Bias enhanced nucleation of diamond on silicon (100) in a HFCVD system

Diamond and Related Materials

Volumn 12, Issue 3-7, 2003, Pages 336-339

  Janischowsky, K ^a   Ebert, W ^a   Kohn, E ^a  

^a UNIVERSITY OF ULM   (Germany)

Author keywords

Bias growth; Diamond film; Heteroepitaxy; Hot filament CVD

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CRYSTAL GROWTH; IONS; NUCLEATION; SILICON; SUBSTRATES; SURFACES;

HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (HFCVD);

DIAMONDS;

DIAMOND;

EID: 0038577142     PISSN: 09259635     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0925-9635(02)00294-7     Document Type: Article

References (17)

1. Yugo, S., Kanai, T., Kimura, T., & Muto, T. (1991). Appl. Phys. Lett.. 58 1036.
2. Stoner, B. R., & Glass, J. T. (1992). Appl. Phys. Lett.. 60 698.
3. Jiang, X., Klages, C. P., Zachai, R., Hartweg, M., & Füsser , H. J. (1993). Appl. Phys. Lett.. 62 3438.
4. Wolter, S. D., Glass, J. T., & Stoner, B. R. (1995). J. Appl. Phys.. 77 5119.
5. Jiang, X., Six, R., Klages, C. P., Zachai, R., Hartweg, M., & Füßer, H. J. (1993). Diamond Relat. Mater.. 2 407.
6. Jiang, X., & Klages, C. P. (1993). Diamond Relat. Mater.. 2 1112.
7. Kim, D. G., Seong, T. Y., & Baik, Y. J. (1998). J. Electrochem. Soc.. 145 2095.
8. Milne, D. K., Roberts, P. G., John, P., Jubber, M. G., Liehr, M., & Wilson, J. I. (1995). Diamond Relat. Mater.. 4 394.
9. Flöter, A., Güttler, H., Schulz, G., Steinbach, D., Lutz-Elsner, C., & Zachai, R. (1998). Diamond Relat. Mater.. 7 283.
10. Stubhan, F., Ferguson, M., & Füßer, H. J. (1900). Appl. Phys. Lett.. 66 1995.
11. Li, X., Hayashi, Y., & Nishino, S. (1997). Jpn. J. Appl. Phys.. 36 5197.
12. Chen, Q., Yang, J., & Lin, Z. (1853). Appl. Phys. Lett.. 67 1995.
13. Zhou, X. T., Lai, H. L., Peng, H. Y., Sun, C., Zhang, W. H., & Wang, N. (2000). Diamond Relat. Mater.. 9 134.
14. Söckelt, R., Stammler, M., Janischowsky, K., Ley, L., Albrecht, M., & Strunk, H. P. (1998). J. Appl. Phys.. 83 531.
15. Stöckel, R., Janischowsky, K., Rohmfeld, S., Ristein, J., Hundhausen, M., & Ley, L. (1996). J. Appl. Phys.. 79 768.
16. Lorenz, H. P., & Schilling, W. (1997). Diamond Relat. Mater.. 6 6.
17. Thürer, K. H., Schreck, M., & Stritzker, B. (1998). Phys. Rev.. B57 15454.