Chemical Solution Deposition of Perovskite Thin Films

Chemistry of Materials

Volumn 9, Issue 11, 1997, Pages 2325-2340

  Schwartz, Robert W ^a  

^a CLEMSON UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000828024     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm970286f     Document Type: Review

References (121)

1. Fukushima, J.; Kodaira, K.; Matsushita, T. J. Mater. Sci. 1984, 19, 595.
2. Budd, K. D.; Dey, S. K.; Payne, D. A. Brit. Ceram. Soc. Proc. 1985, 36, 107.
3. Dey, S. K.; Budd, K. D., Payne, D. A. IEEE Trans. UFFC 1988, 35 (1), 80.
4. See for example: Ferroelectric Thin Films I-V, Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 200, 243, 310, 361, and 433.
5. See for example: Integrated Ferroelectrics, Proc. of the International Symposia on Integrated Ferroelectrics, 1990-1997, 1-16.
6. Evans, J. T.; Miller, W. D.; Bullington, J. A. Ferroelectrics: A New Non-Volatile Technology; Krysalis Microelectronics Corp. Product Literature, 1987.
7. Jaffe, B.; Cook, W. R.; Jaffe, H. Piezoelectric Ceramics; Academic Press: New York, 1971.
8. Galasso, F. S. Structure, Properties and Preparation of Perovskite-type Compounds; Pergamon Press: Oxford, 1969.
9. Francis, L. F.; Payne, D. A. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1990, 200, 173.
10. Watton, R. Int. Ferro. 1994, 4, 175.
11. Amanuma, K.; Hase, T.; Miyasaka, Y. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1995, 361, 21.
12. Warren, W. L.; Robertson, J.; Dimos, D.; Tuttle, B. A.; Pike, G. E.; Payne, D. A. Phys. Rev. B 1996, 53, 3080.
13. Brinker, C. J.; Scherer, G. W. Sol-Gel Science: The Physics and Chemistry of Sol-Gel Processing; Academic Press: Boston, 1990.
14. Yi. G.; Sayer, M. Ceram. Bull. 1991, 70, 1173.
15. Schwartz, R. W.; et al. J. Mater. Res. 1997, 12, 444.
16. Coffman, P. K.; Dey, S. K. J. Sol-Gel Sci. Technol. 1994, 1, 251.
17. Schwartz, R. W.; Assink, R. A.; Headley, T. J. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1992, 243, 245.
18. Yi, G.; Wu, Z.; Sayer, M. J. Appl. Phys. 1988, 64, 2717.
19. Takahashi, Y.; et al. J. Mater. Sci. 1990, 25, 3960.
20. Vest, R. W.; Xu, J. IEEE Trans. UFFC 1988, 35, 711.
21. Haertling, G. H. Ferroelectrics 1991, 119, 21.
22. Ito, Y.; et al. Int. Ferro. 1997, 14, 123.
23. Ng, M. F.; Cima, M. J. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1994, 341, 145.
24. Baythoun, M. S. G.; Sale, F. R. J. Mater. Sci. 1982, 17, 2757.
25. Falter, L. M.; Payne, D. A.; Friedmann, T. A.; Wright, W. H.; Ginsberg, D. M. Brit. Ceram. Proc. 1989, 41, 261.
26. Chae, H. K.; Payne, D. A.; Xu, Z.; Ma, L. Chem. Mater. 1994, 6, 1589.
27. Ma, L.; Payne, D. A. Chem. Mater. 1994, 6, 875.
28. Kessler, V. G.; Hubert-Pfalzgraf, L. G.; Daniele, S.; Gleizes, A. Chem. Mater. 1994, 6, 2342.
29. Kato, K.; Dey, S. K.; submitted to Int. Ferro.
30. Ramamurthi, S. D.; Payne, D. A. J. Am. Ceram. Soc. 1990, 8, 2547.
31. Francis, L. F.; Payne, D. A.; Wilson, S. R. Chem. Mater. 1990, 2.
32. Sengupta, S. S.; Ma, L.; Adler, D. L; Payne, D. A. J. Mater. Res. 1995, 10, 1345.
33. Lakeman, C. D. E.; Xu, Z.; Payne, D. A. J. Mater. Res. 1995, 10, 2042.
34. Boyle, T. J.; Schwartz, R. W. Comments Inorg. Chem. 1994, 16, 243.
35. See for example: Better Ceramics Through Chemistry I-V, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1984-1992.
36. Budd, K. D.; Dey, S. K.; Payne, D. A. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1986, 73, 711.
37. Schwartz, R. W.; Payne, D. A.; Holland, A. J. In Ceramic Powder Processing Science; Hausner, H., Messing, G. R., Hirano, S., Eds.; Deutsche Keramische Gesellschaft, 1989; pp 165-172.
