Large-scale production of amorphous silicon oxynitride nanowires by nickel-catalyzed transformation of silicon wafers in NH3 plasma

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 112, Issue 1, 2008, Pages 27-34

  Zheng, Jie ^a   Song, Xubo ^a   Li, Xingguo ^a,b   Pu, Yikang ^c  

^a PEKING UNIVERSITY   (China)

^b PEKING UNIVERSITY   (China)

^c TSINGHUA UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS SILICON; CATALYST ACTIVITY; HEAT TREATMENT; NANOPARTICLES; NANOWIRES; NICKEL;

AMORPHOUS SILICON OXYNITRIDE NANOWIRES; NITROGEN INCORPORATION;

SILICON WAFERS;

EID: 38549174087     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp075313w     Document Type: Article

References (46)

1. Buchanan, D. A. Ibm J. Res. Dev. 1999, 43, 245.
2. de Ridder, R. M.; Worhoff, K.; Driessen, A.; Lambeck, P. V.; Albers, H. IEEE J. Sel. Top. Quant. 1998, 4, 930.
3. Worhoff, K.; Hilderink, L. T. H.; Driessen, A.; Lambeck, P. V. J. Electrochem. Soc. 2002, 149, F85.
4. Worhoff, K.; Lambek, P. V.; Driessen, A. J. Lightwave Technol. 1999, 17, 1401.
5. Guo, X.; Ma, T. P. IEEE Electron Device Lett. 1998, 19, 207.
6. Xia, Y. N.; Yang, P. D.; Sun, Y. G.; Wu, Y. Y.; Mayers, B.; Gates, B.; Yin, Y. D.; Kim, F.; Yan, Y. Q. Adv. Mater. 2003, 15, 353.
7. Gundiah, G.; Madhav, G. V.; Govindaraj, A.; Seikh, M. M.; Rao, C. N. R. J. Mater. Chem. 2002, 12, 1606.
8. Ran, G. Z.; You, L. P.; Dai, L.; Liu, Y. L.; Lv, Y.; Chen, X. S.; Qin, G. G. Chem. Phys. Lett. 2004, 384, 94.
9. Sunkara, M. K.; Sharma, S.; Chandrasekaran, H.; Talbott, M.; Krogman, K.; Bhimarasetti, G. J. Mater. Chem. 2004, 14, 590.
10. Zheng, B.; Wu, Y. Y.; Yang, P. D.; Liu, J. Adv. Mater. 2002, 14, 122.
11. Pan, Z. W.; Dai. Z. R.; Ma, C.; Wang, Z. L. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 1817.
12. Luo, S. D.; Zhou, W. Y.; Chu, W. G.; Shen, J.; Zhang, Z. X.; Liu, L. F.; Liu, D. F.; Xiang, Y. J.; Ma, W. J.; Xie, S. S. Small 2007, 3, 444.
13. Pan, Z. W.; Dai, S.; Beach, D. B.; Lowndes. D. H. Nano Lett. 2003, 3, 1279.
14. Pan, Z. W.; Dai, S.; Beach, D. B.; Lowndes, D. H. Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 3159.
15. Dai, L.; You, L. P.; Duan, X. F.; Lian, W. C.; Qin, G. G. Phys. Lett. A 2005, 335, 304.
16. Chen, X. H.; Xing, Y. J.; Xu, J.; Xiang, J.; Yu, D. P. Chem. Phys. Lett. 2003, 374, 626.
17. Jin, S.; Li, Q.; Lee, C. S. Phys. Status Solidi A 2001, 188, R1.
18. Lee, K. H.; Yang, H. S.; Baik, K. H.; Bang, J.; Vanfleet, R. R.; Sigmund, W. Chem. Phys. Lett. 2004, 383, 380.
19. Yu, D. P.; Xing, Y. J.; Hang, Q. L.; Yan, H. F.; Xu, J.; Xi, Z. H.; Feng, S. Q. Physica E 2001, 9, 305.
