Patterning by ion-beam sputtering

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 52, Issue SUPPL. 2, 2008, Pages

  Joe, M ^a   Choi, C ^a   Kahng, B ^a   Kwak, C Y ^b   Kim, J S ^c  

^a Seoul National University   (South Korea)

^b Konkuk University   (South Korea)

^c Sookmyung Women's University   (South Korea)

Author keywords

Ion beam sputtering; Kuramoto Sivashinsky equation; Nanopattern

Indexed keywords

EID: 40449092574     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (56)

1. S. Facsko, T. Dekorsy, C. Koerdt, C. Trappe, H. Kurz, A. Vogt and H. L. Hartnagel, Science 285, 1551 (1999).
2. D. Flamm, F. Frost and D. Hirsch, Appl. Surf. Sci. 179, 95 (2001).
3. C. C. Umbach, R. L. Headrick and K.-C. Chang, Phys. Rev. Lett. 87, 246104 (2001).
4. A. Toma, F. B. de Mongeot, R. Buzio, G. Firpo, S. R. Bhattacharyya, C. Boragno and U. Valbusa, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 230, 551 (2005).
5. J. Erlebacher, M. J. Aziz, E. Chason, M. B. Sinclair and J. A. Floro, Phys. Rev. Lett. 82, 2330 (1999).
6. Z. X. Liu and P. F. A. Alkemade, Appl. Phys. Lett. 79, 4334 (2001).
7. S. Habenicht, K. P. Lieb, J. Koch and A. D. Wieck, Phys. Rev. B 65, 115327 (2002).
8. R. Gago, L. Vázquez, R. Cuerno, C. Ballesteros and J. M. Albella, Nanotechnology 13, 304 (2002).
9. B. Ziberi, F. Frost, Th. Höche and B. Rauschenbach, Phys. Rev. B 72, 235310 (2005).
10. A.-D. Brown and J. Erlebacher, Phys Rev. Lett. 95, 056101 (2005).
11. S. Rusponi, G. Costantini, C. Boragno and U. Valbusa, Phys. Rev. Lett. 81, 2735 (1998).
12. U. Valbusa, C Boragno and F. B. de Mongeot, J. Phys.: Condens. Matter 14, 8153 (2002).
13. W. L. Chan, N. Pavenayotin and E. Chason, Phys. Rev. B 69, 245413 (2004).
14. P. Karmaker and D. Ghose, Surf. Sci. Lett. 554, L101 (2004).
15. H. Hansen, A. Redinger, S. Messlinger, G. Stoian, Y. Rosandi, H. M. Urbassek, U. Linke and T. Michely, Phys. Rev. B 73, 235414 (2006).
16. see L. Jacak, P. Hawrylak and A. Wojs, Quantum Dots (Springer-Verlag, Berlin, 1998).
17. N. J. Kim, Y. D. Jang, J. S. Yim, J. H. Lee, D. Lee, S. H. Pyun, W. G. Jeong and J. W. Jang, J. Korean Phys. Soc. 48, 1210 (2006).
18. H. Hasegawa, J. Korean Phys. Soc. 50, 543 (2007).
19. H. S. Lee, H. J. Kim, J. C. Choi, J. S. Kim and T. W. Kim, J. Korean Phys. Soc. 50, 759 (2007).
20. P. Sigmund, Phys. Rev. 184, 383 (1969);
21. ibid. J. Mater. Sci. 8, 1545 (1973).
22. M. A. Makeev, R. Cuerno and A.-L. Barabási, Nuc. Inst. and Methods Phys. Res. B 197, 185 (2002).
23. R. M. Bradley and J. M. E. Harper, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2390 (1988).
24. I. Koponen, M. Hautala and O.-P. Sievaenen, Phys. Rev. Lett. 78, 2612 (1997).
25. K. Wittmaack, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2246 (1990).
26. J. Erlebacher, M. J. Aziz, E. Chason, M. B. Sinclair and J. A. Floro, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 115 (2000).
27. J. J. Vajo, R. E. Doty and E.-H. Cirlin, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 76 (1988).
28. S. Rusponi, G. Costantini, C. Boragno and U. Valbusa, Phys. Rev. Lett. 81, 2735 (1998).
29. E. A. Eklund, R. Bruinsma, J. Ruidnick and R. S. Williams, Phys. Rev. Lett. 67, 1759 (1991).
30. H.-N. Yang, G.-C. Wang and T-M. Lu, Phys. Rev. B 50, 7635 (1994).
31. R. Cuerno and A.-L. Barabási, Phys. Rev. Lett. 74, 4746 (1995).
32. M. A. Makeev and A.-L. Barabási, Appl. Phys. Lett. 71, 2800 (1997).
33. M. Kardar, G. Parisi and Y.-C. Zhang, Phys. Rev. Lett. 56, 889 (1986).
34. D. E. Wolf, Phys. Rev. Lett. 67, 1783 (1991).
35. M. Rost and J. Krug, Phys. Rev. Lett. 75, 3894 (1995).
36. S. Facsko, T. Bobek, A. Stahl, H. Kurz and T. Dekorsy, Phys. Rev. B 69, 153412 (2004).
37. S. Facsko, T. Dekorsy and H. Kurz, Phys. Rev. B 63, 165329 (2001).
38. F. Frost, A. Schindler and F. Bigl, Phys. Rev. Lett. 85, 4116 (2000).
39. M. Castro, R. Cuerno, L. Vázquez and R. Gago, Phys. Rev. Lett. 94, 016102 (2005).
40. J. Muñoz-García, M. Castro and R. Cuerno, Phys. Rev. Lett. 96, 086101 (2006).
41. O. Terzidis, P. Claudin and J.-P. Bouchaud, Eur. Phys. J. B 5, 245 (1998).
42. A. Valance and F. Rioual, Eur. Phys. J. B 10, 543 (1999).
43. Z. Csahók, C. Misbah, F. Rioual and A. Valance, Eur. Phys. J. E 3, 71 (2000).
44. T. Aste and U. Valbusa, Physica A (Amsterdam) 332, 548 (2004).
45. G. Carter, Vacuum 77, 97 (2004);
46. ibid 79, 106 (2005).
47. S. Vogel and S. J. Linz, Phys. Rev. B 75, 085425 (2007).
48. http://www.srim.org.
49. W. H. Press, B. P. Flannery, S. A. Teukolsky and W. T. Vetterling, Numerical Recipes (Cambridge Univ. Press, Cambridge, 1986).
50. S. Park, B. Kahng, H. Jeong and A.-L. Barabási, Phys. Rev. Lett. 83, 3486 (1999).
51. B. Kahng, H. Jeong and A.-L. Barabási, Appl. Phys. Lett. 78, 805 (2001).
52. B. Kahng, H. Jeong and A.-L. Barabasi, J. Korean Phys. Soc. 39, 421 (2001).
53. Y. Ban, T. Won and J. Lee, J. Korean Phys. Soc. 35, S829 (1999).
54. Y. Ban, O. Kwon and T. Won, J. Korean Phys. Soc. 39, 93 (2001).
55. S. Habenicht, W. Boise, H. Feldermann, U. Geyer, H. Hofsass, K. P. Lieb and F. Roccaforte, Europhys. Lett. 50, 209 (2000).
56. J. Kim, B. Kahng and A.-L. Barabási, Appl. Phys. Lett. 81, 3654 (2002).