A Measurement System for the Determination of Material Properties of Microcomponents on the Basis of Digital Holography;Ein Messsystem zur Bestimmung von Materialkennwerten an Mikrokomponenten auf Basis der Digitalen Holografie

Technisches Messen

Volumn 68, Issue 2, 2001, Pages 80-85

  Osten, Wolfgang ^a   Seebacher, Sönke ^a   Baumbach, Thorsten ^a   Jüptner, Werner ^a  

^a BIAS BREMER INSTITUT FÜR ANGEWANDTE STRAHLTECHNIK GMBH   (Germany)

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DEFORMATION ANALYSIS; DIGITAL HOLOGRAPHY; MATERIAL PARAMETER; MEASUREMENT SYSTEM; MICRO-COMPONENTS; MICROSYSTEM COMPONENTS; THERMAL EXPANSION COEFFICIENTS; YOUNG'S MODULUS;

COMPUTER GENERATED HOLOGRAPHY; ELASTIC MODULI; THERMAL EXPANSION;

MEASUREMENTS;

EID: 0041469802     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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