메뉴 건너뛰기




Volumn 273, Issue 5277, 1996, Pages 903-909

Chemical solution routes to single-crystal thin films

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRACK INITIATION; DECOMPOSITION; DEPOSITION; EPITAXIAL GROWTH; FILM GROWTH; INORGANIC COMPOUNDS; MOLECULES; POLYCRYSTALLINE MATERIALS; SINGLE CRYSTALS; SOLUTIONS; SUBSTRATES; SYNTHESIS (CHEMICAL);

EID: 9444293513     PISSN: 00368075     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1126/science.273.5277.903     Document Type: Article
Times cited : (407)

References (70)
  • 2
    • 84948498033 scopus 로고    scopus 로고
    • D. P. Partlow and J. Greggi, J. Mater. Res. 2, 595, (1987); S. Hirano and K. Kato, Adv. Ceram. Mater. 3, 503 (1988); K. Nashimoto and M. J. Cima, Mater. Lett. 10, 348 (1991); V. Joshi, G. K. Goo, M. L Mecartney, Proc. Mater. Res. Soc. Symp. 271, 377 (1992); N. H. Hur, Y. K. Park, D. H. Won, K. No, J. Mater. Res. 9, 980 (1994); K. Nashimoto, M. J. Cima, P. C. McIntyre, W. E. Rhine, ibid. 10, 2564 (1995); N. L Jeon, P. G. Clem, R. G. Nuzzo, D. A. Payne ibid., p. 2996.
    • (1987) J. Mater. Res. , vol.2 , pp. 595
    • Partlow, D.P.1    Greggi, J.2
  • 3
    • 84985097343 scopus 로고
    • D. P. Partlow and J. Greggi, J. Mater. Res. 2, 595, (1987); S. Hirano and K. Kato, Adv. Ceram. Mater. 3, 503 (1988); K. Nashimoto and M. J. Cima, Mater. Lett. 10, 348 (1991); V. Joshi, G. K. Goo, M. L Mecartney, Proc. Mater. Res. Soc. Symp. 271, 377 (1992); N. H. Hur, Y. K. Park, D. H. Won, K. No, J. Mater. Res. 9, 980 (1994); K. Nashimoto, M. J. Cima, P. C. McIntyre, W. E. Rhine, ibid. 10, 2564 (1995); N. L Jeon, P. G. Clem, R. G. Nuzzo, D. A. Payne ibid., p. 2996.
    • (1988) Adv. Ceram. Mater. , vol.3 , pp. 503
    • Hirano, S.1    Kato, K.2
  • 4
    • 0025752110 scopus 로고
    • D. P. Partlow and J. Greggi, J. Mater. Res. 2, 595, (1987); S. Hirano and K. Kato, Adv. Ceram. Mater. 3, 503 (1988); K. Nashimoto and M. J. Cima, Mater. Lett. 10, 348 (1991); V. Joshi, G. K. Goo, M. L Mecartney, Proc. Mater. Res. Soc. Symp. 271, 377 (1992); N. H. Hur, Y. K. Park, D. H. Won, K. No, J. Mater. Res. 9, 980 (1994); K. Nashimoto, M. J. Cima, P. C. McIntyre, W. E. Rhine, ibid. 10, 2564 (1995); N. L Jeon, P. G. Clem, R. G. Nuzzo, D. A. Payne ibid., p. 2996.
    • (1991) Mater. Lett. , vol.10 , pp. 348
    • Nashimoto, K.1    Cima, M.J.2
  • 5
    • 84948498033 scopus 로고    scopus 로고
    • D. P. Partlow and J. Greggi, J. Mater. Res. 2, 595, (1987); S. Hirano and K. Kato, Adv. Ceram. Mater. 3, 503 (1988); K. Nashimoto and M. J. Cima, Mater. Lett. 10, 348 (1991); V. Joshi, G. K. Goo, M. L Mecartney, Proc. Mater. Res. Soc. Symp. 271, 377 (1992); N. H. Hur, Y. K. Park, D. H. Won, K. No, J. Mater. Res. 9, 980 (1994); K. Nashimoto, M. J. Cima, P. C. McIntyre, W. E. Rhine, ibid. 10, 2564 (1995); N. L Jeon, P. G. Clem, R. G. Nuzzo, D. A. Payne ibid., p. 2996.
