Improvement of charge storage characteristics on floating gated nonvolatile memory devices with In2O3 nanoparticles embedded polyimide gate insulator

Applied Physics Letters

Volumn 91, Issue 4, 2007, Pages

  Koo, Hyun Mo ^a   Cho, Won Ju ^a   Lee, Dong Uk ^b   Kim, Seon Pil ^b   Kim, Eun Kyu ^b  

^a Kwangwoon University   (South Korea)

^b Hanyang University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; HYDROGEN; NANOPARTICLES; NONVOLATILE STORAGE; POLYIMIDES; SELF ASSEMBLY; SEMICONDUCTING INDIUM COMPOUNDS;

CHARGE STORAGE; NONVOLATILE MEMORY DEVICES; PARTICLE DENSITY; POLYMER PRECURSORS;

DATA STORAGE EQUIPMENT;

EID: 34547394401     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2764558     Document Type: Article

References (17)

1. H. I. Hanafi, S. Tiwari, and I. Khan, IEEE Trans. Electron Devices 43, 1553 (1996).
2. J. Blauwe, IEEE Trans. Nanotechnol. 1, 72 (2002).
3. S. S. Kim, W.-J. Cho, C.-G. Ahn, K. Im, J.-H. Yang, I.-B. Baek, S. Lee, and K. S. Lim, Appl. Phys. Lett. 88, 223502 (2006).
4. T. Z. Lu, M. Alexe, R. Scholz, V. Talelaev, and M. Zacharias, Appl. Phys. Lett. 87, 202110 (2005).
5. D. U. Lee, M. S. Lee, J.-H. Kim, E. K. Kim, H.-M. Koo, W.-J. Cho, and W. M. Kim, Appl. Phys. Lett. 90, 093514 (2007).
6. F. M. Yang, T. C. Chang, P. T. Liu, U. S. Chen, P. H. Yeh, Y. C. Yu, J. Y. Lin, S. M. Sze, and J. C. Lou, Appl. Phys. Lett. 90, 222104 (2007).
7. F. M. Yang, T. C. Chang, P. T. Liu, P. H. Yeh, U. S. Chen, J. C. Yu, J. Y. Lin, S. M. Sze, and J. C. Lou, Appl. Phys. Lett. 90, 212108 (2007).
8. Y.-H. Kim, G. F. Walker, J. Kim, and J. Park, J. Adhes. Sci. Technol. 1, 331 (1987).
9. J. H. Kim, J. Y. Jin, J. H. Jung, I. Lee, T. W. Kim, S. K. Kim, C. S. Yoon, and Y.-H. Kim, Appl. Phys. Lett. 86, 032904 (2005).
10. J. H. Jung, J. H. Kim, T. W. Kim, C. S. Yoon, Y.-H. Kim, and S. Jin, Appl. Phys. Lett. 89, 022112 (2006).
11. E. K. Kim, J.-H. Kim, D. U. Lee, G. H. Kim, and Y.-H. Kim, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 45, 7209 (2006).
12. J. H. Kim, K. H. Baek, C. K. Kim, Y. B. Kim, and C. S. Yoon, Appl. Phys. Lett. 90, 123118 (2007).
13. Y. Chung, H. P. Park, H. J. Jeon, C. S. Yoon, S. K. Kim, and Y.-H. Kim, J. Vac. Sci. Technol. B 21, L9 (2003).
14. D. H. Zhang, C. Li, S. Han, X. L. Liu, T. Tang, W. Jin, and C. W. Zhou, Appl. Phys. Lett. 82, 112 (2003).
15. D. U. Lee, J.-H. Kim, and E. K. Kim, J. Korean Phys. Soc. 49, 1188 (2006).
16. M. H. Yi, W. Huang, M. Y. Jin, and K. Y. Choi, Macromolecules 30, 5606 (1997).
17. W.-J. Cho and C.-G. Ahn, Appl. Phys. Lett. 90, 143509 (2007).