Early stages of bubble formation in helium-implanted (100) silicon

Physica Status Solidi (A) Applied Research

Volumn 198, Issue 1, 2003, Pages 29-37

  Pivac, B ^a   Milat, O ^b   Dubcek P ^a,c   Bernstorff, S ^c   Corni, F ^d   Nobili, C ^d   Tonini, R ^d  

^a RUDER BO KOVI INSTITUTE   (Croatia)

^b INSTITUTE OF PHYSICS   (Croatia)

^c SINCROTRONE TRIESTE   (Italy)

^d UNIVERSITY OF MODENA AND REGGIO EMILIA   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; BUBBLE FORMATION; CRYSTAL GROWTH FROM MELT; HELIUM; ION IMPLANTATION; RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY; SPECTROMETRY; TEMPERATURE; THERMODYNAMIC STABILITY; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; X RAY SCATTERING;

ELASTIC RECOIL DETECTION; GRAZING INCIDENCE SMALL ANGLE X-RAY SCATTERING; THERMAL DESORPTION SPECTROMETRY;

SEMICONDUCTING SILICON;

EID: 0041508231     PISSN: 00318965     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssa.200306457     Document Type: Article

References (34)

1. S. M. Myers, D. M. Follstaed, H. J. Stein, and W. R. Wampler, Phys. Rev. B 45, 3914 (1992).
2. D. M. Follstaed, Appl. Phys. Lett. 62, 1116 (1993).
3. D. J. Eaglesham, A. E. White, L. C. Feldman, N. Moriya, and D. C. Jacobson, Phys. Rev. Lett. 70, 1643 (1993).
4. P. F. P. Fichtner, J. R. Kaschny, A. Kling, H. Trinkhaus, R. A. Yankov, A. Mucklich, W. Skorupa, F. C. Zawislak, L. Amaral, M. F. Dasilva, and J. C. Soares, Nucl. Instrum. Methods B 138, 460 (1998).
5. V. Raineri, P. G. Fallica, G. Percolla, A. Battaglia, M. Barbagallo, and S. U. Campisano, J. Appl. Phys. 78, 33727 (1995).
6. S. M. Myers, G. A. Petersen, and C. H. Seager, J. Appl. Phys. 80, 3717 (1996).
7. P. F. P. Fichtner, M. Behar, J. R. Kaschny, A. Peeva, R. Koegler, and W. Skorupa, Appl. Phys. Lett. 77, 972 (2002).
8. V. Raineri and S. U. Campisano, Appl. Phys. Lett. 69, 1783 (1996).
9. C. H. Seager, S. M. Myers, R. A. Anderson, W. L. Warren, and D. M. Follstaedt, Phys. Rev. B 50, 2458 (1994).
10. V. Raineri, G. Fallica, and S. Libertino, J. Appl. Phys. 79, 9012 (1996).
11. H. Trinkhaus, B. Hollaender, St. Rongen, S. Mantl, H.-J. Herzog, J. Kuchenbecker, and T. Hackbarth, Appl. Phys. Lett. 76, 3552 (2000).
12. M. Luysberg, D. Kirch, H. Trinkhaus, B. Hollander, S. Lenk, S. Mantl, H.-J. Herzog, T. Hackbarth, and P. F. P. Fichtner, J. Appl. Phys. 92, 4290 (2002).
13. G. F. Cerofolini, F. Corni, S. Frabboni, C. Nobili, G. Ottaviani, and R. Tonini, Mater. Sci. Eng. R 237, 1 (2000).
14. V. Raineri and M. Saggio, Appl. Phys. Lett. 71, 1673 (1997).
15. P. F. P. Fichtner, A. Peeva, M. Behar, G. de M. Azevedo, R. L. Maltez, R. Koegler, and W. Skorupa, Nucl. Instrum. Methods B 161, 1038 (2000).
16. J. F. Ziegler, in: Stopping and Range of Ions in Matter-SRIM (1998).
17. L. R. Doolittle, Nucl. Instrum. Methods B 15, 227 (1986).
18. H. Amenitsch, S. Bernstorff, and P. Laggner, Rev. Sci. Instrum. 66, 1624 (1995).
19. R. Tonini, F. Corni, S. Frabboni, G. Ottaviani, and G. F. Cerofolini, J. Appl. Phys. 84, 4802 (1998).
20. G. F. Cerofolini, F. Corni, G. Ottaviani, and R. Tonini, Nucl. Instrum. Methods B 71, 441 (1992).
21. F. Corni, C. Nobili, G. Ottaviani, R. Tonini, G. Calzolari, G. F. Cerofolini, and G. Queirolo, Phys. Rev. B 56, 7331 (1997).
22. F. Corni, G. Calzolari, S. Frabboni, C. Nobili, G. Ottaviani, R. Tonini, G. F. Cerofolini, D. Leone, M. Servidori, R. S. Brusa, G. P. Karwasz, N. Tiengo, and A. Zecca, J. Appl. Phys. 85, 1401 (1999).
23. F. Corni, G. Calzolari, F. Gambetta, C. Nobili, R. Tonini, and M. Zapparoli, Mater. Sci. Eng. B 71, 207 (2000).
24. G. F. Cerofolini, G. Calzolari, F. Corni, S. Frabboni, C. Nobili, G. Ottaviani, and R. Tonini, Phys. Rev. B 61, 10183 (2000).
25. P. Dubček, O. Milat, B. Pivac, S. Bernstorff, H. Amenitsch, R. Tonini, F. Corni, and G. Ottaviani, Mater. Sci. and Eng. B 71, 82 (2000).
26. A. M. Heald, H. Chen, and Y. M. Tranquada, Phys. Rev. B 38, 1016 (1988).
27. R. Pynn, Phys. Rev. B 45, 602 (1988).
28. S. K. Sinha, Physica B 173, 25 (1991).
29. S. Gilles and M. Brunel, Nucl. Instrum. Methods B 44, 331 (1990).
30. C. Schug, P. Lamparter, and S. Steeb, Physica B 248, 62 (1998).
31. S. Libertino, J. L. Benton, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, J. M. Poate, S. Coffa, P. Kringhoj, P. G. Fuochi, and M. Lavalle, Appl. Phys. Lett. 71, 389 (1977).
32. M. Alatalo, M. J. Puska and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 46, 12806 (1992).
33. R. S. Brusa, G. P. Karwasz, N. Tiengo, A. Zecca, F. Corni, G. Calzolari, and C. Nobili, J. Appl. Phys. 85, 2390 (1999).
34. R. S. Brusa, G. P. Karwasz, N. Tiengo, A. Zecca, F. Corni, R. Tonini, and G. Ottaviani, Phys. Rev. B 61, 10154 (2000).