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Volumn 153, Issue 1, 2006, Pages

Growth of (100)-oriented polycrystalline Si film by Ni-mediated crystallization of thin amorphous silicon

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AMORPHOUS SILICON; BACKSCATTERING; CRYSTALLIZATION; DIFFRACTION; POLYCRYSTALLINE MATERIALS;

EID: 33645511420     PISSN: 00134651     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/1.2126583     Document Type: Article
Times cited : (4)

References (17)
  • 3
    • 3142561382 scopus 로고    scopus 로고
    • J. Jang, J. Y. Oh, S. K. Kim, Y. J. Choi, S. Y. Yoon, and C. O. Kim, Nature (London), 385, 481 (1998).
    • (1998) Nature (London) , vol.385 , pp. 481
    • Jang, J.1
  • 4
    • 0005455096 scopus 로고    scopus 로고
    • S. Y. Yoon, K. H. Kim, C. O. Kim, J. Y. Oh, and J. Jang, J. Appl. Phys., 82, 5865 (1997).
    • (1997) J. Appl. Phys. , vol.82 , pp. 5865
    • Yoon, S.Y.1
  • 8
    • 0347133602 scopus 로고    scopus 로고
    • J. C. Kim, J. H. Choi, S. S. Kim, K. M. Kim, and J. Jang, Appl. Phys. Lett., 83, 5068 (2003).
    • (2003) Appl. Phys. Lett. , vol.83 , pp. 5068
    • Kim, J.C.1
  • 9
    • 3142561383 scopus 로고    scopus 로고
    • K. H. Kim, S. J. Park, A. Y. Kim, and J. Jang, J. Non-Cryst. Solids, 83, 299 (2002).
    • (2002) J. Non-Cryst. Solids , vol.83 , pp. 299
    • Kim, K.H.1
  • 10
    • 0037416535 scopus 로고    scopus 로고
    • J. H. Choi, D. Y. Kim, S. J. Park, B. K. Choo, and J. Jang, Thin Solid Films, 427, 289 (2003).
    • (2003) Thin Solid Films , vol.427 , pp. 289
    • Choi, J.H.1
  • 11
    • 0036469346 scopus 로고    scopus 로고
    • T. Ma and M. Wong, J. Appl. Phys., 91, 1236 (2001).
    • (2001) J. Appl. Phys. , vol.91 , pp. 1236
    • Ma, T.1
  • 15
    • 0037049479 scopus 로고    scopus 로고
    • Y. Liu, M. D. Deal, K. C. Saraswat, and J. D. Plummer, Appl. Phys. Lett., 81, 4634 (2002).
    • (2002) Appl. Phys. Lett. , vol.81 , pp. 4634
    • Liu, Y.1
  • 17
    • 3042792350 scopus 로고    scopus 로고
    • A. Hara, M. Takei, F. Takeuchi, K. Suga, K. Yoshino, M. Chida, T. Kakehi, Y. Ebiko, Y. Sano, and N. Sasaki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1, 43, 1269 (2004).
    • (2004) Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 , vol.43 , pp. 1269
    • Hara, A.1


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.