Surface reactivity of OH molecules during deposition of SiO2 from siloxane-based plasmas

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 108, Issue 28, 2004, Pages 9821-9828

  Zhang, Jianming ^a   Fisher, Ellen R ^a  

^a Veterinary Dentistry and Oral Surgery   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACTIVATION ENERGY; DEPOSITION; FILM GROWTH; ISOTOPES; ORGANIC COMPOUNDS; OXIDATION; PHASE SEPARATION; PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; PLASMAS; SUBSTRATES; SURFACE CHEMISTRY;

GAS PHASES; ORGANOSILANES; OXIDANTS; SUBSTRATE TEMPERATURE;

SILICA;

EID: 3442899332     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp031222x     Document Type: Article

References (38)

1. Lieberman, M. A.; Lichtenberg, A. J. Principles of Plasma Discharges and Material Processing; Wiley and Sons: New York, 1994.
2. Chang, C. P.; Pai, C. S.; Hsieh, J. J. J. Appl. Phys. 1990, 67, 2119.
3. Pai, C. S. Mater. Chem. Phys. 1996, 44, 1.
4. Deshmukh, S. C.; Aydil, E. S. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 3185.
5. Deshmukh, S. C.; Aydil, E. S. J. Vac. Sci. Technol. A 1995, 13, 2355.
6. Deshmukh, S. C.; Aydil, E. S. J. Vac. Sci. Technol. B 1996, 14, 738.
7. Fracassi, F.; d'Agostino, R.; Favia, P. J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 2636.
8. Pai, C. S.; Chang, C. P. J. Appl. Phys. 1990, 68, 793.
9. Selamoglu, N.; Mucha, J. A.; Ibbotson, D. E.; Flamm, D. L. J. Vac. Sci. Technol. B 1989, 7, 1345.
10. Bogart, K. H. A.; Dalleska, N. F.; Bogart, G. R.; Fisher, E. R. J. Vac. Sci. Technol. A 1995, 13, 476.
11. Bogart, K. H. A.; Ramirez, S. K.; Gonzales, L. A.; Bogart, G. R.; Fisher, E. R. J. Vac. Sci. Technol. A 1998, 16, 3175.
12. Zhang, J.; Wavhal, D. S.; Fisher, E. R. J. Vac. Sci. Technol. A 2004, 22, 201.
13. Zhang, J.; Garton, D. J.; Minton, T. K. J. Chem. Phys. 2002, 117, 6239.
14. Garton, D. J.; Minton, T. K.; Alagia, M.; Balucani, N.; Casavecchia, P.; Volpi, G. G. Faraday Discuss. 1997, 108, 387.
15. Ho, P.; Breiland, W. G.; Buss, R. J. J. Chem. Phys. 1989, 91, 2627.
16. McCurdy, P. R.; Bogart, K. H. A.; Dalleska, N. F.; Fisher, E. R. Rev. Sci. Instrum. 1997, 68, 1684.
17. Fisher, E. R.; Ho, P.; Breiland, W. G.; Buss, R. J. J. Phys. Chem. 1993, 97, 10287.
18. Bogart, K. H. A.; Gushing, J. P.; Fisher, E. R. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 10016.
19. Bogart, K. H. A.; Cushing, J. P.; Fisher, E. R. Chem. Phys. Lett. 1997, 267, 377.
20. German, K. R. J. Chem. Phys. 1975, 62, 2584.
21. McCurdy, P. R.; Butoi, C. I.; Williams, K. L.; Fisher, E. R. J. Phys. Chem. B 1999, 103, 6919.
22. Williams, K. L.; Fisher, E. R. J. Vac. Sci. Technol. A 2003, 21, 1024.
23. Kessels, W. M. M.; McCurdy, P. R.; Williams, K. L.; Barker, G. R.; Venturo, V. A.; Fisher, E. R. J. Phys. Chem. B 2002, 106, 2680.
24. Zhang, J.; Fisher, E. R. J. Phys. Chem. A 2003, 107, 593.
25. Coxon, J. A. Can. J. Phys. 1980, 58, 933.
26. Fisher, E. R.; Ho, P.; Breiland, W. G.; Buss, R. J. J. Phys. Chem. 1992, 96, 9855.
27. Andresen, P.; Luntz, A. C. J. Chem. Phys. 1980, 72, 5842.
28. Luntz, A. C. J. Chem. Phys. 1980, 73, 1143.
29. Park, C. R.; Wiesenfeld, J. R. J. Chem. Phys. 1991, 95, 8166.
30. Luntz, A. C.; Andresen, P. J. Chem. Phys. 1980, 72, 5851.
31. Minton, T. K.; Zhang, J.; Garton, D. J.; Scale, J. W. High Perform. Polym. 2000, 12, 27.
32. Zhang, J.; Minton, T. K. High Perform. Polym. 2001, 13, S467.
33. Rettner, C. T.; Auerbach, D. J. Science 1994, 263, 365.
34. Weinberg, W. H. Acc. Chem. Res. 1996, 29, 479.
35. Mooney, C. E.; Anderson, L. C.; Lunsford, J. H. J. Phys. Chem. 1991, 95, 6070.
36. Mooney, C. E.; Anderson, L. C.; Lunsford, J. H. J. Phys. Chem. 1993, 97, 2505.
37. Fisher, E. R. Plasma Sources Sci. Technol. 2002, 11, A105.
38. Suh, M.; Bagua, P. S.; Pak, S.; Rosynek, M. P.; Lunsford, J. H. J. Phys. Chem. B 2000, 104, 2736.