Nanostructuring with spatially localized femtosecond laser pulses

Optics Letters

Volumn 24, Issue 13, 1999, Pages 914-916

  Nolte, S ^a   Chichkov, B N ^a   Welling, H ^a   Shani, Y ^b   Lieberman, K ^b   Terkel, H ^b  

^a LASER ZENTRUM HANNOVER E V   (Germany)

^b Nanonics Lithography Ltd   (Israel)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; LASER ABLATION; LIGHT POLARIZATION; LITHOGRAPHY; MASKS; NANOTECHNOLOGY; OPTICAL MICROSCOPY; PULSED LASER APPLICATIONS; ULTRAFAST PHENOMENA;

DIRECT ABLATIVE WRITING; SCANNING NEAR-FIELD OPTICAL MICROSCOPY (SNOM);

LASER OPTICS;

EID: 0032614534     PISSN: 01469592     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1364/OL.24.000914     Document Type: Article

References (24)

1. S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
2. P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
3. C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
4. B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, J. Opt. Soc. Am. B 13, 459 (1996).
5. W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
6. S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tünnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
7. E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
8. E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
9. S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
10. S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
11. G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
12. G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
13. G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
14. G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
15. G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
16. G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
17. D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996).
18. J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
19. A. Vertikov, M. Kuball, A. V. Nurmikko, and H. J. Maris, Appl. Phys. Lett. 69, 2465 (1996).
20. S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
21. B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
22. M. K. Lewis, P. Wolanin, A. Gafni, and D. Steel, Opt. Lett. 23, 1111 (1998).
23. M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
24. T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu, Appl. Phys. Lett. 73, 2090 (1998).