Nanogaps by direct lithography for high-resolution imaging and electronic characterization of nanostructures

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 6, 2006, Pages

  Fischbein, Michael D ^a   Drndić, Marija ^a  

^a UNIVERSITY OF PENNSYLVANIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIRECT LITHOGRAPHY; ELECTRON BACK-SCATTERING; HIGH-RESOLUTION TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY (HRTEM);

CHARGE TRANSFER; DATA ACQUISITION; ELECTROMAGNETIC WAVE BACKSCATTERING; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; LEAD COMPOUNDS; NANOSTRUCTURED MATERIALS; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

LITHOGRAPHY;

EID: 32444433356     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2172292     Document Type: Article

References (20)

1. For some examples, see, D. L. Klein, P. L. McEuen, J. E. B. Katari, R. Roth, and A. P. Alivisatos, Appl. Phys. Lett. 68, 2574 (1996); H. Park, A. K. L. Lim, J. Park, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Appl. Phys. Lett. 75, 301 (1999); A. F. Morpurgo, C. M. Marcus, and D. B. Robinson, Appl. Phys. Lett. 74, 2084 (1999); Y. V. Kervennic, H. S. J. Van der Zant, A. F. Morpurgo, L. Gurevich, and L. P. Kouwenhoven, Appl. Phys. Lett. 80, 321 (2002); D. R. Strachan, D. E. Smith, D. E. Johnston, T.-H. Park, M. J. Therien, D. A. Bonnell, and A. T. Johnson, Appl. Phys. Lett. 86, 043109 (2005).
2. For some examples, see, D. L. Klein, P. L. McEuen, J. E. B. Katari, R. Roth, and A. P. Alivisatos, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.116188 68, 2574 (1996); H. Park, A. K. L. Lim, J. Park, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.124354 75, 301 (1999); A. F. Morpurgo, C. M. Marcus, and D. B. Robinson, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.123765 74, 2084 (1999); Y. V. Kervennic, H. S. J. Van der Zant, A. F. Morpurgo, L. Gurevich, and L. P. Kouwenhoven, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1433914 80, 321 (2002); D. R. Strachan, D. E. Smith, D. E. Johnston, T.-H. Park, M. J. Therien, D. A. Bonnell, and A. T. Johnson, Appl. Phys. Lett. 86, 043109 (2005).
3. For some examples, see, D. L. Klein, P. L. McEuen, J. E. B. Katari, R. Roth, and A. P. Alivisatos, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.116188 68, 2574 (1996); H. Park, A. K. L. Lim, J. Park, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.124354 75, 301 (1999); A. F. Morpurgo, C. M. Marcus, and D. B. Robinson, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.123765 74, 2084 (1999); Y. V. Kervennic, H. S. J. Van der Zant, A. F. Morpurgo, L. Gurevich, and L. P. Kouwenhoven, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1433914 80, 321 (2002); D. R. Strachan, D. E. Smith, D. E. Johnston, T.-H. Park, M. J. Therien, D. A. Bonnell, and A. T. Johnson, Appl. Phys. Lett. 86, 043109 (2005).
