Atomic layer deposition of molybdenum nitride from bis(tert-butylimido)- bis(dimethylamido)molybdenum and ammonia onto several types of substrate materials with equal growth per cycle

Chemistry of Materials

Volumn 19, Issue 2, 2007, Pages 263-269

  Miikkulainen, Ville ^a   Suvanto, Mika ^a   Pakkanen, Tapani A ^a  

^a UNIVERSITY OF EASTERN FINLAND   (Finland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMMONIA; AMORPHOUS FILMS; DEPOSITION; FILM GROWTH; GLASS; THERMAL EFFECTS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION; ELASTIC RECOIL DETECTION ANALYSIS; GROWTH PER CYCLE; MOLYBDENUM PENTACHLORIDE;

MOLYBDENUM COMPOUNDS;

EID: 33846873250     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm0620279     Document Type: Article

References (48)

1. Lengauer, W. In Transition Metal Carbides, Nitrides and Carbonitrides; Riedel, R., Ed.; Handbook of Ceramic Hard Materials, Vol. 1; Wiley: Weinheim, 2000.
2. Fix, R.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1991, 3, 1138.
3. Mitterer, C.; Holler, F.; Reitberger, D.; Badisch, E.; Stoiber, M.; Lugmair, C.; Nöbauer, R.; Müller, Th.; Kullmer, R. Surf. Coat. Technol. 2003, 716, 163-164.
4. Molarius, J. M.; Korhonen, A. S.; Ristolainen, E. O. J. Vac. Sci. Technol., A 1985, 3, 2419.
5. Hogmark, S.; Jacobson, S.; Larsson, M. Wear 2000, 246, 20.
6. Cunha, L.; Andritschky, M.; Pischow, K.; Wang, Z.; Zarychta, A.; Miranda, A. S.; Cunha, A. M. Surf. Coat. Technol. 2002, 153, 160.
7. Lee, K. S.; Abe, H.; Reimer, J. A.; Bell, A. T. J. Catal. 1993, 139, 34.
8. Kadono, T.; Kubota, T.; Okamoto, Y. Catal. Today 2003, 87, 107.
9. Gong, S.; Chen, H.; Li, W.; Li, B. Catal. Commun. 2004, 5, 621.
10. Gong, S.; Chen, H.; Li, W.; Li, B.; Hu, T. J. Mol. Catal. A: Chem. 2005, 225, 213.
11. Nagai, M.; Yamamoto, Y.; Aono, R. Colloids Surf., A 2004, 241, 257.
12. Shi, C.; Zhu, A. M.; Yang, X. F.; Au, C. T. Appl. Catal., A 2004, 276, 223.
13. Kojima, R.; Aika, K.-i. Appl. Catal., A 2001, 219, 141.
14. Lee, H. J.; Choi, J.-G.; Colling, C. V.; Mudholkar, M. S.; Thompson, L. T. Appl. Surf. Sci. 1995, 89, 121.
15. Chen, X.; Zhang, T.; Zheng, M.; Wu, Z.; Wu, W.; Li, C. J. Catal. 2004, 224, 473.
16. He, Y.; Feng, J. Y. J. Cryst. Growth 2004, 263, 203.
17. Savvides, N. J. Appl. Phys. 1987, 62, 600.
18. Bull, C. L.; McMillan, P. F.; Soignard, E.; Leinenweber, K. J. Solid State Chem. 2004, 177, 1488.
19. Bezinge, A.; Yvon, K.; Muller, J. Solid State Commun. 1987, 63, 141.
20. Danroc, J.; Aubert, A.; Gillet, R. Thin Solid Films 1987, 753, 281.
21. Valli, J.; Mäkelä, U.; Hentzell, H. T. G. J. Vac. Sci. Technol., A 1986, 4, 2850.
22. Sanjinés, R.; Hones, P.; Levy, F. Thin Solid Films 1998, 332, 225.
23. Lévy, F.; Hones, P.; Schmid, P. E.; Sanjinés, R.; Diserens, M.; Wiemer, C. Surf. Coat. Technol. 1999, 284, 120-121.
24. Hones, P.; Martin, N.; Regula, M.; Lévy, F. J. Phys. D: Appl. Phys. 2003, 36, 1023.
25. Papaconstantopoulos, D. A.; Pickett, W. E.; Klein, B. M.; Boyer, L. L. Phys. Rev. B 1985, 31, 752.
