Patterning of sub-50 nm dense features with space-invariant 157 nm interference lithography

Applied Physics Letters

Volumn 77, Issue 20, 2000, Pages 3149-3151

  Switkes, M ^a   Bloomstein, T M ^a   Rothschild, M ^a  

^a MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001242779     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1326490     Document Type: Article

References (19)

1. Semiconductor Industry Association, International Technology Roadmap for Semiconductors (International SEMATECH, Austin, TX, 1999).
2. T. M. Bloomstein, M. W. Horn, M. Rothschild, R. R. Kunz, S. T. Palmacci, and R. B. Goodman, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2112 (1997).
3. T. M. Bloomstein, M. Rothschild, R. R. Kunz, D. E. Hardy, R. B. Goodman, and S. T. Palmacci, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3154 (1998).
4. M. Rothschild, T. M. Bloomstein, J. E. Curtin, D. K. Downs, T. H. Fedynyshyn, D. E. Hardy, R. R. Kunz, V. Liberman, J. H. C. Sedlacek, R. S. Uttaro, A. K. Bates, and C. Van Peski, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3262 (1999).
5. C. V. Shank and R. V. Schmidt, Appl. Phys. Lett. 23, 154 (1973).
6. W. Hinsberg, F. A. Houle, J. Hoffnagle, M. Sanchez, G. Wallraff, M. Morrison, and S. Frank, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3689 (1998).
7. X. Chen and S. R. J. Brueck, Proc. SPIE 3331, 214 (1997).
8. X. Chen and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3392 (1998).
9. M. I. Sanchez, W. D. Hinsberg, E. A. Houle, J. A. Hoffnagle, H. Ito, and C. Nguyen, Proc. SPIE 3678, 160 (1999).
10. S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, F. M. Schellenberg, R. S. Mackay, K. Uekert, and J. J. Persoff, Proc. SPIE 3048, 248 (1997).
11. E. N. Leith and B. J. Chang, Appl. Opt. 12, 1957 (1973).
12. E. H. Anderson, K. Komatsu, and H. I. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 216 (1988).
13. T. A. Savas, M. L. Schattenburg, J. M. Carter, and H. I. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4167 (1996).
14. J. Jamin, Acad. Sci., Paris, C. R. 42, 482 (1856).
15. M. Born and F. Wolf, Principles of Optics, 3rd ed. (Pergamon, London, 1965).
16. T. H. Fedynyshyn, R. R. Kunz, S. P. Doran, M. L. Lind, and J. E. Curtin, Proc. SPIE 3999, 335 (2000).
17. V. N. Ishchenko, S. A. Kochubei, and A. M. Razhev, Pis'ma Zh. Tekh. Fiz. 12, 157 (1986). [Sov. Tech. Phys. Lett. 12, 66 (1986)].
18. V. N. Ishchenko, S. A. Kochubei, and A. M. Razhev, Pis'ma Zh. Tekh. Fiz. 12, 157 (1986). [Sov. Tech. Phys. Lett. 12, 66 (1986)].
19. J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. Sanchez, and F. A. Houle, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3306 (1999).