SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Applied Physics A: Materials Science and Processing

Volumn 68, Issue 3, 1999, Pages 339-342

Transducer properties of AFM microprobes conformally covered by ALE-deposited SnO2 thin films

(3) Utriainen, M a Niinisto L a Matero, R b

a AALTO UNIVERSITY (Finland)

b UNIVERSITY OF HELSINKI (Finland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; COATINGS; EPITAXIAL GROWTH; FILM GROWTH; MECHANICAL PROPERTIES; OPTICAL PROPERTIES; PROBES; THIN FILMS; TIN COMPOUNDS; TRANSDUCERS;

ATOMIC LAYER EPITAXY (ALE); TIN OXIDE;

SILICON SENSORS;

EID: 0033097314 PISSN: 09478396 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1007/s003390050899 Document Type: Article

Times cited : (6)

References (22)

1
- 0028020164
- C.D. Frisbie, L.W. Rozsnyai, A. Noy, M.S. Wrighton, C.M. Lieber: Science 265, 2071 (1994)
- (1994) Science , vol.265 , pp. 2071
- Frisbie, C.D.¹ Rozsnyai, L.W.² Noy, A.³ Wrighton, M.S.⁴ Lieber, C.M.⁵

2
- 0029322829
- S. Akari, D. Horn, H. Keller, W. Schrepp: Adv. Mater. 7, 549 (1995)
- (1995) Adv. Mater. , vol.7 , pp. 549
- Akari, S.¹ Horn, D.² Keller, H.³ Schrepp, W.⁴

3
- 0000313118
- Ph. Niedermann, W. Hänni, N. Blanc, R. Christoph, J. Burger: J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1233 (1996)
- (1996) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.14 , pp. 1233
- Niedermann, P.¹ Hänni, W.² Blanc, N.³ Christoph, R.⁴ Burger, J.⁵

4
- 0038383886
- G.J. Germann, G.M. McClelland, Y. Mitsuda, M. Buck, H. Seki: Rev. Sci. Instrum. 63, 4053 (1992)
- (1992) Rev. Sci. Instrum. , vol.63 , pp. 4053
- Germann, G.J.¹ McClelland, G.M.² Mitsuda, Y.³ Buck, M.⁴ Seki, H.⁵

5
- 0346578720
- B.B. Doris, R.I. Hegde: Appl. Phys. Lett. 67, 3818 (1995)
- (1995) Appl. Phys. Lett. , vol.67 , pp. 3818
- Doris, B.B.¹ Hegde, R.I.²

6
- 0009580142
- S. Kim, S.-K. Park, C. Park, I.C. Jeon: J. Vac. Sci. Technol. B 14, 1318 (1996)
- (1996) J. Vac. Sci. Technol. B , vol.14 , pp. 1318
- Kim, S.¹ Park, S.-K.² Park, C.³ Jeon, I.C.⁴

7
- 0031556161
- E.W. van der Vegte, G. Hadziioannou: Langmuir 13, 4357 (1997)
- (1997) Langmuir , vol.13 , pp. 4357
- Van Der Vegte, E.W.¹ Hadziioannou, G.²

8
- 0000300191
- ed. by D.T.J. Hurle Elsevier, Amsterdam
- T. Suntola: In Handbook of Crystal Growth, Vol. 3. ed. by D.T.J. Hurle (Elsevier, Amsterdam 1994) p. 601
- (1994) Handbook of Crystal Growth , vol.3 , pp. 601
- Suntola, T.¹

9
- 0041822817
- L. Niinistö, M. Ritala, M. Leskelä: Mater. Sci. Eng. B 41, 23 (1996)
- (1996) Leskelä: Mater. Sci. Eng. b , vol.41 , pp. 23
- Niinistö, L.¹ Ritala, M.² M³

10
- 0031546895
- M. Ritala: Appl. Surf. Sci. 112, 223 (1997)
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.112 , pp. 223
- Ritala, M.¹

