. G. Wang, Ch. Dufour, E. Paumier, M. Toulemonde: J. Phys.: Condens. Matter 6, 6733 (1994) 404, 429, 431, 432, 433, 434
52. M. Toulemonde, Ch. Dufour, A. Meftah, E. Paumier: Nucl. Instrum. Methods B 166-167, 903 (2000) 404, 429, 431, 433, 437
53. H. D. Mieskes: Ph.D. thesis, Univ. München (1999) 404, 405, 414, 417, 421, 433
54. H. D. Mieskes, W. Assmann, F. Grüner, H. Kucal, Z. G. Wang, M. Toulemonde: Phys. Rev. B 67, 155414 (2003) 404, 405, 411, 416, 417, 418, 419, 427, 429, 431, 435
55. M. Toulemonde, W. Assmann, F. Grüner, C. Trautmann: Phys. Rev. Lett. 88, 057602 (2002) 404, 405, 418, 421, 422, 423, 425, 426, 427, 428, 429, 431, 433, 437, 438
56. M. Toulemonde, W. Assmann, C. Trautmann, F. Grüner, H. D. Mieskes, H. Kucal, Z. G. Wang: Nucl. Instrum. Methods B 212, 346 (2003) 404, 405, 435, 438
57. H. H. Andersen, A. Brunelle, S. Della-Negra, J. Depauw, D. Jacquet, Y. Le Beyec, J. Chaumont, H. Bernas: Phys. Rev. Lett. 80, 5433 (1998) 404, 405, 435, 437
58. P. Sigmund, C. Claussen: J. Appl. Phys. 52, 990 (1981) 404, 428, 433, 435
59. E. M. Bringa, R. E. Johnson: Phys. Rev. Lett. 88, 165501 (2002) 405
60. W. Guthier: in A. Benninghoven (Ed.): Proceedings of the 3rd International Workshop on Ion Formation from Organic Solids, Springer Proc. Phys. 9 (Springer, Berlin, Heidelberg 1986) 405, 422, 423, 426
61. W. L. Brown, L. J. Lanzerotti, J. M. Poate, W. M. Angustyniak: Phys. Rev. Lett. 40, 1027 (1978) 405
62. J. E. Griffith, R. A. Weller, L. E. Seiberling, T. A. Tombrello: Radiat. Eff. and Def. 51, 223 (1980) 405, 409, 422, 423, 427
63. L. E. Seiberling, J. E. Griffith, T. A. Tombrello: Radiat. Eff. and Def. 52, 201 (1980) 405
64. J. P. O'Connor, L. M. Baumel, P. G. Blauner, K. M. Hubbard, M. R. Weller, R. A. Weller: Nucl. Instrum. Methods B 13, 365 (1986) 405, 417, 418, 427
65. K. M. Gibbs, W. L. Brown, R. E. Johnson: Phys. Rev. B 38, 11001 (1988) 405, 416
66. R. E. Johnson, M. Pospieszalska, W. L. Brown: Phys. Rev. B 44, 7263 (1991) 405, 428
67. H. D. Mieskes, W. Assmann, M. Brodale, M. Dobler, H. Glückler, P. Hartung, P. Stenzel: Nucl. Instrum. Methods B 146, 162 (1998) 405, 409, 412, 414, 417
68. A. Meftah, M. Djebara, J. P. Stoquert, F. Studer, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 107, 242 (1996) 405, 423
69. N. Khalfaoui, M. Beuve, S. Bouffard, M. Caron, H. Rothard, S. Schlutig, J. P. Stoquert, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 209, 304 (2003) 405
70. T. Schenkel, M. A. Briere, H. Schmidt-Böcking, K. Bethge, D. H. Schneider: Phys. Rev. Lett. 78, 2481 (1997) 405