20. Hsu, J. H.; Huang, M. H.; Lin, H. H.; Lin, H. N. Nanotechnology 2006, 17, 170.
21. Ma, R. Z.; Bando, Y. Chem. Phys. Lett. 2003, 377, 177.
22. Chen, Y. Q.; Zhou, Q. T.; Jiang, H. F.; Su, Y.; Xiao, H. H.; Zhu, L. A.; Xu, L. A. Nanotechnology 2006, 17, 1022.
23. Kar, S.; Chaudhuri, S. Solid State Commun. 2005, 133, 151.
24. Park, H. K.; Yang, B.; Kim, S. W.; Kim, G. H.; Youn, D. H.; Kim, S. H.; Maeng, S. L. Physica E 2007, 37, 158.
25. Hu, J. Q.; Zhang, Y.; Meng, X. M.; Lee, C. S.; Lee, S. T. Small 2005, 1, 429.
26. Wang, H.; Zhang, X. H.; Meng, X. M.; Zhou, S. M.; Wu, S. K.; Shi, W. S.; Lee, S. Angew. Chem., Int. Ed. 2005, 44, 6934.
27. Wu, P.; Zou, X. Q.; Chi, L. F.; Li, Q.; Xiao, T. Nanotechnology 2007, 18.
28. Kim, H. W.; Shim, S. H.; Lee, J. W. Physica E 2007, 37, 163.
29. Kim, H. Y.; Park, J.; Yang, H. Chem. Phys. Lett. 2003, 372, 269.
30. Xu, C. K.; Kim, M.; Chun, J.; Kim, D. E.; Chon, B.; Hong, S.; Joo, T. Scripta Mater. 2005, 53, 949.
31. Sunkara, M. K.; Sharma, S.; Miranda, R.; Lian, G.; Dickey, E. C. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 1546.
32. Massalski, T. B.; Murray, J. L.; Bennett, L. H.; Baker, H. Binary Ally Phase Diagrams; American Society for Metals: Metals Park, OH, 1986.
33. Lee, P. S.; Mangelinck, D.; Pey, K. L.; Ding, J.; Dai, J. Y.; Ho, C. S.; See, A. Microelectron. Eng. 2000, 51-2, 583.
34. Fateev, A.; Leipold, F.; Kusano, Y.; Stenum, B.; Tsakadze, E.; Bindslev, H. Plasma Procecss. Polym. 2005, 2, 193.
35. Xiong, Y. J.; McLellan, J. M.; Chen, J. Y.; Yin, Y. D.; Li, Z. Y.; Xia, Y. N. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 17118.
36. Leng, Y. H.; Zhang, Y. H.; Liu, T.; Suzuki, M.; Li, X. G. Nanotechnology 2006, 17, 1797.
37. Tahara, H.; Yonezawa, T.; Andoh, Y.; Yoshikawa, T. IEEE T. Plasma Sci. 1998, 26, 1307.
38. Saulig-Wenger, K.; Cornu, D.; Chassagneux, F.; Epicier, T.; Miele, P. J. Mater. Chem. 2003, 13, 3058.
39. Gritsenko, V. A.; Kwok, R. W. M.; Wong, H.; Xu, J. B. J. Non-Cryst. Solids 2002, 297, 96.
40. Behrens, K. M.; Klinkenberg, E. D.; Finster, J.; Meiwes-Broer, K. H. Surf. Sci. 1998, 404, 729.
41. Sassella, A. Phys. Rev. B 1993, 48, 14208.
42. Hasegawa, S.; He, L.; Inokuma, T.; Kurata, Y. Phys. Rev. B 1992, 46, 12478.
43. He, L.; Inokuma, T.; Kurata, Y.; Hasegawa, S. J. Non-Cryst. Solids 1995, 185, 249.
44. Eriksson, T. S.; Granqvist, C. G. J. Appl. Phys. 1986, 60, 2081.
45. Wada, N.; Solin, S. A.; Wong, J.; Prochazka, S. J. Non-Cryst. Solids 1981, 43, 1.
46. Kuzuba. T.; Kijima, K.; Bando, Y. J. Chem. Phys. 1978, 69, 40.