Effects of Ge content on the diffusion of group-V dopants in SiGe alloys

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 17, 2006, Pages

  Haran, Mohit ^a   Catherwood, James A ^a   Clancy, Paulette ^a  

^a Cornell University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EFFECT OF GERMANIUM CONTENT; INTERSTITIAL DIFFUSIVITY; INTRINSIC DEFECTS; VACANCY-ASSISTED DIFFUSIVITY;

DEFECTS; DIFFUSION; MOLECULAR DYNAMICS; PROBABILITY DENSITY FUNCTION; SIMULATION; STRAIN MEASUREMENT; TENSILE STRENGTH;

SILICON ALLOYS;

EID: 33646413193     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2198096     Document Type: Article

References (24)

1. P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. 61, 289 (1989).
2. A. J. R. Da Silva, A. Janotti, A. Fazzio, R. J. Baierle, and R. Mota, Phys. Rev. B 62, 9903 (2000).
3. N. R. Zangenberg, J. L. Hansen, J. Fage-Pedersen, and A. N. Larsen, Phys. Rev. Lett. 87, 125901 (2001).
4. J. S. Christensen, H. H. Radamson, A. Y. Kuznetzov, and B. G. Svensson, Appl. Phys. Lett. 82, 2254 (2003).
5. J. S. Christensen, H. H. Radamson, A. Y. Kuznetzov, and B. G. Svensson, J. Appl. Phys. 94, 6533 (2003).
6. A. Portavoce, P. Gas, A. Berbezier, A. Ronda, J. S. Christensen, A. Y. Kuznetzov, and B. G. Svensson, Phys. Rev. B 69, 155415 (2004).
7. F. W. Stillinger and T. A. Weber, Phys. Rev. B 31, 5262 (1985).
8. Q. Yu and P. Clancy, J. Cryst. Growth 149, 45 (1995).
9. G. J. Martyna, M. E. Tuckerman, D. J. Tobias, and M. L. Klein, Mol. Phys. 87, 111713 (1996).
10. T. Sinno, Z. K. Jiang, and R. A. Brown, Appl. Phys. Lett. 68, 3028 (1996).
11. S. Lombardo, P. M. Smith, M. J. Uttormark, D. P. Brunco, K. Kramer, and M. O. Thompson, Appl. Phys. Lett. 58, 1768 (1991).
12. J. Matthews and A. E. Blakeslee, J. Cryst. Growth 32, 265 (1975).
13. S. Ismail-Beigi and T. Arias, Comput. Phys. Commun. 128, 1 (2000).
14. D. R. Hamann, Phys. Rev. B 40, 2980 (1989).
15. J. P. Perdew, J. A. Chevary, S. H. Vosko, K. A. Jackson, M. R. Pederson, and D. J. Singh, Phys. Rev. B 46, 6671 (1992).
16. H. J. Monkhorst and J. D. Pack, Phys. Rev. B 13, 5188 (1976).
17. X.-Y. Liu, W. Windl, K. M. Beardmore, and M. P. Masquelier, Appl. Phys. Lett. 82, 1839 (2003).
18. J. Xie and S. P. Chen, J. Phys. D 32, 1257 (1999).
19. J. S. Christensen, H. H. Radamson, A. Y. Kuznetsov, and B. G. Svensson, J. Appl. Phys. 94, 6533 (2003).
20. G. D. M. Dilliway, A. J. Smith, J. J. Hamilton, J. Benson, Xu Lu, P. J. McNally, G. Cooke, H. Kheyrandish, and N. E. B. Cowern, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 237, 131 (2004).
21. S. Uppal, J. M. Bonar, J. Zhang, and A. F. W. Willoughby, Mater. Sci. Eng., B 114-115, 349 (2004).
22. S. Eguchi, J. J. Lee, S. J. Rhee, D. L. Kwong, M. L. Lee, E. A. Fitzgerald, I. Aberg, and J. L. Hoyt, Appl. Surf. Sci. 224, 59 (2004).
23. V. Ranki, A. Pelli, and K. Saarinen, Phys. Rev. B 69, 115205 (2004).
24. M. Ramamoorthy and S. T. Pantelides, Phys. Rev. Lett. 76, 4753 (1996).