4. For some examples, see, D. L. Klein, P. L. McEuen, J. E. B. Katari, R. Roth, and A. P. Alivisatos, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.116188 68, 2574 (1996); H. Park, A. K. L. Lim, J. Park, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.124354 75, 301 (1999); A. F. Morpurgo, C. M. Marcus, and D. B. Robinson, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.123765 74, 2084 (1999); Y. V. Kervennic, H. S. J. Van der Zant, A. F. Morpurgo, L. Gurevich, and L. P. Kouwenhoven, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1433914 80, 321 (2002); D. R. Strachan, D. E. Smith, D. E. Johnston, T.-H. Park, M. J. Therien, D. A. Bonnell, and A. T. Johnson, Appl. Phys. Lett. 86, 043109 (2005).
5. For some examples, see, D. L. Klein, P. L. McEuen, J. E. B. Katari, R. Roth, and A. P. Alivisatos, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.116188 68, 2574 (1996); H. Park, A. K. L. Lim, J. Park, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.124354 75, 301 (1999); A. F. Morpurgo, C. M. Marcus, and D. B. Robinson, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.123765 74, 2084 (1999); Y. V. Kervennic, H. S. J. Van der Zant, A. F. Morpurgo, L. Gurevich, and L. P. Kouwenhoven, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1433914 80, 321 (2002); D. R. Strachan, D. E. Smith, D. E. Johnston, T.-H. Park, M. J. Therien, D. A. Bonnell, and A. T. Johnson, Appl. Phys. Lett. 86, 043109 (2005).
6. For some examples, see, M. A. Reed, C. Zhou, C. J. Muller, T. P. Burgin, and J. M. Tour, Science 278, 252 (1997); D. L. Klein, R. Roth, A. K. L. Lim, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Nature (London) 389, 699 (1997); D. Porath, A. Bezryadin, V. de Vries, and C. Dekker, Nature (London) 403, 635 (2000); W. Liang, M. P. Shores, M. Bockrath, J. R. Long, and H. Park, Nature (London) 407, 57 (2000); J. Park, A. N. Pasupathy, J. I. Goldsmith, C. Chang, Y. Yaish, J. R. Petta, M. Rinkoski, J. P. Sethna, H. D. Abruña, P. L. McEuen, and D. C. Ralph, Nature (London) 417, 722 (2002).
7. For some examples, see, M. A. Reed, C. Zhou, C. J. Muller, T. P. Burgin, and J. M. Tour, Science 0036-8075 10.1126/science.278.5336.252 278, 252 (1997); D. L. Klein, R. Roth, A. K. L. Lim, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Nature (London) 0028-0836 10.1038/39535 389, 699 (1997); D. Porath, A. Bezryadin, V. de Vries, and C. Dekker, Nature (London) 0028-0836 10.1038/35001029 403, 635 (2000); W. Liang, M. P. Shores, M. Bockrath, J. R. Long, and H. Park, Nature (London) 0028-0836 10.1038/35024031 407, 57 (2000); J. Park, A. N. Pasupathy, J. I. Goldsmith, C. Chang, Y. Yaish, J. R. Petta, M. Rinkoski, J. P. Sethna, H. D. Abruña, P. L. McEuen, and D. C. Ralph, Nature (London) 417, 722 (2002).
8. For some examples, see, M. A. Reed, C. Zhou, C. J. Muller, T. P. Burgin, and J. M. Tour, Science 0036-8075 10.1126/science.278.5336.252 278, 252 (1997); D. L. Klein, R. Roth, A. K. L. Lim, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Nature (London) 0028-0836 10.1038/39535 389, 699 (1997); D. Porath, A. Bezryadin, V. de Vries, and C. Dekker, Nature (London) 0028-0836 10.1038/35001029 403, 635 (2000); W. Liang, M. P. Shores, M. Bockrath, J. R. Long, and H. Park, Nature (London) 0028-0836 10.1038/35024031 407, 57 (2000); J. Park, A. N. Pasupathy, J. I. Goldsmith, C. Chang, Y. Yaish, J. R. Petta, M. Rinkoski, J. P. Sethna, H. D. Abruña, P. L. McEuen, and D. C. Ralph, Nature (London) 417, 722 (2002).
