Light output improvement of InGaN ultraviolet light-emitting diodes by using wet-etched stripe-patterned sapphire substrates

Journal of Applied Physics

Volumn 102, Issue 8, 2007, Pages

  Pan, Chang Chi ^a   Hsieh, Chi Hsun ^a   Lin, Chih Wei ^a   Chyi, Jen Inn ^a  

^a NATIONAL CENTRAL UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ETCHING DEPTH; LIGHT OUTPUT; STRIPE-PATTERNED;

LIGHT EMITTING DIODES; OPTICAL PROPERTIES; SAPPHIRE; SEMICONDUCTING INDIUM COMPOUNDS; SUBSTRATES; WET ETCHING;

ULTRAVIOLET LAMPS;

EID: 35648956687     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2798537     Document Type: Article

References (17)

1. S. Nakamura, S. Senoh, N. Iwasa, and S. Nagahama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L797 (1995).
2. C.-C. Pan, C.-M. Lee, J.-W. Liu, G.-T. Chen, and J.-I. Chyi, Appl. Phys. Lett. 84, 5249 (2004).
3. I. Akasaki and H. Amano, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 5393 (1997).
4. Y. Sato, N. Takahashi, and S. Sato, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 35, L838 (1996).
5. F. Hide, P. Kozodoy, S. P. Denbaars, and A. J. Heeger, Appl. Phys. Lett. 70, 2664 (1997).
6. S. D. Lester, F. A. Ponce, M. G. Craford, and D. A. Steigerwald, Appl. Phys. Lett. 66, 1249 (1995).
7. R. W. McClelland, C. O. Bozler, and J. C. C. Fan, Appl. Phys. Lett. 37, 560 (1980).
8. Y. Kato, S. Kitamura, K. Hiramatsu, and N. Sawaki, J. Cryst. Growth 144, 133 (1994).
9. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahata, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano, and K. Chocho, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1568 (1997).
10. T. S. Zheleva, S. A. Smith, D. B. Thomson, T. Gehrke, K. J. Linthicum, P. Rajagopal, E. Carlson, W. M. Ashmawi, and R. F. Davis, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 4S1, 537 (1999).
11. A. Usui, H. Sunakawa, A. Sakai, and A. A. Yamaguchi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L899 (1997).
12. H. Miyake, A. Motogaito, and K. Hiramatsu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 38, L1000 (1999).
13. K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 40, L583 (2001).
14. M. Yamada, T. Mitani, Y. Narukawa, S. Shioji, I. Niki, S. Sonobe, K. Deguchi, M. Sano, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 41, L1431 (2002).
15. Y. J. Lee, J. M. Hwang, T. C. Hsu, M. H. Hsieh, M. J. Jou, B. J. Lee, T. C. Lu, and H. C. Kuo, IEEE Photonics Technol. Lett. 18, 1152 (2006).
16. J. Wang, L. W. Guo, H. Q. Jia, Y. Wang, Z. G. Xing, W. Li, H. Chen, and J. M. Zhou, J. Electrochem. Soc. 153, C182 (2006).
17. H. Kudo, Y. Ohuchi, T. Jyouichi, T. Tsunekawa, H. Okagawa, K. Tadatomo, Y. Sudo, M. Kato, and T. Taguchi, Phys. Status Solidi A 200, 95 (2003).