    • (1992) Proc. Mater. Res. Soc. Symp. , vol.271 , pp. 377
    • Joshi, V.1    Goo, G.K.2    Mecartney, M.L.3
  • 6
    • 0028417348 scopus 로고
    • D. P. Partlow and J. Greggi, J. Mater. Res. 2, 595, (1987); S. Hirano and K. Kato, Adv. Ceram. Mater. 3, 503 (1988); K. Nashimoto and M. J. Cima, Mater. Lett. 10, 348 (1991); V. Joshi, G. K. Goo, M. L Mecartney, Proc. Mater. Res. Soc. Symp. 271, 377 (1992); N. H. Hur, Y. K. Park, D. H. Won, K. No, J. Mater. Res. 9, 980 (1994); K. Nashimoto, M. J. Cima, P. C. McIntyre, W. E. Rhine, ibid. 10, 2564 (1995); N. L Jeon, P. G. Clem, R. G. Nuzzo, D. A. Payne ibid., p. 2996.
    • (1994) J. Mater. Res. , vol.9 , pp. 980
    • Hur, N.H.1    Park, Y.K.2    Won, D.H.3    No, K.4
  • 7
    • 0029392235 scopus 로고
    • D. P. Partlow and J. Greggi, J. Mater. Res. 2, 595, (1987); S. Hirano and K. Kato, Adv. Ceram. Mater. 3, 503 (1988); K. Nashimoto and M. J. Cima, Mater. Lett. 10, 348 (1991); V. Joshi, G. K. Goo, M. L Mecartney, Proc. Mater. Res. Soc. Symp. 271, 377 (1992); N. H. Hur, Y. K. Park, D. H. Won, K. No, J. Mater. Res. 9, 980 (1994); K. Nashimoto, M. J. Cima, P. C. McIntyre, W. E. Rhine, ibid. 10, 2564 (1995); N. L Jeon, P. G. Clem, R. G. Nuzzo, D. A. Payne ibid., p. 2996.
    • (1995) J. Mater. Res. , vol.10 , pp. 2564
    • Nashimoto, K.1    Cima, M.J.2    McIntyre, P.C.3    Rhine, W.E.4
  • 8
    • 84948498033 scopus 로고    scopus 로고
    • D. P. Partlow and J. Greggi, J. Mater. Res. 2, 595, (1987); S. Hirano and K. Kato, Adv. Ceram. Mater. 3, 503 (1988); K. Nashimoto and M. J. Cima, Mater. Lett. 10, 348 (1991); V. Joshi, G. K. Goo, M. L Mecartney, Proc. Mater. Res. Soc. Symp. 271, 377 (1992); N. H. Hur, Y. K. Park, D. H. Won, K. No, J. Mater. Res. 9, 980 (1994); K. Nashimoto, M. J. Cima, P. C. McIntyre, W. E. Rhine, ibid. 10, 2564 (1995); N. L Jeon, P. G. Clem, R. G. Nuzzo, D. A. Payne ibid., p. 2996.
    • J. Mater. Res. , pp. 2996
    • Jeon, N.L.1    Clem, P.G.2    Nuzzo, R.G.3    Payne, D.A.4
  • 10
    • 36449004408 scopus 로고
    • C. K. Barlingay and S. K. Dey, Appl. Phys. Lett. 61, 1278 (1992); S. L. Swartz, S. D. Ramamurthi, J. R. Busch, V. E. Wood, Mater. Res. Soc. Proc. Symp. 243, 533 (1992); S. Hirano et al., J. Am. Ceram. Soc. 75, 2785 (1992); B. A. Tuttle et al., ibid, 76, 1537 (1993); D. S. Yoon, C. J. Kim, J. S. Lee, W. J. Lee, K. No, J. Mater. Res. 9, 420 (1994).
    • (1992) Appl. Phys. Lett. , vol.61 , pp. 1278
    • Barlingay, C.K.1    Dey, S.K.2
  • 11
    • 0343896689 scopus 로고
    • C. K. Barlingay and S. K. Dey, Appl. Phys. Lett. 61, 1278 (1992); S. L. Swartz, S. D. Ramamurthi, J. R. Busch, V. E. Wood, Mater. Res. Soc. Proc. Symp. 243, 533 (1992); S. Hirano et al., J. Am. Ceram. Soc. 75, 2785 (1992); B. A. Tuttle et al., ibid, 76, 1537 (1993); D. S. Yoon, C. J. Kim, J. S. Lee, W. J. Lee, K. No, J. Mater. Res. 9, 420 (1994).
    • (1992) Mater. Res. Soc. Proc. Symp. , vol.243 , pp. 533
    • Swartz, S.L.1    Ramamurthi, S.D.2    Busch, J.R.3    Wood, V.E.4
  • 12
    • 0000444289 scopus 로고
    • C. K. Barlingay and S. K. Dey, Appl. Phys. Lett. 61, 1278 (1992); S. L. Swartz, S. D. Ramamurthi, J. R. Busch, V. E. Wood, Mater. Res. Soc. Proc. Symp. 243, 533 (1992); S. Hirano et al., J. Am. Ceram. Soc. 75, 2785 (1992); B. A. Tuttle et al., ibid, 76, 1537 (1993); D. S. Yoon, C. J. Kim, J. S. Lee, W. J. Lee, K. No, J. Mater. Res. 9, 420 (1994).