71. T. Schenkel, A. V. Barnes, A. V. Hamza, D. H. Schneider, J. C. Banks, B. L. Doyle: Phys. Rev. Lett. 80, 4325 (1998) 405
72. A. Brunelle, S. Della-Negra, J. Depauw, D. Jacquet, Y. Le Beyec, M. Pautrat, Ch. Schoppmann: Nucl. Instrum. Methods B 125, 207 (1997) 405
73. I. A. Baranov, S. Della-Negra, M. Fallavier, S. Kirillov, Y. Le Beyec, A. Novikov, V. Obnorskii, K. Wien, S. Yarmiychuk: Nucl. Instrum. Methods B 245, 184 (2006) 405
74. A. Gutzmann, S. Klaumünzer, P. Meier: Phys. Rev. Lett. 74, 2256 (1995) 406
75. S. Sugden, C. J. Sofield, M. P. Murrell: Nucl. Instrum. Methods B 67, 569 (1992) 407, 410, 418, 423, 433
76. A. Gupta, D. K. Avasthi: Phys. Rev. B 64, 155407 (2001) 407
77. W. M. Arnoldbik, N. Tomozeiu, F. H. P. M. Habraken: Nucl. Instrum. Methods B 203, 151 (2003) 407, 410, 416, 417, 418, 423, 433
78. K. L. Merkle: Phys. Rev. Lett. 9, 150 (1962) 407
79. A. Berthelot, S. Hémon, F. Gourbilleau, Ch. Dufour, E. Dooryhée, E. Paumier: Nucl. Instrum. Methods B 146, 437 (1998) 407
80. F. Grüner, F. Bell: Phys. Rev. A 72, 024902 (2005) 407, 408, 440
81. C. M. Frey, G. Dollinger, A. Bergmaier, T. Faestermann, P. Maier-Komor: Nucl. Instrum. Methods B 107, 31 (1996) 407
82. G. Dollinger, C. M. Frey, A. Bergmaier, T. Faestermann: Nucl. Instrum. Methods B 136-138, 603 (1998) 407, 409
83. E. Baron, B. Delaunay: Phys. Rev. A 12, 40 (1975) 407
84. E. Baron, M. Bajard, Ch. Ricaud: Nucl. Instrum. Methods A 328, 177 (1993) 407
85. A. Leon, S. Melki, D. Lisfi, J. P. Grandin, P. Jardin,M. G. Suraud, A. Cassimi: Atomic Data and Nucl. Data Tables 69, 217 (1998) 407
86. D. M. Gruen, M. J. Pellin, C. E. Young, W. F. Calaway: J. Vac. Sci. Technol. A 4, 1779 (1986) 407
87. W. Husinsky, R. Bruckmüller, P. Blum: Nucl. Instrum. Methods 170, 287 (1980) 408
88. R. B.Wright, M. J. Pellin, D. M. Gruen, C. E. Young: Nucl. Instrum. Methods 170, 295 (1980) 408
89. D. M. Gruen, W. F. Calaway, M. J. Pellin, C. E. Young, D. R. Spiegel, R. N. Clayton, A. M. Davis, J. D. Blum: Nucl. Instrum. Methods B 58, 505 (1991) 408
90. H. F. Arlinghaus, M. T. Spaar, T. Tanigaki, A. W. McMahon, P. H. Holloway: J. Vac. Sci. Technol. B 12, 263 (1994) 408
91. F. M. Kimock, J. P. Baxter, N. Winograd: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 218, 287 (1983) 408
92. M. Roth, B. Walz, G. Schiwietz, B. Schattat: in ISL Annual Report (HMI, Berlin 2004) p. 13 408
93. W.-K. Chu, J. W. Mayer, M.-A. Nicolet: Backscattering Spectrometry (Academic, New York 1978) 409
94. W. Assmann, J. A. Davies, G. Dollinger, J. S. Forster, H. Huber, T. Reichelt, R. Siegele: Nucl. Instrum. Methods B 118, 242 (1996) 409, 414
