-
2
-
-
0023539343
-
-
T. Tung, M. H. Kalisher, A. P. Stevens, and P. E. Herning, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 90, 321 (1987).
-
(1987)
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
, vol.90
, pp. 321
-
-
Tung, T.1
Kalisher, M.H.2
Stevens, A.P.3
Herning, P.E.4
-
3
-
-
0000196324
-
-
O. K. Wu, G. S. Kamath, W. A. Radford, P. R. Brat, and E. A. Patten, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1034 (1990).
-
(1990)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.8
, pp. 1034
-
-
Wu, O.K.1
Kamath, G.S.2
Radford, W.A.3
Brat, P.R.4
Patten, E.A.5
-
6
-
-
0004537545
-
-
P. Mitra, Y. L. Tyan, F. C. Case, R. Starr, and M. B. Reine, J. Electron. Mater. 25, 1328 (1996).
-
(1996)
J. Electron. Mater.
, vol.25
, pp. 1328
-
-
Mitra, P.1
Tyan, Y.L.2
Case, F.C.3
Starr, R.4
Reine, M.B.5
-
7
-
-
58649108069
-
-
C. D. Maxey, C. L. Jones, N. E. Metcalfe, R. A. Catchpole, N. T. Gordon, A. M. White, and C. T. Elliot, Proc. SPIE 3122, 453 (1997).
-
(1997)
Proc. SPIE
, vol.3122
, pp. 453
-
-
Maxey, C.D.1
Jones, C.L.2
Metcalfe, N.E.3
Catchpole, R.A.4
Gordon, N.T.5
White, A.M.6
Elliot, C.T.7
-
8
-
-
0000478516
-
-
S. Sivananthan, P. S. Wijewarnasuriya, F. Aqariden, H. R. Vydyanath, M. Zandian, D. D. Edwall, and J. M. Arias, J. Electron. Mater. 26, 621 (1997).
-
(1997)
J. Electron. Mater.
, vol.26
, pp. 621
-
-
Sivananthan, S.1
Wijewarnasuriya, P.S.2
Aqariden, F.3
Vydyanath, H.R.4
Zandian, M.5
Edwall, D.D.6
Arias, J.M.7
-
9
-
-
0000073381
-
-
M. Zandian, A. C. Chen, D. D. Edwall, J. G. Pasko, and J. M. Arias, Appl. Phys. Lett. 71, 2815 (1997).
-
(1997)
Appl. Phys. Lett.
, vol.71
, pp. 2815
-
-
Zandian, M.1
Chen, A.C.2
Edwall, D.D.3
Pasko, J.G.4
Arias, J.M.5
-
11
-
-
0344165605
-
-
A. C. Chen, M. Zandian, D. D. Edwall, R. E. DeWames, P. S. Wijewarnasuriya, J. M. Arias, S. Sivananthan, M. Berding, and A. Sher, J. Electron. Mater. 27, 595 (1998).
-
(1998)
J. Electron. Mater.
, vol.27
, pp. 595
-
-
Chen, A.C.1
Zandian, M.2
Edwall, D.D.3
DeWames, R.E.4
Wijewarnasuriya, P.S.5
Arias, J.M.6
Sivananthan, S.7
Berding, M.8
Sher, A.9
-
13
-
-
0001411541
-
-
X. H. Shi, S. Rujirawat, R. Ashokan, C. H. Grein, and S. Sivananthan, Appl. Phys. Lett. 73, 638 (1998).
-
(1998)
Appl. Phys. Lett.
, vol.73
, pp. 638
-
-
Shi, X.H.1
Rujirawat, S.2
Ashokan, R.3
Grein, C.H.4
Sivananthan, S.5
-
14
-
-
22644449853
-
-
B. Yang, F. Aqariden, C. H. Grein, A. Jandaska, T. S. Lee, A. Nemani, S. Rujirawat, X. H. Shi, M. Sumstine, S. Velicu, and S. Sivananthan, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 1205 (1999).
-
(1999)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.17
, pp. 1205
-
-
Yang, B.1
Aqariden, F.2
Grein, C.H.3
Jandaska, A.4
Lee, T.S.5
Nemani, A.6
Rujirawat, S.7
Shi, X.H.8
Sumstine, M.9
Velicu, S.10
Sivananthan, S.11
-
17
-
-
0000256205
-
-
M. J. Bevan, L. A. Almeida, W. M. Duncan, and H. D. Shih, J. Electron. Mater. 26, 502 (1997).
-
(1997)
J. Electron. Mater.
, vol.26
, pp. 502
-
-
Bevan, M.J.1
Almeida, L.A.2
Duncan, W.M.3
Shih, H.D.4
-
18
-
-
0034187788
-
-
F. Aqariden, H. D. Shih, P. K. Liao, W. M. Duncan, and R. Dat, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 1381 (2000).
-
(2000)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.18
, pp. 1381
-
-
Aqariden, F.1
Shih, H.D.2
Liao, P.K.3
Duncan, W.M.4
Dat, R.5
-
19
-
-
0000509787
-
-
T. A. Temofonte, A. J. Norieka, M. J. Bevan, P. R. Emtage, C. F. Seiler, and P. Mitra, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 440 (1989).
-
(1989)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.7
, pp. 440
-
-
Temofonte, T.A.1
Norieka, A.J.2
Bevan, M.J.3
Emtage, P.R.4
Seiler, C.F.5
Mitra, P.6
-
20
-
-
0004278609
-
-
Cambridge University Press, Cambridge
-
R. A. Smith, Semiconductors (Cambridge University Press, Cambridge 1968), p. 106.
-
(1968)
Semiconductors
, pp. 106
-
-
Smith, R.A.1
-
21
-
-
0345762194
-
-
M. S. Thesis, Massachusetts Institute of Technology
-
T. T. S. Wong, M. S. Thesis, Massachusetts Institute of Technology, 1974.
-
(1974)
-
-
Wong, T.T.S.1
-
22
-
-
0037568522
-
-
M. J. Hyliands, J. Thompson, M. J. Bevan, K. T. Woodhouse, and V. Vincent, J. Vac. Sci. Technol. A 4, 2217 (1986).
-
(1986)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.4
, pp. 2217
-
-
Hyliands, M.J.1
Thompson, J.2
Bevan, M.J.3
Woodhouse, K.T.4
Vincent, V.5
|