    • (1992) J. Am. Ceram. Soc. , vol.75 , pp. 2785
    • Hirano, S.1
  • 13
    • 84986364597 scopus 로고
    • C. K. Barlingay and S. K. Dey, Appl. Phys. Lett. 61, 1278 (1992); S. L. Swartz, S. D. Ramamurthi, J. R. Busch, V. E. Wood, Mater. Res. Soc. Proc. Symp. 243, 533 (1992); S. Hirano et al., J. Am. Ceram. Soc. 75, 2785 (1992); B. A. Tuttle et al., ibid, 76, 1537 (1993); D. S. Yoon, C. J. Kim, J. S. Lee, W. J. Lee, K. No, J. Mater. Res. 9, 420 (1994).
    • (1993) J. Am. Ceram. Soc. , vol.76 , pp. 1537
    • Tuttle, B.A.1
  • 14
    • 0028375018 scopus 로고
    • C. K. Barlingay and S. K. Dey, Appl. Phys. Lett. 61, 1278 (1992); S. L. Swartz, S. D. Ramamurthi, J. R. Busch, V. E. Wood, Mater. Res. Soc. Proc. Symp. 243, 533 (1992); S. Hirano et al., J. Am. Ceram. Soc. 75, 2785 (1992); B. A. Tuttle et al., ibid, 76, 1537 (1993); D. S. Yoon, C. J. Kim, J. S. Lee, W. J. Lee, K. No, J. Mater. Res. 9, 420 (1994).
    • (1994) J. Mater. Res. , vol.9 , pp. 420
    • Yoon, D.S.1    Kim, C.J.2    Lee, J.S.3    Lee, W.J.4    No, K.5
  • 20
    • 0027625168 scopus 로고
    • G. Braunstein, G. R. Pax-Pujalt, M. G. Mason, J. Appl. Phys. 73, 961 (1993); S. Hirano et al., J. Am. Ceram. Soc. 76, 1788 (1993).
    • (1993) J. Am. Ceram. Soc. , vol.76 , pp. 1788
    • Hirano, S.1
  • 23
    • 0028395703 scopus 로고
    • M. C. Cain and F. F. Lange, ibid. 9, 674 (1994); K. T. Miller and F. F. Lange, ibid. 6, 2387 (1991); A. Seifert, F. F. Lange, J. S. Speck, J. Am. Ceram. Soc. 76, 443 (1993); P. K. Narwankar, J. S. Speck, F. F. Lange, J. Mater. Res. 10, 1756 (1995).
    • (1994) J. Mater. Res. , vol.9 , pp. 674
    • Cain, M.C.1    Lange, F.F.2
  • 24
    • 0026255396 scopus 로고
    • M. C. Cain and F. F. Lange, ibid. 9, 674 (1994); K. T. Miller and F. F. Lange, ibid. 6, 2387 (1991); A. Seifert, F. F. Lange, J. S. Speck, J. Am. Ceram. Soc. 76, 443 (1993); P. K. Narwankar, J. S. Speck, F. F. Lange, J. Mater. Res. 10, 1756 (1995).
    • (1991) J. Mater. Res. , vol.6 , pp. 2387
    • Miller, K.T.1    Lange, F.F.2
  • 25
    • 0027540646 scopus 로고
    • M. C. Cain and F. F. Lange, ibid. 9, 674 (1994); K. T. Miller and F. F. Lange, ibid. 6, 2387 (1991); A. Seifert, F. F. Lange, J. S. Speck, J. Am. Ceram. Soc. 76, 443 (1993); P. K. Narwankar, J. S. Speck, F. F. Lange, J. Mater. Res. 10, 1756 (1995).
    • (1993) J. Am. Ceram. Soc. , vol.76 , pp. 443
    • Seifert, A.1    Lange, F.F.2    Speck, J.S.3
  • 26
    • 0029346030 scopus 로고
    • M. C. Cain and F. F. Lange, ibid. 9, 674 (1994); K. T. Miller and F. F. Lange, ibid. 6, 2387 (1991); A. Seifert, F. F. Lange, J. S. Speck, J. Am. Ceram. Soc. 76, 443 (1993); P. K. Narwankar, J. S. Speck, F. F. Lange, J. Mater. Res. 10, 1756 (1995).