95. G. Dollinger, M. Boulouednine, A. Bergmaier, T. Faestermann, C. M. Frey: Nucl. Instrum. Methods B 118, 291 (1996) 409, 441
96. S. Bouffard, J. P. Duraud, M. Mosbah, S. Schlutig: Nucl. Instrum. Methods B 141, 372 (1998) 409
97. K. G. Libbrecht, J. E. Griffith, R. A. Weller, T. A. Tombrello: Rad. Eff. and Def. 49, 195 (1980) 409
98. M. R. Weller, T. A. Tombrello: Radiat. Eff. and Def. 49, 239 (1980) 409
99. N. Matsunami, M. Sataka, A. Iwase: Nucl. Instrum. Methods B 175-177, 56 (2001) 409, 421, 422, 423
100. G. Hayderer, M. Schmid, P. Varga, H. P. Winter, F. Aumayr: Rev. Sci. Instrum. 70, 3696 (1999) 410
101. S. Ninomiya, C. Imada,M. Nagai, Y. Nakata, T. Aoki, J. Matsuo, N. Imanishi: Nucl. Instrum. Methods B 230, 483 (2003) 410
102. W. Assmann, P. Hartung, H. Huber, P. Staat, H. Steffens, Ch. Steinhausen: Nucl. Instrum. Methods B 85, 726 (1994) 413
103. W. Assmann, H. Huber, Ch. Steinhausen, M. Dobler, H. Glückler, A. Weidinger: Nucl. Instrum. Methods B 89, 131 (1994) 413, 414
104. C. K. Meins, J. E. Griffith, Y. Qiu, M. H. Mendenhall, L. E. Seiberling, T. A. Tombrello: Radiat. Eff. and Def. 71, 13 (1983) 416, 417, 423, 426
105. W. Assmann, M. Toulemonde, C. Trautmann, K.-O. Voss: unpublished data 417, 418, 423, 427, 441
106. E. M. Bringa, R. E. Johnson: Surf. Sci. 451, 108 (2000) 416, 428
107. J. P. O'Connor, P. G. Blauner, R. A. Weller: Nucl. Instrum. Methods 218, 293 (1983) 417
108. J. P. Biersack: Nucl. Instrum. Methods B 27, 21 (1987) 417, 418, 419, 420, 428
109. H. Dammak, D. Lesueur, A. Dunlop, P. Legrand, J. Morillo: Radiat. Eff. Def. Solids 126, 111 (1993) 417
110. A. Dunlop, D. Lesueur, J. Morillo, J. Dural, R. Spohr, J. Vetter: Nucl. Instrum. Methods B 48, 419 (1990) 417
111. Ch. Dufour, A. Audouard, F. Beuneu, J. Dural, J. P. Girard, A. Hairie, M. Levalois, E. Paumier, M. Toulemonde: J. of Phys.: Condens. Matt. 5, 4573 (1993) 417, 429, 430, 431
112. A. Audouard, E. Balanzat, S. Bouffard, J. C. Jousset, A. Chamberod, A. Dunlop, D. Lesueur, G. Fuchs, R. Spohr, J. Vetter, L. Thomé: Phys. Rev. Lett. 65, 875 (1990) 417
113. A. Barbu, A. Dunlop, A. Hardouin-Duparc, G. Jaskierowicz, N. Lorenzelli: Nucl. Instrum. Methods B 145, 354 (1998) 417
114. S. Klaumünzer, M.-D. Hou, G. Schumacher: Phys. Rev. Lett. 57, 850 (1986) 417
115. M.-D. Hou, S. Klaumünzer, G. Schumacher: Phys. Rev. B 41, 1144 (1990) 417
116. A. Audouard, E. Balanzat, J. C. Jousset, A. Chamberod, G. Fuchs, D. Lesueur, L. Thomé: Philos. Mag. B 63, 727 (1991) 417
117. H. H. Andersen, A. Johansen, V. S. Touboltsev: Nucl. Instrum. Methods B 164-165, 727 (2000) 418
118. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, U. Littmark: The stopping and ranges of ions in matter, in The Stopping and Range of Ions in Solids, vol. 1 (Pergamon, New York 1985) 419, 420, 421
119. S. Schlutig: Ph.D. thesis, Univ. Caen (2001) URL: http://tel.archives- ouvertes.fr/tel-00002110 421, 422, 423, 427
120. T. van Dillen, E. Snoeks, W. Fukarek, C. M. van Kats, K. P. Velikov, A. van Blaaderen, A. Polman: Nucl. Instrum. Methods B 175-177, 350 (2001) 421
121. M. Toulemonde, S. M. M. Ramos, H. Bernas, C. Clerc, B. Canut, J. Chaumont, C. Trautmann: Nucl. Instrum. Methods B 178, 331 (2001) 421
122. N. Matsunami, M. Sataka, A. Iwase: Nucl. Instrum. Methods B 193, 830 (2002) 421, 422, 423
123. N. Matsunami, M. Sataka, A. Iwase, S. Okayasu: Nucl. Instrum. Methods B 209, 288 (2003) 421, 422, 423
124. Y. Qiu, J. E. Griffith, T. A. Tombrello: Rad. Eff. and Def. 1, 111 (1982) 422
125. G. K. Wehner: J. Appl. Phys. 26, 1056 (1955) 424
126. J. P. Biersack, W. Eckstein: Appl. Phys. 34, 73 (1984) 428
127. H. M. Urbassek, H. Kafeman, R. E. Johnson: Phys. Rev. B 49, 786 (1994) 428, 439
128. D. A. Young: Nucl. Instrum. Methods B 225, 231 (2004) 428, 439
129. D. A. Young: Nucl. Instrum. Methods B 252, 175 (2006) 428, 439
130. E. M. Bringa, R. E. Johnson, L. Dutkiewicz: Nucl. Instrum. Methods B 152, 267 (1999) 428
131. E. M. Bringa, R. E. Johnson: Nucl. Instrum. Methods B 180, 99 (2001) 428
132. M. Beuve, N. Stolterfoht, M. Toulemonde, C. Trautmann, H. M. Urbassek: Phys. Rev. B 68, 125423 (2003) 428, 439, 441
133. R. E. Johnson, R. Evatt: Rad. Eff. and Def. 52, 187 (1980) 428
134. I. M. Lifshitz, M. I. Kaganov, L. V. Tanatarov: J. Nucl. Energy A 12, 69 (1960) 429
135. S. I. Anisimov, B. L. Kapeliovich, T. L. Perel'man: Sov. Phys. JETP 39, 375 (1974) 429
136. A. Meftah, M. Djebara, N. Khalfaoui, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 146, 431 (1998) 429
137. A. Meftah, J. M. Costantini, N. Khalfaoui, S. Boudjadar, J. P. Stoquert, F. Studer, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 237, 563 (2005) 429, 431, 433
138. Z. G. Wang, Ch. Dufour, E. Paumier, M. Toulemonde: Nucl. Instrum. Methods B 115, 577 (1996) 429
139. Ch. Dufour, Z. G. Wang, E. Paumier, M. Toulemonde: Bull. Mater. Sci. 22, 671 (1999) 429
140. G. H. Vineyard: Rad. Eff. and Def. 29, 245 (1976) 429
141. M. P. R. Waligorski, R. N. Hamm, R. Katz: Nucl. Tracks Radiat. Meas. 11, 309 (1986) 429
142. B. Gervais, S. Bouffard: Nucl. Instrum. Methods B 88, 355 (1994) 429
143. G. Somorjai: Chemistry in Two Dimensions: Surfaces (Cornell Univ. Press, Ithaca 1981) 430
144. Yu. V. Martynenko, Yu. N. Yavlinskii: Sov. Phys. Dokl. 28, 391 (1983) 430