38. Hirano, S. I.; Kato, K. J. Non-Cryst. Solids 1988, 100, 538.
39. Eichorst, D. E; Payne, D. A. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1988, 121, 773.
40. Hayashi, T.; et al. Jpn. J. Appl. Phys. 1993, 32, 4092.
41. Kakihana, M. J. Sol-Gel Sci. Technol. 1996, 6, 7.
42. Lourdes Calzada, M.; Sirera, R.; Carmona, F.; Jimenez, B. J. Am. Ceram. Soc. 1995, 78, 1802.
43. Tu, Y. L.; Milne, S. J. J. Mater. Res. 1995, 10, 3222.
44. Tu, Y. L.; Calzada, M. L.; Phillips, N. J.; Milne S. J. J. Am. Ceram. Soc. 1996, 79, 441.
45. Schwartz, R. W.; Clem, P. G.; Reichert, T. L.; Dimos, D., submitted to Int. Ferro.
46. Liu, D.; Mevissen, J., submitted to Int. Ferro.
47. Schwartz, R. W.; et al. Int. Ferro. 1995, 7, 259.
48. Assink, R. A.; Schwartz, R. W. Chem. Mater. 1993, 5, 511.
49. Doeuff, S; Dromzee, Y.; Sanchez, C. C. R. Acad. Sci. Paris 1989, 308, 1409.
50. Alam, T. M.; Boyle, T. J.; Buchheit, C. D.; Schwartz, R. W.; Ziller, J. W. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1994, 346, 35.
51. Boyle, T. J.; et al. submitted to Int. Ferro.
52. Boyle, T. J.; et al. J. Mater. Res. 1997, 12, 1022.
53. Vest, G. M.; Singaram, S. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1986, 60, 35.
54. Klee, M.; et al. J. Appl. Phys. 1992, 72, 1566.
55. Ousi-Benomar, W.; et al. J. Mater. Res. 1994, 9, 970.
56. Joshi, V.; Dacruz, C. P.; Cuchiaro, J. D.; Araujo, C. A.; Zuleeg, R. Int. Ferro. 1997, 14, 133.
57. Manabe, T.; Yamaguchi, I.; Kondo, W.; Mizuta, S.; Kumagai, T. J. Mater. Res. 1997, 12, 541.
58. Gross, M E.; Hong, M.; Liou, S. H.; Gallager, P. K.; Kwo, J. Appl. Phys. Lett. 1988, 52, 160.
59. Schwartz, R. W.; DaSalla, R. S. unpublished results, 1995.
60. Pechini, M. U. S. Patent 3,330,697, 1967.
61. Budd, K. D.; Payne, D. A. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1984, 32, 239.
62. Ng, M. F., unpublished results, 1996.
63. Brinker, C. J.; et al. J. Membr. Sci. 1993, 77, 165.
64. Schwartz, R. W. Ph.D. Thesis, University of Illinois, 1989.
65. Schwartz, R. W.; Voigt, J. A.; Boyle, T. J.; Christenson, T. A.; Buchheit, C. D. Ceram. Eng. Sci. Proc. 1995, 16, 1045.
66. Sanchez, C.; Babonneau, F.; Doeuff, S.; Leaustic, A. In Ultrastructure Processing of Advanced Ceramics; MacKenzie, J. D., Ulrich, D. R., Eds.; Wiley-Interscience: New York, 1988; pp 77-87.
67. Schwartz, R. W.; Voigt, J. A.; Buchheit, C. D.; Boyle, T. J. Ceram. Trans., Ferroic Mater.: Design, Prepr. Char. 1994, 43, 145.
68. Croll, S. G. J. Coatings Technol. 1979, 51, no. 648, 64.
69. Keddie, J. L.; Giannelis, E. P. J. Am. Ceram. Soc. 1991, 74, 2669.
70. Born, M.; Wolf, E. In Principles of Optics; Pergamon Press: New York, 1975; p 87.
71. Rujkorakam, R.; Sites, J. R. J. Vac. Sci. Technol. A 1986, 4, 568.
72. Chin, A. K.; Styanarayan, A.; Zarrabi, J.H.; Vetterling, W. J. Appl. Phys. 1988, 64, 994.
73. Brinker, C. J.; Drotning, W. D.; Scherer, G. S. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1984, 32, 25.
74. Reaney, I. M.; Brooks, K.; Klissurka, R.; Pawlaczyk, C.; Setter, N. J. Am. Ceram. Soc. 1994, 77, 1209.
75. Griswold, E. M.; Weaver, L.; Sayer, M.; Calder, I. D. J. Mater. Res. 1995, 10, 3149.
76. Roy, R. J. Am. Ceram. Soc. 1969, 52, 344.
77. Brinker, C. J.; Scherer, G. W. In Ultrastructure Processing of Ceramics, Glasses, and Composites; Hench, L. L., Ulrich, D. R., Eds.; John Wiley & Sons, Inc.: New York, 1984; pp 43-59.
78. Wilkinson, A. P.; Speck, J. S.; Cheetham, A, K.; Natarajan, S.; Thomas, J. M. Chem. Mater. 1994, 6, 750.