26. Soignard, E.; McMillan, P. F.; Chaplin, T. D.; Farag, S. H.; Bull, C. L.; Somayazulu, M. S.; Leinenweber, K. Phys. Rev. B 2003, 68, 132101.
27. McMillan, P. F. Nat. Mater. 2002, 1, 19.
28. Suntola, T.; Antson, J. U.S. Patent 4,058,430, 1977.
29. Suntola, T. Mater. Sci. Rep. 1989, 4, 261.
30. Leskelä, M.; Ritala, M. Thin Solid Films 2002, 409, 138.
31. Ritala, M.; Leskelä, M.; Rauhala, E.; Haussalo, P. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 2731.
32. Ritala, M.; Leskelä, M.; Rauhala, E.; Jokinen, J. J. Electrochem. Soc. 1998, 145, 2914.
33. Hiltunen, L.; Leskelä, M.; Mäkelä, M.; Niinistö, L.; Nykänen, E.; Soininen, P. Thin Solid Films 1988, 766, 149.
34. Alén, P.; Ritala, M.; Arstila, K.; Keinonen, J.; Leskelä, M. J. Electrochem. Soc. 2005, 152, G361.
35. Juppo, M.; Ritala, M.; Leskelä, M. J. Electrochem. Soc. 2000, 147, 3377.
36. van der Strafen, O.; Zhu, Y.; Dunn, K.; Eisennnbraun, E. T.; Kaloyeros, A. E. J. Mater. Res. 2004, 19, 447.
37. Becker, J. S.; Sun, S.; Wang, S.; Gordon, R. G. Chem. Mater. 2003, 15, 2969.
38. Sun, S.-C; Chiu, H.-T. U.S. Patent 6,114,242, 2000.
39. Wank, J. R.; George, S. M.; Weimer, A. W. J. Am. Ceram. Soc. 2004, 87, 762.
40. Schoettel, G.: Kress, J.; Osborn, J. A. J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989, 1062.
41. Chiu, H.-T.; Chang, G.-B.; Ho, W.-Y.; Chuang, S. H.; Lee, G. H.; Peng, S.-M. J. Chin. Chem. Soc. 1994, 41, 755.
42. Chiu, H.-T.; Lin, J. C.; Chuang, S.-H.; Lee, G.-H.; Peng, S.-M. J. Chin. Chem. Soc. 1998, 45, 355.
43. Chiu, H.-T.; Chuang, S.-H.; Tsai, C.-E.; Lee, G.-H.; Peng, S.-M. Polyhedron 1998, 17, 2187.
44. Danopoulos, A. A.; Leung, W.-H.; Wilkinson, G.; Hussain-Bates, B.; Hursthouse, M. B. Polyhedron 1990, 9, 2625.
45. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, J. A., Jr.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C.; Millam, J. M.; Iyengar, S. S.; Tomasi, J.; Barone, V.; Mennucci, B.; Cossi, M.; Scalmani, G.; Rega, N.; Petersson, G. A.; Nakatsuji, H.; Hada, M.; Ehara, M.; Toyota, K.; Fukuda, R.; Hasegawa, J.; Ishida, M.; Nakajima, T.; Honda, Y.; Kitao, O.; Nakai, H.; Klene, M.; Li, X.; Knox, J. E.; Hratchian, H. P.; Cross, J. B.; Bakken, V.; Adamo, C.; Jaramillo, J.; Gomperts, R.; Stratmann, R. E.; Yazyev, O.; Austin, A. J.; Cammi, R.; Pomelli, C.; Ochterski, J. W.; Ayala, P. Y.; Morokuma, K.; Voth, G. A.; Salvador, P.; Dannenberg, J. J.; Zakrzewski, V. G.; Dapprich, S.; Daniels, A. D.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Ortiz, J. V.; Cui, Q.; Baboul, A. G.; Clifford, S.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong, M. W.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. Gaussian 03, revision C.02; Gaussian, Inc.; Wallingford, CT, 2004.
46. Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Card 24-768.
47. Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Cards 21-569 and 5-508.
48. Ritala, M.; Asikainen, T.; Leskelä, M.; Jokinen, J.; Lappalainen, R.; Utriainen, M.; Niinistö, L.; Ristolainen, E. Appl. Surf. Sci. 1997, 120, 199.