9. For some examples, see, M. A. Reed, C. Zhou, C. J. Muller, T. P. Burgin, and J. M. Tour, Science 0036-8075 10.1126/science.278.5336.252 278, 252 (1997); D. L. Klein, R. Roth, A. K. L. Lim, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Nature (London) 0028-0836 10.1038/39535 389, 699 (1997); D. Porath, A. Bezryadin, V. de Vries, and C. Dekker, Nature (London) 0028-0836 10.1038/35001029 403, 635 (2000); W. Liang, M. P. Shores, M. Bockrath, J. R. Long, and H. Park, Nature (London) 0028-0836 10.1038/35024031 407, 57 (2000); J. Park, A. N. Pasupathy, J. I. Goldsmith, C. Chang, Y. Yaish, J. R. Petta, M. Rinkoski, J. P. Sethna, H. D. Abruña, P. L. McEuen, and D. C. Ralph, Nature (London) 417, 722 (2002).
10. For some examples, see, M. A. Reed, C. Zhou, C. J. Muller, T. P. Burgin, and J. M. Tour, Science 0036-8075 10.1126/science.278.5336.252 278, 252 (1997); D. L. Klein, R. Roth, A. K. L. Lim, A. P. Alivisatos, and P. L. McEuen, Nature (London) 0028-0836 10.1038/39535 389, 699 (1997); D. Porath, A. Bezryadin, V. de Vries, and C. Dekker, Nature (London) 0028-0836 10.1038/35001029 403, 635 (2000); W. Liang, M. P. Shores, M. Bockrath, J. R. Long, and H. Park, Nature (London) 0028-0836 10.1038/35024031 407, 57 (2000); J. Park, A. N. Pasupathy, J. I. Goldsmith, C. Chang, Y. Yaish, J. R. Petta, M. Rinkoski, J. P. Sethna, H. D. Abruña, P. L. McEuen, and D. C. Ralph, Nature (London) 417, 722 (2002).
11. R. Sordan, K. Balasubramanian, M. Burghard, and K. Kern, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1991988 87, 013106 (2005); A. A. Houck, J. Labaziewicz, E. K. Chan, J. A. Folk, and I. L. Chuang, Nano Lett. 5, 1685 (2005).
12. R. Sordan, K. Balasubramanian, M. Burghard, and K. Kern, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1991988 87, 013106 (2005); A. A. Houck, J. Labaziewicz, E. K. Chan, J. A. Folk, and I. L. Chuang, Nano Lett. 5, 1685 (2005).
13. A. N. Broers, IBM J. Res. Dev. 0018-8646 32, 502 (1988); T. O. Sedgewick, B. J. Agule, and A. N. Broers., J. Electrochem. Soc. 0013-4651 119, 1769 (1972); W. W. Molzen, A. N. Broers, J. J. Cuomo, J. M. E. Harper, and R. B. Laibowitz, J. Vac. Sci. Technol. 16, 269 (1979).
14. A. N. Broers, IBM J. Res. Dev. 0018-8646 32, 502 (1988); T. O. Sedgewick, B. J. Agule, and A. N. Broers., J. Electrochem. Soc. 0013-4651 119, 1769 (1972); W. W. Molzen, A. N. Broers, J. J. Cuomo, J. M. E. Harper, and R. B. Laibowitz, J. Vac. Sci. Technol. 16, 269 (1979).
15. A. N. Broers, IBM J. Res. Dev. 0018-8646 32, 502 (1988); T. O. Sedgewick, B. J. Agule, and A. N. Broers., J. Electrochem. Soc. 0013-4651 119, 1769 (1972); W. W. Molzen, A. N. Broers, J. J. Cuomo, J. M. E. Harper, and R. B. Laibowitz, J. Vac. Sci. Technol. 16, 269 (1979).
16. H. W. Zandbergen, R. J. H. A. van Duuren, P. F. A. Alkemade, G. Lientschnig, O. Vasquez, C. Dekker, and F. D. Tichelaar, Nano Lett. 5, 549 (2005).
17. T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. 12, 1271 (1975).
18. M. Parikh and D. Kyser, J. Appl. Phys. 50, 1104 (1979).
19. W. T. Scott, Rev. Mod. Phys. 35, 231 (1963).
20. Semiconductor Spintronics and Quantum Computation, edited by, D. D. Awschalom, D. Loss, and, N. Samarth, (Springer, Berlin, 2002).