Quantitative evaluation of electron beam writing in passivated gold nanoclusters

Applied Physics Letters

Volumn 78, Issue 13, 2001, Pages 1921-1923

  Bedson, T R ^a   Palmer, R E ^a   Jenkins, T E ^b   Hayton, D J ^b   Wilcoxon, J P ^c  

^a UNIVERSITY OF BIRMINGHAM   (United Kingdom)

^b ABERYSTWYTH UNIVERSITY   (United Kingdom)

^c SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035952789     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1354154     Document Type: Article

References (21)

1. H. Osman, J. Schmidt, Y. Shigeta, K. Svensson, and R. E. Palmer, Chem. Phys. Lett. 330, 1 (2000).
2. P. J. Durston, J. Schmidt, J. P. Wilcoxon, and R. E. Palmer, Appl. Phys. Lett. 71, 2940 (1997).
3. P. J. Durston, J. P. Wilcoxon, and R. E. Palmer, Appl. Phys. Lett. 72, 176 (1998).
4. C. J. Kiely, J. Fink, M. Brust, D. Bethell, and D. J. Schiffrin, Nature (London) 396, 444 (1998).
5. H. G. Craighead and L. M. Schiavone, Appl. Phys. Lett. 48, 1748 (1986).
6. M. N. Wybourne, L. Clarke, M. Yan, S. X. Cai, L. O. Brown, J. Hutchinson, and J. F. W. Keana, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 7796 (1997); L. Clarke, M. N. Wybourne, M. Yan, S. X. Cai, and J. F. W. Keana, Appl. Phys. Lett. 71, 617 (1997); L. Clarke, M. N. Wybourne, M. Yan, S. X. Cai, L. O. Brown, J. Hutchinson, and J. F. W. Keana, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2925 (1997).
7. M. N. Wybourne, L. Clarke, M. Yan, S. X. Cai, L. O. Brown, J. Hutchinson, and J. F. W. Keana, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 7796 (1997); L. Clarke, M. N. Wybourne, M. Yan, S. X. Cai, and J. F. W. Keana, Appl. Phys. Lett. 71, 617 (1997); L. Clarke, M. N. Wybourne, M. Yan, S. X. Cai, L. O. Brown, J. Hutchinson, and J. F. W. Keana, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2925 (1997).
8. M. N. Wybourne, L. Clarke, M. Yan, S. X. Cai, L. O. Brown, J. Hutchinson, and J. F. W. Keana, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 7796 (1997); L. Clarke, M. N. Wybourne, M. Yan, S. X. Cai, and J. F. W. Keana, Appl. Phys. Lett. 71, 617 (1997); L. Clarke, M. N. Wybourne, M. Yan, S. X. Cai, L. O. Brown, J. Hutchinson, and J. F. W. Keana, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2925 (1997).
9. M. T. Reetz and M. Winner, J. Am. Chem. Soc. 119, 4539 (1997); J. Lohau, S. Friedrichowski, G. Dumpich, E. F. Wassermann, M. Winner, and M. T. Reetz, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 77 (1998); G. Dumpich, J. Lohau, E. F. Wassermann, M. Winner, and M. T. Reetz, Mater. Sci. Forum 287-288, 413 (1998).
10. M. T. Reetz and M. Winner, J. Am. Chem. Soc. 119, 4539 (1997); J. Lohau, S. Friedrichowski, G. Dumpich, E. F. Wassermann, M. Winner, and M. T. Reetz, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 77 (1998); G. Dumpich, J. Lohau, E. F. Wassermann, M. Winner, and M. T. Reetz, Mater. Sci. Forum 287-288, 413 (1998).
11. M. T. Reetz and M. Winner, J. Am. Chem. Soc. 119, 4539 (1997); J. Lohau, S. Friedrichowski, G. Dumpich, E. F. Wassermann, M. Winner, and M. T. Reetz, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 77 (1998); G. Dumpich, J. Lohau, E. F. Wassermann, M. Winner, and M. T. Reetz, Mater. Sci. Forum 287-288, 413 (1998).
12. J. P. Wilcoxon, R. L. Williamson, and R. J. Baughman, J. Chem. Phys. 98, 9933 (1993).
13. P. J. Durston, J. Schmidt, J. P. Wilcoxon, and R. E. Palmer, Appl. Phys. Lett. 71, 2940 (1997).
14. T. R. Bedson, P. D. Nellist, R. E. Palmer, and J. P. Wilcoxon, Microelectron. Eng. 53, 187 (2000).
15. T. E. Jenkins, D. J. Hayton, T. R. Bedson, R. E. Palmer, and J. P. Wilcoxon, J. Phys. D (submitted).
16. M. A. McCord and M. J. Rooks, Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication, edited by P. Rai-Chouhury (IEE, London, 1997), Vol. 1.
17. T. R. Bedson, J. P. Wilcoxon, and R. E. Palmer, Appl. Phys. Lett. (in press).
18. Y.-M. Ham, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2313 (1997).
19. J. Fujita, Y. Ohnishi, S. Manako, Y. Ochiai, and S. Matsui, Microelectron. Eng. 41/42, 323 (1998).
20. T. Tada and T. Kanayama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 35, L63 (1996).
21. A. P. G. Robinson, R. E. Palmer, T. Tada, T. Kanayama, M. T. Allen, J. A. Preece, and K. D. M. Harris, J. Phys. D 32, L75 (1999).