11
- 0028498402
- H. Viirola, L. Niinistö: Thin Solid Films 249, 144 (1994)
- (1994) Thin Solid Films , vol.249 , pp. 144
- Viirola, H.¹ Niinistö, L.²

12
- 0001095608
- H. Viirola, L. Niinistö: Thin Solid Films 251, 127 (1994)
- (1994) Thin Solid Films , vol.251 , pp. 127
- Viirola, H.¹ Niinistö, L.²

13
- 0032710255
- M. Utriainen, K. Kovács, J. Campbell, L. Niinistö, F. Réti: J. Electrochem. Soc. 146, 189 (1999)
- (1999) J. Electrochem. Soc. , vol.146 , pp. 189
- Utriainen, M.¹ Kovács, K.² Campbell, J.³ Niinistö, L.⁴ Réti, F.⁵

14
- 0026208646
- N. Yamazoe: Sens. Actuators B 5, 7 (1991)
- (1991) Sens. Actuators b , vol.5 , pp. 7
- Yamazoe, N.¹

15
- 26544437252
- submitted
- M. Utriainen, A. Leijala, R. Matero, L. Niinistö: Anal. Chem., submitted
- Anal. Chem.
- Utriainen, M.¹ Leijala, A.² Matero, R.³ Niinistö, L.⁴

16
- 0027659199
- M. Ylilammi, T. Ranta-aho: Thin Solid Films 232, 56 (1993)
- (1993) Thin Solid Films , vol.232 , pp. 56
- Ylilammi, M.¹ Ranta-aho, T.²

17
- 0027947140
- J.-A. Ruan, B. Bhushan: J. Tribology 116. 378 (1994)
- (1994) J. Tribology , vol.116 , pp. 378
- Ruan, J.-A.¹ Bhushan, B.²

18
- 21544453647
- L. Montelius, J.O. Tegenfeldt: Appl. Phys. Lett. 62, 2628 (1993)
- (1993) Appl. Phys. Lett. , vol.62 , pp. 2628
- Montelius, L.¹ Tegenfeldt, J.O.²

19
- 0028518370
- C. Odin, J.P. Aimé, Z. El Kaakour, T. Bouhacina: Surf. Sci. 317, 321 (1994)
- (1994) Surf. Sci. , vol.317 , pp. 321
- Odin, C.¹ Aimé, J.P.² El Kaakour, Z.³ Bouhacina, T.⁴

20
- 0032166098
- V. Sammelselg, A. Rosental, A. Tarre, L. Niinistö, K. Heiskanen, K. Ilmonen, L.-S. Johansson, T. Uustare: Appl. Surf. Sci. 134, 78 (1998)
- (1998) Appl. Surf. Sci. , vol.134 , pp. 78
- Sammelselg, V.¹ Rosental, A.² Tarre, A.³ Niinistö, L.⁴ Heiskanen, K.⁵ Ilmonen, K.⁶ Johansson, L.-S.⁷ Uustare, T.⁸

21
- 0030086051
- C. Dücsö, N.Q. Khanh, Z. Horvâth, I. Bársony, M. Utriainen, S. Lehto, M. Nieminen, L. Niinistö: J. Electrochem. Soc. 143, 683 (1996)
- (1996) J. Electrochem. Soc. , vol.143 , pp. 683
- Dücsö, C.¹ Khanh, N.Q.² Horvâth, Z.³ Bársony, I.⁴ Utriainen, M.⁵ Lehto, S.⁶ Nieminen, M.⁷ Niinistö, L.⁸

22
- 0031125095
- M. Utriainen, S. Lehto, L. Niinistö C. Dücsö, N.Q. Khanh, Z.E. Horváth, I. Bársony, B. Pécz: Thin Solid Films 297, 39 (1997)
- (1997) Thin Solid Films , vol.297 , pp. 39
- Utriainen, M.¹ Lehto, S.² Niinistö, L.³ Dücsö, C.⁴ Khanh, N.Q.⁵ Horváth, Z.E.⁶ Bársony, I.⁷ Pécz, B.⁸

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.