Components for Structured Illumination and Loading Control of MEMS;Komponenten zur strukturierten Beleuchtung und Belastungssteuerung von Mikrobauteilen

Technisches Messen

Volumn 68, Issue 2, 2001, Pages 101-105

  Kopp N ^a   Liedtke, B ^a   Meier, W ^a  

^a VEW Ver Elektronikwerkstatten GmbH   (Germany)

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INSPECTION SYSTEM; LOADING CONTROL; MICRO PART; MICRO-COMPONENTS; SIGNAL AMPLIFICATIONS; STRUCTURED ILLUMINATION; SYSTEM COMPONENTS;

MEASUREMENTS;

INSTRUMENTS;

EID: 0041469800     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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