T-shaped microcantilever sensor with reduced deflection offset

Applied Physics Letters

Volumn 89, Issue 9, 2006, Pages

  Plaza, J A ^a   Zinoviev, K ^a   Villanueva, G ^a   Alvarez M ^a   Tamayo, J ^a   Dominguez C ^a   Lechuga, L M ^a  

^a INSTITUTO DE MICROELECTRÓNICA DE BARCELONA   (Spain)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANGLE MEASUREMENT; COMPUTATIONAL GEOMETRY; COMPUTER SIMULATION; DNA; MONOLAYERS; PHOTODETECTORS;

DEFLECTION OFFSET; FABRICATED ARRAYS; MICROCANTILEVER SENSORS; MICROCANTILEVERS;

MICROSENSORS;

EID: 33748260763     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2345234     Document Type: Article

References (16)

1. N. V. Lavrik, M. J. Sepaniak, and P. G. Datskos, Rev. Sci. Instrum. 75, 2229 (2004).
2. H. P. Lang, M. K. Baller, R. Berger, C. Gerber, J. K. Gimzewski, F. M. Battiston, P. Fornaro, J. P. Ramseyer, E. Meyer, and H. J. Guntherodt, Anal. Chim. Acta 393, 59 (1999).
3. R. Raiteri, G. Nelles, H. J. Butt, W. Knoll, and P. Skladal, Sens. Actuators B 61, 213 (1999).
4. J. K. Gimzewski, C. Gerber, E. Meyer, and R. R. Schlittler, Chem. Phys. Lett. 217, 589 (1994).
5. E. T. Arakawa, N. V. Lavrik, S. Rajic, and P. G. Datskos, Ultramicroscopy 97, 459 (2003).
6. X. X. Li, T. Ono, Y. L. Wang, and M. Esashi, Appl. Phys. Lett. 83, 3081 (2003).
7. K. Y. Yasumura, T. D. Stowe, E. M. Chow, T. Pfafman, T. W. Kenny, B. C. Stipe, and D. Rugar, J. Microelectromech. Syst. 9, 117 (2000).
8. M. Alvarez, J. Tamayo, J. A. Plaza, K. Zinoviev, C. Dominguez, and L. M. Lechuga, J. Appl. Phys. 99, 024910 (2006).
9. M. Yue, H. Lin, D. E. Dedrick, S. Satyanarayana, A. Majumdar, A. S. Bedekar, J. W. Jenkins, and S. Sundaram, J. Microelectromech. Syst. 13, 290 (2004).
10. R. McKendry, J. Y. Zhang, Y. Arntz, T. Strunz, M. Hegner, H. P. Lang, M. K. Baller, U. Certa, E. Meyer, H. J. Guntherodt, and C. Gerber, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 99, 9783 (2002).
11. J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H. J. Guntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
12. J. D. Adams, G. Parrott, C. Bauer, T. Sant, L. Manning, M. Jones, B. Rogers, D. McCorkle, and T. L. Ferrell, Appl. Phys. Lett. 83, 3428 (2003).
13. W. Fang and J. A. Wickert, J. Micromech. Microeng. 6, 301 (1996).
14. N. E. Jenkins, L. P. DeFlores, J. Allen, T. N. Ng, S. R. Garner, S. Kuehn, J. M. Dawlaty, and J. A. Marohn, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 909 (2004).
15. J. Mertens, M. Alvarez, and J. Tamayo, Appl. Phys. Lett. 87, 234102 (2005).
16. X. R. Zhang and X. F. Xu, Appl. Phys. Lett. 86, 021114 (2005).