Realization of p-type ZnO thin films via phosphorus doping and thermal activation of the dopant

Applied Physics Letters

Volumn 83, Issue 1, 2003, Pages 63-65

  Kim, Kyoung Kook ^a   Kim, Hyun Sik ^a   Hwang, Dae Kue ^a   Lim, Jae Hong ^a   Park, Seong Ju ^a  

^a Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

PHOTOLUMINESCENCE; SAPPHIRE; SEMICONDUCTOR DOPING; ZINC OXIDE;

THERMAL ACTIVATION;

THIN FILMS;

EID: 0042842376     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1591064     Document Type: Article

References (19)

1. Z. K. Tang, G. K. L. Wong, P. Yu, M. Kawasaki, A. Ohtomo, H. Koinuma, and Y. Segawa, Appl. Phys. Lett. 72, 3270 (1998).
2. D. M. Bagnall, Y. F. Chen, Z. Zhu, T. Tao, S. Koyama, M. Y. Shen, and T. Goto. Appl. Phys. Lett. 70, 2230 (1997).
3. S. Choopun, R. D. Vispute, W. Noch, A. Balsamo, R. P. Sharma, T. Venkatesan, A. Iliadis, and D. C. Look, Appl. Phys. Lett. 75, 3947 (1999).
4. K.-K. Kim, J.-H. Song, H.-J. Jung, W. K. Choi, S. J. Park, and J. H. Song, J. Appl. Phys. 87, 3573 (2000).
5. T. Yamamoto and H. Yoshida, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 38, L166 (1999).
6. M. Joseph, H. Tabata, H. Saeki, K. Ueda, and T. Kawai, Physica B 302,303, 140 (2001).
7. K. Nakahara, H. Takasu, P. Fons, A. Yamada, K. Iwata, K. Matsubara, R. Hunger, and S. Niki, Appl. Phys. Lett. 79, 4139 (2001).
8. A. Tsukazaki, H. Saito, K. Tamura, M. Ohtani, H. Koinuma, M. Sumiya, S. Fuke, T. Fukumura, and M. Kawasaki, Appl. Phys. Lett. 81, 235 (2002).
9. A. B. M. A. Ashrafi, I. Suemune, H. Kumano, and S. Tanaka. Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 41, L1281 (2002).
10. D. C. Look, D. C. Reynolds, C. W. Litton, R. L. Jones, D. B. Eason, and G. Cantwell, Appl. Phys. Lett. 81, 1830 (2002).
11. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, M. E. Overberg, G. T. Thaler, D. P. Norton. N. Theodoropoulou, A. F. Hebard, Y. D. Park, F. Ren, J. Kim, and L. A. Boatner, J. Appl. Phys. 93, 1 (2003).
12. Y. R. Ryu, S. Zhu, D. C. Look, J. M. Wrobel, H. M. Jeong, and H. W. White, J. Cryst. Growth 216, 330 (2000).
13. K. Iwata, P. Fons, A. Yamada, K. Matsubara, and S. Niki, J. Cryst. Growth 209, 526 (2000).
14. C. H. Park, S. B. Zhang, and S.-H. Wei, Phys. Rev. B 66, 073202 (2002).
15. K.-K. Kim, J.-H. Song, H.-J. Jung, W. K. Choi, S. J. Park, J. H. Song, and J. Y. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2864 (2000).
16. S. Nakamura, N. Iwasa, M. Senoh, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 31, 1258 (1992).
17. Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy, edited by Johon F. Moulder (PHI, 1992).
18. CRC Handbook of Chemistry and Physics, edited by D. R. Lide (CRC, Boca Raton, FL, 2002), pp. (5-6)-(5-23) and (9-56).
19. H. J. Ko, Y. F. Chen, S. K. Hong, H. Wenisch, T. Yao, and D. C. Look, Appl. Phys. Lett. 77, 3761 (2000).