Influence of an inert background gas on bimetallic cross-beam pulsed laser deposition

Journal of Applied Physics

Volumn 99, Issue 3, 2006, Pages

  Irissou, Eric ^a   Vidal, François ^a   Johnston, Tudor ^a   Chaker, Mohamed ^a   Guay, Daniel ^a   Ryabinin, Anatoly N ^b  

^a INRS EMT   (Canada)

^b ST PETERSBURG STATE UNIVERSITY   (Russian Federation)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CONCENTRATION (PROCESS); DIAPHRAGMS; GOLD; HELIUM; METALLIC FILMS; PLATINUM; PRESSURE; PULSED LASER DEPOSITION; RUTHENIUM; STATISTICAL METHODS; TARGETS;

CROSS-BEAM PULSED LASER DEPOSITION (CBPLD); DEPOSITION RATES; PLASMA PLUMES; PRESSURE CURVES;

GASES;

EID: 33645539748     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2165412     Document Type: Article

References (77)

1. H. M. Smith and A. F. Turner, Appl. Opt. 4, 147 (1965).
2. Pulsed Laser Deposition of Thin Films, edited by, D. B. Chrisey, and, G. K. Hubler, (Wiley, New York, 1994).
3. R. Dolbec, E. Irissou, M. Chaker, D. Guay, F. Rosei, and M. A. El Khakani, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 789, N11.25.1 (2004).
4. R. Dolbec, E. Irissou, M. Chaker, D. Guay, F. Rosei, and M. A. El Khakani, Phys. Rev. B 70, 201406 (R) (2004).
5. E. Irissou, B. LeDrogoff, M. Chaker, and D. Guay, Appl. Phys. Lett. 80, 1716 (2002).
6. E. Irissou, B. LeDrogoff, M. Chaker, and D. Guay J. Appl. Phys. 94, 4796 (2003).
7. E. Irissou, M. Trudeau, M. Chaker, and D. Guay, J. Mater. Res. 19, 950 (2004).
8. D. H. Lowndes, D. B. Geohegan, A. A. Puretzky, D. P. Norton, and C. M. Rouleau, Science 273, 898 (1996).
9. S. Kahl and H. -U. Krebs, Phys. Rev. B 63, 172103 (2001).
10. M. C. Foot, B. B. Jones, D. B. Hunt, J. B. Barner, R. P. Vasquez, and L. J. Bajuk, Physica C 201, 176 (1992).
11. C. B. Arnold and M. J. Aziz, Appl. Phys. A 69, S23 (1999).
12. S. Kahl and H. -U. Krebs, Phys. Rev. B 63, 172103 (2001).
13. J. T. Cheung and L.-C. Chen, in Pulsed Laser Deposition of Thin Films, edited by, D. B. Chrisey, and, G. K. Hubler, (Wiley, New York, 1994), Chaps. 1 and 6.
14. M. Ozegowski, K. Meteva, S. Metev, and G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 138/139, 68 (1999).
15. E. Van de Riet, C. J. C. M. Nillesen, and J. Dieleman, J. Appl. Phys. 74, 2008 (1993).
16. E. Agostinelli, J. Bohandy, W. J. Green, B. F. Kim, F. J. Adrian, and K. Moorjani, J. Mater. Res. 5, 2075 (1990).
17. Y. Yonezawa, K. Segawa, S. Katayama, T. Minamikawa, A. Morimoto, and T. Shimizu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 33, L1178 (1994).
18. T. Yoshitake, T. Nagamoto, and K. Nagayama, Thin Solid Films 381, 236 (2001).
19. H. J. Schiebe et al., Thin Solid Films 189, 283 (1990).
20. D. S. Misra and S. B. Palmer, Physica C 176, 43 (1991).
21. E. Agostinelli, S. Alessandrini, M. Angiolini, D. Fiorani, A. Garcia Santiago, A. M. Testa, and M. Vittori-Antisari, Nanostruct. Mater. 10, 217 (1998).
