Patterning of hydrogen-passivated Si(100) using Ar(3P0,2) metastable atoms

Applied Physics Letters

Volumn 74, Issue 15, 1999, Pages 2239-2241

  Hill, S B ^a   Haich, C A ^a   Dunning, F B ^a   Walters, G K ^a   McClelland, J J ^b   Celotta, R J ^b   Craighead, H G ^c  

^a RICE UNIVERSITY   (United States)

^b NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY   (United States)

^c Cornell University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000862738     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.123813     Document Type: Article

References (34)

1. N. Kramer, M. Niesten, and C. Schönenberger, Appl. Phys. Lett. 67, 2989 (1995).
2. S. Madsen, M. Müllenborn, K. Birkelund, and F. Grey, Appl. Phys. Lett. 69, 544 (1996).
3. M. Müllenborn, H. Dirac, and J. W. Petersen, Appl. Phys. Lett. 66, 3001 (1995).
4. R. E. Howard, H. G. Craighead, L. D. Jackel, P. M. Mankiewich, and M. Feldman, J. Vac. Sci. Technol. B 1, 1101 (1983).
5. E. S. Snow, P. M. Campbell, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 63, 749 (1993).
6. N. Kramer, J. Jorritsam, H. Birk, and C. Schönenberger, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 805 (1995).
7. J. W. Lyding, T. C. Shen, J. S. Hubacek, J. R. Tucker, and G. C. Abeln, Appl. Phys. Lett. 64, 2010 (1994).
8. P. M. Campbell, E. S. Snow, and P. J. McMarr, Surf. Sci. 361, 870 (1996).
9. H. C. Day and D. R. Allee, Appl. Phys. Lett. 62, 2691 (1993).
10. J. A. Dagata, J. Schneir, H. H. Harary, C. J. Evans, M. T. Postek, and J. Bennet, Appl. Phys. Lett. 56, 2001 (1990).
11. K. K. Berggren, A. Bard, J. L. Wilbur, J. D. Gilaspy, A. G. Helg, J. J. McClelland, S. L. Rolston, W. D. Phillips, M. Prentiss, and G. M. Whitesides, Science 269, 1255 (1995).
12. G. Timp, R. E. Behringer, D. M. Tennant, J. E. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69, 1636 (1992).
13. J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta, Science 262, 877 (1993).
14. R. W. McGowan, D. M. Giltner, and S. A. Lee, Opt. Lett. 20, 2535 (1995).
15. R. Gupta, J. J. McClelland, Z. J. Jabbour, and R. J. Celotta, Appl. Phys. Lett. 67, 1378 (1995).
16. V. Natarajan, R. E. Behringer, and G. Timp, Phys. Rev. A 53, 4381 (1996).
17. A. P. Chu, K. K. Berggren, K. S. Johnson, and M. G. Prentiss, Quantum Semiclassic. Opt. 8, 521 (1996).
18. U. Drodofsky, J. Stuhler, B. Brezger, T. Schulze, M. Drewsen, T. Pfau, and J. Mlynek, Microelectron. Eng. 35, 285 (1997).
19. K. S. Johnson, J. H. Thywissen, N. H. Dekker, K. K. Berggren, A. P. Chu, R. Younkin, and M. Prentiss, Science 280, 1583 (1998).
20. S. Nowak, T. Pfau, and J. Mlynek, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 63, 203 (1996).
21. S. B. Hill, C. A. Haich, F. B. Dunning, G. K. Walters, J. J. McClelland, R. J. Celotta, H. G. Craighead, J. Han, and D. M. Tanenbaum, J. Vac. Sci. Tech. B (in press).
22. K. S. Johnson, K. K. Berggren, A. Black, C. T. Black, A. P. Chu, N. H. Dekker, D. C. Ralph, J. H. Thywissen, R. Younkin, M. Tinkhan, M. Prentiss, and G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 69, 2773 (1996).
23. D. W. Fahey, W. F. Parks, and L. D. Schearer, J. Phys. E 13, 381 (1980).
24. S. Schohl, H. A. J. Meijer, M. Ruf, and H. Hotop, Meas. Sci. Technol. 3, 544 (1992).
25. Y. J. Chabal, G. S. Higashi, and K. Raghavachari, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2104 (1989).
26. L. Zazzera and J. F. Evans, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 934 (1993).
27. M. Grundner and H. Jacob, Appl. Phys. A: Solids Surf. 39, 73 (1985).
28. H. Hanbücken, H. Neddermayer, and J. R. Vanables, Surf. Sci. 137, L92 (1984).
29. H. N. Waltenburg and J. T. Yates, Chem. Rev. 95, (1995).
30. D. Rickey and J. Krenos, J. Chem. Phys. 106, 3135 (1996).
31. T. Engel, Surf. Sci. Rep. 18, 91 (1993).
32. J. Xu, W. J. Choyke, and J. T. Yates, J. Appl. Phys. 82, 6289 (1997).
33. M. Niwano, T. Miura, Y. Kimura, R. Tajima, and N. Miyamoto, J. Appl. Phys. 79, 3708 (1996).
34. M. K. Weldon, B. B. Stefanov, K. Raghavachari, and Y. J. Chabal, Phys. Rev. Lett. 79, 2851 (1997).