79. Lefevre, M. J.; Speck, J. S.; Schwartz, R. W.; Dimos, D.; Lockwood, S. J. J. Mater. Res. 1996, 11, 2076.
80. Ivanov, D.; Caron, M.; Quellet, L.; Blain, S.; Hendricks, N.; Currie, J. J. Appl. Phys. 1995, 77, 2666.
81. Tahan, D. M.; Safari, A.; Klein, L. C. J. Am. Ceram. Soc. 1996, 79, 1593.
82. Schwartz, R. W.; Hays, S. C., unpublished results, 1997.
83. Voigt, J. A.; Tuttle, B. A.; Headley, T. J.; Lamppa, D. L. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1995, 361, 395.
84. Lange, F. F. Science 1996, 273, 903.
85. Seifert, A.; Lange, F. F.; Speck, J. S. J. Mater. Res. 1995, 10, 680.
86. Miller, K. T.; Lange, F. F. J. Mater. Res. 1991, 6, 2387.
87. Seifert, A.; Lange, F. F.; Speck, J. S. J. Am. Ceram. Soc. 1993, 76, 443.
88. Waser, R. M. Curr. Opinion Solid Stat. Mater. Sci. 1996, 1, 706.
89. Langjahr, P. A.; Wagner, T.; Ruhle, M.; Lange, F. F. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1996, 401, 109.
90. Lakeman, C. D. E.; Xia, Y.; Kim, J. H.; Wu, X. H.; Eckert, H. G.; Lange, F. F., submitted to J. Mater. Res.
91. Shimizu, M.; Sugiyama, M.; Fujisawa, H.; Shiosaki, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33 Pt. 1, No. 9b, 5167.
92. Kwok, C. K.; Desu, S. B. J. Mater. Res. 1993, 8, 339.
93. Neumayer, D. A.; et al., submitted to Int. Ferro.
94. Schwartz, R. W.; Clem, P. G.; Byhoff, E. R.; Van Stay, M., submitted to J. Mater. Res.
95. Golden, S. J.; Lange, F. F.; Clarke, D. R.; Chang, L. D.; Necker, C. T. Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 351.
96. Tuttle, B. A. In Thin Film Ferroelectric Materials and Devices; Ramesh, R., Ed.; Kluwer: New York.
97. Chen, C.; Ryder, Jr., D. F.; Spurgeon, W. A. J. Am. Ceram. Soc. 1989, 72, 1495.
98. Nashimoto, K.; Nakamura, S. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, Pt. 1, No. 9B, 5147.
99. Chen, S.-Y.; Chen, I.-W. J. Am. Ceram. Soc., in press.
100. Chen, S.-Y.; Chen, I.-W. J. Am. Ceram. Soc. 1994, 77, 2332.
101. Chen, S.-Y.; Chen, I.-W. J. Am. Ceram. Soc. 1994, 77, 2337.
102. Tani, T.; Xu, Z.; Payne, D. A. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1993, 310, 269.
103. Liu, Y.; Phule, P. P. J. Am. Ceram. Soc. 1996, 79, 495.
104. Tani, T.; Payne, D. A. J. Am. Ceram. Soc. 1994, 77, 1242.
105. Amin, A.; Spears, M. A.; Kulwicki, B. M. J. Am. Ceram. Soc. 1983, 66, 733.
106. Frey, M. H.; Payne, D. A. Chem. Mater. 1995, 7 (1), 123.
107. Clem, P. G.; unpublished results, 1997.
108. McIntyre, P. C.; Cima, M. J.; Ng, M. F. J. Appl. Phys. 1990, 68, 4183.
109. McIntyre, P. C.; Cima, M. J. J. Mater. Res. 1994, 9, 2219.
110. Eguchi, K.; Kiyotoshi, M. Int. Ferro. 1997, 14, 33.
111. Inorgtech Product Catalog, 1997.
112. Haertling, G. H. Int. Ferro. 1995, 9, 653.
113. Ruffner, J. A.; et al. U.S. Patent Appl., 1997.
114. Lockwood, S. J.; Schwartz, R. W., Tuttle, B. A.; Thomas, E. V. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1992, 310, 275.
115. Melnick, B. M.; Gallegos, R.; Paz de Araujo, C. A. Proc. 3rd Int. Symp. Int. Ferro. 1991, 547.
116. Asselanis, D.; Mancha, S. D. U.S. Patent 4,759,823.
117. Jeon, N. L.; Clem, P. G.; Nuzzo, R. G.; Payne, D. A. J. Mater. Res. 1995, 10, 2996.
118. Okamura, S.; Mori, K.; Tsukamoto, T.; Shiosaki, T. Int. Ferro., in press.
119. Hirano, S. I.; Yogo, T.; Kikuta, K. I.; Sakamoto, W.; Takeichi, Y. Mater. Sci. Eng. B 1996, B41, 117.
120. Lau, W. M.; Bello, I.; Sayer, M.; Zou, L. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 300.
121. Bullington, J. A., private communication.