22. R. E. Leuchtner, J. S. Horwitz, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 83, 5477 (1998).
23. C. C. Chang et al., Appl. Phys. Lett. 57, 1814 (1990).
24. C. Scarfone, M. G. Norton, C. B. Carter, J. Li, and J. W. Mayer, Surface Chemistry and Beam-Solid Interactions, symposium held Nov. 26-29, 1990, Boston, MA, edited by, H. A. Atwater, F. A. Houle, D. H. Lowndes, (Materials Research Society, Pittsburgh, 1991).
25. G. Koren, A. Gupta, J. Baseman, M. I. Lutwyche, and R. B. Laibowitz, Appl. Phys. Lett. 55, 2450 (1989).
26. C. E. A. Grigorescu et al., Appl. Surf. Sci. 212-213, 78 (2003).
27. A. Jacquot, B. Lenoir, M. O. Boffoué, and A. Dauscher Appl. Phys. A 69, S195 (1999).
28. Y. Yonezawa, T. Minamikawa, K. Matsuda, K. Takezawa, A. Morimoto, and T. Shimizu, Appl. Surf. Sci. 127-129, 639 (1998).
29. A. Kühle, J. L. Skov, S. Hjorth, I. Rasmussen, and J. Bindslev Hansen, Appl. Phys. Lett. 64, 3178 (1994).
30. D. Lubben, S. A. Barnett, K. Suzuki, S. Gorbatkin, and J. E. Greene, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 968 (1985).
31. E. V. Pechen, A. Varlaskin, S. I. Krasnosvobodtsev, B. Brunner, and K. Renk, Appl. Phys. Lett. 66, 2292 (1995).
32. T. Yoshitake, G. Shiraishi, and K. Nagayama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 41, 836 (2002).
33. T. Yoshitake, G. Shiraishi, and K. Nagayama, Appl. Surf. Sci. 197-198, 379 (2002).
34. G. Koren, R. J. Baseman, A. Gupta, M. I. Lutwyche, and R. B. Laibowitz, Appl. Phys. Lett. 56, 2144 (1990).
35. H. Chiba, K. Murakami, O. Eryu, K. Shihoyama, T. Mochizuki, and K. Masuda, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 30, L732 (1991).
36. R. Jordan, D. Cole, and J. G. Lunney, Appl. Surf. Sci. 109/110, 403 (1996).
37. C. de Julian Fernadez, J. L. Vassent, and D. Givord, Appl. Surf. Sci. 138-139, 150 (1999).
38. B. Holzapfel, B. Roas, L. Schulz, P. Bauer, and G. Saeman-Ishenko, Appl. Phys. Lett. 61, 3178 (1992).
39. R. J. Kennedy, Thin Solid Films 214, 223 (1992).
40. S.-G. Lee, D. -S. Hwank, Y. K. Park, and J. -C. Park, Appl. Phys. Lett. 65, 764 (1994).
41. Z. Trajanovic, L. Senapati, R. P. Sharma, and T. Venkatesan, Appl. Phys. Lett. 66, 2418 (1995).
42. V. Boffa, T. Petrisor, L. Ciontea, U. Gambardella, and S. Barbanea, Physica C 276, 218 (1997).
43. S. Acquaviva, M. L. De Giorgi, L. Ellia, M. Fernandez, G. Leggieri, A. Luches, M. Martino, and A. Zocco, Appl. Surf. Sci. 168, 244 (2000).
44. N. Inoue, T. Ozaki, T. Monnaka, S. Kashiwabara, and R. Fujimoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 704 (1997).
45. E. Agostinelli, S. Kaciulis, and M. Vittori-Antisari, Appl. Surf. Sci. 156, 143 (2000).
46. E. Kaidashev, V. Dneprovski, D. Breus, and R. N. Sheftal, J. Supercond. 13, 407 (2000).