    • (1995) J. Mater. Res. , vol.10 , pp. 1756
    • Narwankar, P.K.1    Speck, J.S.2    Lange, F.F.3
  • 33
    • 0005203712 scopus 로고
    • J. B. Wachtman and R. A Haber, Eds. Noyes, Park Ridge, NJ
    • R. W. Vest, in Ceramic Films and Coatings, J. B. Wachtman and R. A Haber, Eds. (Noyes, Park Ridge, NJ, 1993), pp. 303-341.
    • (1993) Ceramic Films and Coatings , pp. 303-341
    • Vest, R.W.1
  • 37
    • 33751385410 scopus 로고
    • R. M. Laine and F. Babonneau, Chem. Mater. 5, 260 (1993); J. Bill and F. Aldinger, Adv. Mater. 7, 775 (1995); Y. Saito, S. Koyama, Y. Sugahara, K. Kuroda J. Ceram. Soc. Jpn. 104, 143 (1996).
    • (1993) Chem. Mater. , vol.5 , pp. 260
    • Laine, R.M.1    Babonneau, F.2
  • 38
    • 0029376096 scopus 로고
    • R. M. Laine and F. Babonneau, Chem. Mater. 5, 260 (1993); J. Bill and F. Aldinger, Adv. Mater. 7, 775 (1995); Y. Saito, S. Koyama, Y. Sugahara, K. Kuroda J. Ceram. Soc. Jpn. 104, 143 (1996).
    • (1995) Adv. Mater. , vol.7 , pp. 775
    • Bill, J.1    Aldinger, F.2
  • 44
    • 0024069796 scopus 로고
    • A. G. Evans, M. D. Dory, M. S. Hu, J. Mater. Res. 3, 1043 (1988); G. Gille, in Current Topics in Materials Science, E. Kaldis, Ed. (North-Holland, Amsterdam, 1985), vol. 12, chap. 7.
    • (1988) J. Mater. Res. , vol.3 , pp. 1043
    • Evans, A.G.1    Dory, M.D.2    Hu, M.S.3
  • 45
    • 0024069796 scopus 로고
    • E. Kaldis, Ed. North-Holland, Amsterdam, chap. 7
    • A. G. Evans, M. D. Dory, M. S. Hu, J. Mater. Res. 3, 1043 (1988); G. Gille, in Current Topics in Materials Science, E. Kaldis, Ed. (North-Holland, Amsterdam, 1985), vol. 12, chap. 7.
    • (1985) Current Topics in Materials Science , vol.12
    • Gille, G.1
  • 46
    • 71149121504 scopus 로고
    • J. W. Hutchinson and T. Y. Wu, Eds. Academic Press, New York
    • J. W. Hutchinson and Z. Suo, in Advances in Applied Mechanics, J. W. Hutchinson and T. Y. Wu, Eds. (Academic Press, New York, 1991), pp. 63-191.
    • (1991) Advances in Applied Mechanics , pp. 63-191
    • Hutchinson, J.W.1    Suo, Z.2
  • 51
    • 11944275568 scopus 로고
    • C. V. Thompson, Annu. Rev. Mater. Sci 20, 245 (1990); _, J. Floro, H. I. Smith, J. Appl. Phys. 67, 4099 (1990).
    • (1990) Annu. Rev. Mater. Sci , vol.20 , pp. 245
    • Thompson, C.V.1
  • 52
    • 0000783774 scopus 로고
    • C. V. Thompson, Annu. Rev. Mater. Sci 20, 245 (1990); _, J. Floro, H. I. Smith, J. Appl. Phys. 67, 4099 (1990).
    • (1990) J. Appl. Phys. , vol.67 , pp. 4099
    • Floro, J.1    Smith, H.I.2
  • 61
    • 0002065677 scopus 로고
    • G. L. Messing, E. R. Fuller, Jr., H. Hausner, Eds. American Ceramic Society, Westerville, OH
    • K. Osseo-Asare, F. J. Arriagada, J. H. Adair, Ceramic Transactions, G. L. Messing, E. R. Fuller, Jr., H. Hausner, Eds. (American Ceramic Society, Westerville, OH, 1988), pp. 47-53.
    • (1988) Ceramic Transactions , pp. 47-53
    • Osseo-Asare, K.1    Arriagada, F.J.2    Adair, J.H.3
  • 62
    • 9444283996 scopus 로고    scopus 로고
    • U.S. Patent 4 764 493 (1988)
    • E. Lilley and R. R. Wusirika, U.S. Patent 4 764 493 (1988).
    • Lilley, E.1    Wusirika, R.R.2
  • 70
    • 9444272446 scopus 로고    scopus 로고
    • note
    • This review was supported by the Air Force Office of Scientific Research under grant F49620-93-1-0358DEF. Research concerning hydrothermal epitaxy was supported by the National Science Foundation to the UCSB/Materials Research Laboratory under the award, DMR-9123048.


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.