메뉴 건너뛰기




Volumn 72, Issue 3, 2005, Pages

Discrete focusing effect of positive ions by a plasma-sheath lens

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ION FLUXES; PLASMA-SHEATH LENS; SPUTTERING PATTERN;

EID: 28844495993     PISSN: 15393755     EISSN: 15502376     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevE.72.036407     Document Type: Article
Times cited : (24)

References (30)
  • 1
    • 36149021811 scopus 로고
    • PHRVAO 0031-899X 10.1103/PhysRev.33.954
    • I. Langmuir, Phys. Rev. PHRVAO 0031-899X 10.1103/PhysRev.33.954 33, 954 (1929).
    • (1929) Phys. Rev. , vol.33 , pp. 954
    • Langmuir, I.1
  • 2
    • 18744368150 scopus 로고    scopus 로고
    • PHPAEN 1070-664X 10.1063/1.1513155
    • V. Godyak and N. Stemberg, Phys. Plasmas PHPAEN 1070-664X 10.1063/1.1513155 9, 4427 (2002).
    • (2002) Phys. Plasmas , vol.9 , pp. 4427
    • Godyak, V.1    Stemberg, N.2
  • 3
    • 0001591532 scopus 로고    scopus 로고
    • PHPAEN 1070-664X 10.1063/1.1334609
    • R. N. Franklin and J. Snell, Phys. Plasmas PHPAEN 1070-664X 10.1063/1.1334609 8, 643 (2001).
    • (2001) Phys. Plasmas , vol.8 , pp. 643
    • Franklin, R.N.1    Snell, J.2
  • 4
    • 0035576380 scopus 로고    scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1413953
    • K.-U. Riemann and L. Tsendin, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1413953 90, 5487 (2001).
    • (2001) J. Appl. Phys. , vol.90 , pp. 5487
    • Riemann, K.-U.1    Tsendin, L.2
  • 6
    • 0142250928 scopus 로고    scopus 로고
    • PHPAEN 1070-664X 10.1063/1.1611180
    • A. Kono, Phys. Plasmas PHPAEN 1070-664X 10.1063/1.1611180 10, 4181 (2003).
    • (2003) Phys. Plasmas , vol.10 , pp. 4181
    • Kono, A.1
  • 9
    • 36549092307 scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.339858
    • J. R. Conrad, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.339858 62, 777 (1987).
    • (1987) J. Appl. Phys. , vol.62 , pp. 777
    • Conrad, J.R.1
  • 10
    • 0024305401 scopus 로고
    • JPAPBE 0022-3727 10.1088/0022-3727/22/1/012
    • I. J. Donnelly and P. A. Watterson, J. Phys. D JPAPBE 0022-3727 10.1088/0022-3727/22/1/012 22, 90 (1989).
    • (1989) J. Phys. D , vol.22 , pp. 90
    • Donnelly, I.J.1    Watterson, P.A.2
  • 11
    • 0024732474 scopus 로고
    • JPAPBE 0022-3727 10.1088/0022-3727/22/9/009
    • P. A. Watterson, J. Phys. D JPAPBE 0022-3727 10.1088/0022-3727/22/9/009 22, 1300 (1989).
    • (1989) J. Phys. D , vol.22 , pp. 1300
    • Watterson, P.A.1
  • 12
    • 36449002594 scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.360464
    • M. Hong and G. A. Emmert, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.360464 78, 6967 (1995).
    • (1995) J. Appl. Phys. , vol.78 , pp. 6967
    • Hong, M.1    Emmert, G.A.2
  • 13
    • 0001650515 scopus 로고    scopus 로고
    • APPLAB 0003-6951 10.1063/1.115625
    • T. E. Sheridan, Appl. Phys. Lett. APPLAB 0003-6951 10.1063/1.115625 68, 1918 (1996).
    • (1996) Appl. Phys. Lett. , vol.68 , pp. 1918
    • Sheridan, T.E.1
  • 16
    • 0001761135 scopus 로고    scopus 로고
    • APPLAB 0003-6951 10.1063/1.1338489
    • E. Stamate and K. Ohe, Appl. Phys. Lett. APPLAB 0003-6951 10.1063/1.1338489, 78, 153 (2001).
    • (2001) Appl. Phys. Lett. , vol.78 , pp. 153
    • Stamate, E.1    Ohe, K.2
  • 17
    • 0036565079 scopus 로고    scopus 로고
    • JVTAD6 0734-2101 10.1116/1.1460893
    • E. Stamate and K. Ohe, J. Vac. Sci. Technol. A JVTAD6 0734-2101 10.1116/1.1460893 20, 661 (2002).
    • (2002) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.20 , pp. 661
    • Stamate, E.1    Ohe, K.2
  • 20
    • 0037065104 scopus 로고    scopus 로고
    • APPLAB 0003-6951 10.1063/1.1520716
    • X. B. Tian and P. K. Chu, Appl. Phys. Lett. APPLAB 0003-6951 10.1063/1.1520716 81, 3744 (2002).
    • (2002) Appl. Phys. Lett. , vol.81 , pp. 3744
    • Tian, X.B.1    Chu, P.K.2
  • 21
    • 0036573266 scopus 로고    scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1465505
    • O. Demokan, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1465505 91, 5587 (2002).
    • (2002) J. Appl. Phys. , vol.91 , pp. 5587
    • Demokan, O.1
  • 22
    • 0038341905 scopus 로고    scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1555682
    • B. Briehl and H. M. Urbassek, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1555682 93, 4420 (2003).
    • (2003) J. Appl. Phys. , vol.93 , pp. 4420
    • Briehl, B.1    Urbassek, H.M.2
  • 24
    • 0141857600 scopus 로고    scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1597943
    • D. Kim and D. Economu, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1597943 94, 2852 (2003).
    • (2003) J. Appl. Phys. , vol.94 , pp. 2852
    • Kim, D.1    Economu, D.2
  • 25
    • 0141921449 scopus 로고    scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1602573
    • D. Kim and D. Economu, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1602573 94, 3740 (2003).
    • (2003) J. Appl. Phys. , vol.94 , pp. 3740
    • Kim, D.1    Economu, D.2
  • 28
    • 18144429872 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.94.125004
    • E. Stamate and H. Sugai, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.94.125004 94, 125004 (2005).
    • (2005) Phys. Rev. Lett. , vol.94 , pp. 125004
    • Stamate, E.1    Sugai, H.2


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.