145. M. I. Kaganov, I. M. Lifshitz, L. V. Tanatarov: Zh. Tekh. Fiz. 31, 237 (1956) 430
146. P. Hermes, B. Danielzik, N. Fabricius, D. von der Linde, J. Kuhl, J. Huppner, B. Stritzker, A. Pospieszcyk: Appl. Phys. A 39, 9 (1986) 431
147. M. Toulemonde, Ch. Dufour, Z. G. Wang, E. Paumier: Nucl. Instrum. Methods B 112, 126 (1996) 432
148. S. D. Brorson, A. Kazeroonian, J. S. Moodera, D. W. Face, T. K. Cheng, E. P. Ippen, M. S. Dresselhaus, G. Dresselhaus: Phys. Rev. Lett. 64, 2172 (1990) 433, 435, 437
149. R. F. Haglund, R. Kelly: Mat. Fys. Medd. 43, 527 (1992) 433
150. P. Sigmund: Appl. Phys. Lett. 25, 169 (1974) 433, 435
151. P. Sigmund: Appl. Phys. Lett. 27, 52 (1975) 433, 435
152. P. Sigmund: Nucl. Instrum. Methods B 164-165, 401 (2000) 435
153. H. L. Bay, H. H. Andersen, W. O. Hofer, O. Nielsen: Nucl. Instrum. Methods 132, 301 (1976) 435
154. C. P. Flynn, R. S. Averback: Phys. Rev. B 38, 7118 (1988) 435
155. D. K. Tappin, I. M. Robertson, M. A. Kirk: Phil. Mag. A 70, 463 (1994) 435
156. M. W. Finnis, P. Agnew, A. J. E. Foreman: Phys. Rev. B 44, 567 (1991) 435
157. J. A. M. Pereira, E. F. da Silveira: Nucl. Instrum. Methods B 127-128, 157 (1997) 439
158. J. Bok: J. Phys. C Paris 5, 3 (1983) 439
159. G. S. Khoo, C. K. Ong, N. Itoh: J. Phys.: Condens. Matter 5, 1187 (1993) 439
160. P. Stampfli, K. H. Benneman: Appl. Phys. A 60, 191 (1995) 439
161. N. Itoh, A. M. Stoneham: Nucl. Instrum. Methods B 146, 362 (1998) 439
162. N. Itoh: Nucl. Instrum. Methods B 135, 175 (1998) 439
163. R. E. Johnson, B. U. R. Sundqvist, S. Hedin, D. Fenyö: Phys. Rev. B 40, 49 (1989) 439
164. M. M. Jakas, E. M. Bringa: Phys. Rev. B 62, 824 (2000) 439
165. A. Berthelot, S. Hémon, F. Gourbilleau, Ch. Dufour, B. Domenges, E. Paumier: Phil. Mag. A 80, 2257 (2000) 439
166. A. Berthelot: Ph.D. thesis, Univ. Caen (2000) 439
167. Ch. Dufour, S. Hémon, F. Gourbilleau, E. Paumier, E. Dooryhée: Mater. Sci. Forum 248-249, 21 (1997) 439
168. J. P. Rozet, C. Stephan, D. Vernhet: Nucl. Instrum. Methods B 107, 67 (1996) 440
169. W. Assmann, R. Grüner, M. Schubert, M. Toulemonde, G. Miehe, C. Trautmann, K.-O. Voss: in MLL Annual Report (Univ. of Munich, Accelerator Laboratory, Garching 2002) 441
170. R. C. Birtcher, S. E. Donnelly, S. Schlutig: Phys. Rev. Lett. 85, 4968 (2000) 441
171. R. C. Birtcher, S. E. Donnelly, S. Schlutig: Nucl. Instrum. Methods B 215, 69 (2004) 441
172. E. Mahner, J. Hansen, J.-M. Laurent, N. Madsen: Phys. Rev. ST-AB 6, 013201 (2003) 442
173. H. Kollmus, M. Bender, M. C. Bellachioma, E. Mahner, L. Westerberg, E. Hedlund, O. B. Malyshev, A. Krämer, H. Reich-Sprenger: AIP Proc. 773, 207 (2005) 442