Large-area achromatic interfere metric lithography for 100 nm period gratings and grids

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 14, Issue 6, 1996, Pages 4167-4170

  Savas, T A ^a   Schattenburg, M L ^a   Carter, J M ^a   Smith, Henry I ^a  

^a MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001350659     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (20)

1. W. Schollkopf and J. P. Toennies, J. Chem. Phys. 104, 1155 (1996).
2. D. W. Keith, M. L. Schattenburg, H. I. Smith, and D. E. Pritchard, Phys. Rev. Lett. 61, 1580 (1985).
3. M. L. Schattenburg, C. R. Canizares, D. Dewey, K. A. Flanagan, M. A. Hamnett, A. M. Levine, K. S. K. Lum, R. Manikkalingam, T. H. Market, and H. I. Smith, Opt. Eng. 30, 1590 (1991).
4. M. L. Schattenburg, R. J. Aucoin, R. C. Fleming, I. Plotnik, J. Porter, and H. I. Smith, Proc. SPIE 2280, 181 (1994).
5. E. E. Scime, E. A. Anderson, D. J. McComas, and M. L. Schattenburg, Appl. Opt. 34, 648 (1995).
6. E. H. Anderson, V. Boegli, M. L. Schattenburg, D. Kern, and H. I. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3606 (1991).
7. J. Ferrera, V. V. Wong, S. Riston, V. Boegli, E. H. Anderson, D. P. Kern, and H. I. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2342 (1993).
8. C. O. Bozler, C. T. Harris, S. Rabe, D. D. Rathman, M. A. Hollis, and H. I. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 629 (1994).
9. R. M. H. New, R. F. W. Pease, and R. L. White, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3196 (1994).
10. S. Y. Chou, M. Wei, P. R. Krauss, and P. B. Fischer, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3695 (1994).
11. P. R. Krauss, P. B. Fischer, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3639 (1994).
12. A. Yen, E. H. Anderson, R. A. Ghanbari, M. L. Schattenburg, and H. I. Smith, Appl. Opt. 31, 4540 (1992).
13. J. Ferrera, M. L. Schattenburg, and H. I. Smith, these proceedings.
14. T. A. Savas (to be published as part of a Ph.D. thesis).
15. T. A. Savas, S. N. Shah, M. L. Schattenburg, J. M. Carter, and H. I. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2732 (1995).
16. M. L. Schattenburg, R. J. Aucoin, and R. C. Fleming, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 3007 (1995).
17. R. R. Kunz and R. D. Allen, Proc. SPIE 2195, 447 (1994).
18. W. J. Dauksher, D. J. Resnick, W. A. Johnson, and A. W. Yanof, Microelectron. Eng. 23, 235 (1994).
19. W. J. Dauksher, D. J. Resnick, P. A. Seese, K. D. Cummings, A. W. Yanof, and W. A. Johnson, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3990 (1994).
20. A. Yen, M. L. Schattenburg, and H. I. Smith, Appl. Opt. 31, 2972 (1992).