Electrostatic force microscopy with a self-sensing piezoresistive cantilever

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 39, Issue 2, 2001, Pages 209-212

  Pi, U H ^a   Kye, J I ^a   Shin, S ^a   Khim, Z G ^a   Hong, J W ^b   Yoon, S ^c  

^a Seoul National University   (South Korea)

^b PSIA Corporation   (South Korea)

^c The Catholic University of Korea   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035535661     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (16)

1. J. F. Scott and C. A. Paz De Araujo, Science 246, 1400 (1989).
2. T. Hidaka, T. Maruyama, M. Saitoh, N. Mikoshiba, M. Shimizu, T. Shiosaki, L. A. Wills, R. Hiskes, S. A. Dicarolis and J. Amano, Appl. Phys. Lett. 68, 2358 (1996).
3. A. Gruverman, H. Tokumoto, A. S. Prakash, S. Aggarwal, B. Yang, R. Ramesh, O. Auciello and T. Venkatesan, Appl. Phys. Lett. 71, 3492 (1997).
4. A. Gruverman, O. Auciello and H. Tokumoto, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 602 (1996).
5. C. H. Ahn, T. Tybell, L. Antognazza, K. Char, R. H. Hammond, M. R. Beasley, O. Fischer and J. -M. Triscone, Science 276, 1100 (1997).
6. T. Tybell, C. H. Ahn and J. -M. Triscone, Appl. Phys. Lett. 72, 1454 (1998).
7. J. W. Hong, D. S. Kahng, J. C. Shin, H. J. Kim and Z. G. Khim, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 2942 (1998).
8. S. C. Minne, S. R. Manalis, A. Atalar and C. F. Quate, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2456 (1996).
9. S. C. Minne, G. Yaralioglu, S. R. Manalis, J. D. Adams, J. Zesch, A. Atalar and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 72, 2340 (1998).
10. Parks Scientific Instruments Piezolever Contact CP.
11. T. Gotszalk, P. B. Grabiec, P. Dumania, F. Shi, P. Hudek, I. W. Rangelow and J. Radojewski, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3948 (1998).
12. J. W. Hong, A. S. Hou, Sang-il Park and Z. G. Khim, Rev. Sci. Instrum. 68, 4506 (1997).
13. J. W. Hong, K. H. Noh, Sang-il Park, S. I. Kwun and Z. G. Khim, Phys. Rev. B 58, 5078 (1998).
14. J. W. Hong, Sang-il Park and Z. G. Khim, Rev. Sci. Instrum. 70, 1735 (1999).
15. J. W. Hong, B. I. Kim, J. I. Kye and Z. G. Khim, J. Korean Phys. Soc. 31, S83 (1997)
16. Parks Scientific Instruments Piezolever Noncontact VP.