47. D. Takeuchi, T. Mizuta, T. Makimura, S. Yoshida, M. Fujita, K. Hata, H. Shigekawa, and K. Murakami, Appl. Surf. Sci. 197-198, 674 (2002).
48. M. Iwabuchi, K. Kinoshita, H. Ishibashi, and T. Kobayashi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 33, L610 (1994).
49. K. Kinoshita, H. Ishibashi, and T. Kobayashi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 33, L417 (1994).
50. Z. Trajanovic, S. Choopun, R. Sharma, and T. Venkatesan, Appl. Phys. Lett. 70, 3461 (1997).
51. M. Tachiki, M. Noda, K. Yamada, and T. Kobayashi, J. Appl. Phys. 83, 5351 (1998).
52. C. Cai, M. Tachiki, T. Fujii, T. Kobayashi, H. K. Liu, and S. X. Dou, Physica C 356, 205 (2001).
53. S. V. Gaponov, A. A. Gudkov, and A. A. Fraerman, Sov. Phys. Tech. Phys. 27, 1130 (1982).
54. M. D. Stikovsky, E. B. Klyuenkov, S. V. Gapanov, J. Schubert, and C. A. Copetti, Appl. Phys. Lett. 63, 1146 (1993).
55. W. Pompe and A. Gorbunov, Proc. SPIE 2703, 458 (1996).
56. A. A. Gorbunov et al., Appl. Surf. Sci. 96-98, 649 (1996).
57. A. Tselev, A. Gorbunov, and W. Pompe, Appl. Surf. Sci. 138-139, 12 (1999).
58. A. Tselev, A. Gorbunov, and W. Pompe, Appl. Phys. A 69, 353 (1999).
59. L. Lambert, F. Grangeon, and M. Autric, Appl. Surf. Sci. 138-139, 574 (1999).
60. M. Autric and L. Lambert, Proc. SPIE 4065, 108 (2000).
61. A. Tselev, A. Gorbunov, and W. Pompe, Rev. Sci. Instrum. 72, 2665 (2001).
62. A. A. Gorbunov et al., Appl. Phys. A 69, S463 (1999).
63. H. Geisler, A. Mensch, A. Tselev, A. Gorbunov, and H. Worch, Mater. Sci. Forum 343-346, 249 (2000).
64. A. Tselev, A. Gorbunov, H. Geisler, A. Mensch, D. C. Meyer, and W. Pompe, Mater. Sci. Forum 343-346, 231 (2000).
65. A. Gorbunov, A. A. Levin, A. Mensch, D. C. Meyer, A. Tselev, P. Paufler, W. Pompe, and D. Eckert, Appl. Surf. Sci. 197-198, 475 (2002).
66. A. A. Levin, D. C. Meyer, A. Gorbunov, A. Tselev, W. Pompe, and P. Paufler, J. Alloys Compd. 347, 171 (2002).
67. A. Levin, D. C. Meyer, A. Tselev, A. Gorbunov, W. Pompe, and P. Paufler, J. Alloys Compd. 334, 159 (2002).
68. A. Levin, D. C. Meyer, A. Gorbunov, A. Mensch, W. Pompe, and P. Paufler, J. Alloys Compd. 360, 107 (2003).
69. E. Weiser et al., J. Appl. Phys. 92, 572 (2002).
70. F. Prokert, J. Noetzel, N. Schell, E. Wieser, and A. Gorbunov, Thin Solid Films 416, 114 (2002).
71. Y. P. Raizer, Sov. Phys. JETP 10, 1229 (1960).
72. N. Y. Bykov and G. A. Loukianov, Thermophysics and Aeromechanics 10, 391 (2003).
73. T. E. Itina, J. Hermann, P. Delaporte, and M. Sentis, Phys. Rev. E 66, 066406 (2002).
74. H. C. Le, D. E. Zeitoun, J. D. Parisse, M. Sentis, and W. Marine, Phys. Rev. E 62, 4152 (2000).
75. A. N. Ryabinin, E. Irissou, M. Chaker, D. Guay, in Aerodynamics, edited by, R. N. Miroshin, (VVM, St. Petersburg, 2004), p. 126, (in Russian).
76. R. K. Singh and J. Narayan, Phys. Rev. B 41, 8843 (1990).
77. S. I. Anisimov, D. Bäuerle, and B. S. Luk'yanchuk, Phys. Rev. B 48, 12076 (1993).