Silicon (100)/SiO2 by XPS

Surface Science Spectra

Volumn 20, Issue 1, 2013, Pages 36-42

  Jensen, David S ^a   Kanyal, Supriya S ^a   Madaan, Nitesh ^a   Vail, Michael A ^b   Dadson, Andrew E ^b   Engelhard, Mark H ^c   Linford, Matthew R ^a  

^a Brigham Young University   (United States)

^b Diamond Analytics   (United States)

^c PACIFIC NORTHWEST NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

native oxide; silicon wafer

Indexed keywords

ELEMENTAL SILICON; FLUORINE CONTAMINATION; MICROFABRICATED; NATIVE OXIDES; SI(1 0 0); SILICON (100); SURFACE CHARACTERISTICS; THIN-LAYER CHROMATOGRAPHY PLATE;

MICROFABRICATION; OXYGEN; PHOTOELECTRONS; SILICON; SILICON OXIDES; SUBSTRATES; THIN LAYER CHROMATOGRAPHY; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

SILICON WAFERS;

EID: 84893059876     PISSN: 10555269     EISSN: 15208575     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/11.20121101     Document Type: Article

References (20)

1. D. S. Jensen, S. S. Kanyal, N. Madaan, J. M. Handcock, M. A. Vail, A. E. Dadson, V. Shutthanandan, Z. Zhu, R. Vanfleet, M. H. Engelhard, and M. R. Linford, Surf. Interface Anal. 45, 1273 (2013).
2. B. Strohmeier, Surf. Interface Anal. 15, 51-56 (1990).
3. Z. H. Lu, J. P. McCaffrey, B. Brar, G. D. Wilk, R. M. Wallace, L. C. Feldman, and S. P. Tay, Appl. Phys. Lett. 71, 2764-2766 (1997).
4. T. A. Carlson and G. E. McGuire, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 1, 161-168 (1972).
5. J. R. Shallenberger, D. A. Cole, S. W. Novak, R. L. Moore, M. J. Edgell, S. P. Smith, C. J. Hitzman, J. F. Kirchhoff, E. Principe, S. Biswas, R. J. Bleiler, W. Nieveen, and K. Jones, Ion Implantation Technology Proceedings 1999 pp. 79-82.
6. D. A. Zatsepin, P. Mack, A. E. Wright, B. Schmidt, and H. J. Fitting, Phys. Status Solidi A 208, 1658-1661 (2011).
7. P. A. W. van der Heide and F. V. Azzarello, Surf. Sci. 531, L369-L377 (2003).
8. K. Hirose, H. Nohira, K. Azuma, and T. Hattori, Prog. Surf. Sci. 82, 3-54 (2007).
9. K. Hirose, H. Nohira, T. Koike, K. Sakano, and T. Hattori, Phys. Rev. B 59, 5617-5621 (1999).
10. K. Hirose, K. Sakano, H. Nohira, and T. Hattori, Phys. Rev. B 64, 155325 (2001).
11. J. Song, D. S. Jensen, D. N. Hutchison, B. Turner, T. Wood, A. Dadson, M. A. Vail, M. R. Linford, R. R. Vanfleet, and R. C. Davis, Adv. Funct. Mater. 21, 1132-1139 (2011).
12. D. S. Jensen, S. S. Kanyal, V. Gupta, M. A. Vail, A. E. Dadson, M. H. Engelhard, R. Vanfleet, R. C. Davis, and M. R. Linford, J. Chromatogr. A 1257, 195-203 (2012).
13. D. S. Jensen, S. S. Kanyal, N. Madaan, A. J. Miles, R. C. Davis, R. Vanfleet, M. A. Vail, A. E. Dadson, and M. R. Linford, J. Vac. Sci. Technol. B 31, 031803 (2013).
14. S. S. Kanyal, D. S. Jensen, A. J. Miles, A. E. Dadson, M. A. Vail, R. Olsen, F. Scorza, J. Nichols, R. R. Vanfleet, R. C. Davis, and M. R. Linford, J. Vac. Sci. Technol. B 31, (2013).
15. N. Madaan, S. S. Kanyal, D. S. Jensen, M. A. Vail, A. E. Dadson, M. H. Engelhard, H. Samha, and M. R. Linford, Surf. Sci. Spectra 20, 006301sss (2013).
16. N. Madaan, S. S. Kanyal, D. S. Jensen, M. A. Vail, A. E. Dadson, M. H. Engelhard, and M. R. Linford, Surf. Sci. Spectra 20, 008301sss (2013).
17. N. Madaan, S. S. Kanyal, D. S. Jensen, M. A. Vail, A. E. Dadson, M. H. Engelhard, and M. R. Linford, Surf. Sci. Spectra 20, 009301sss (2013).
18. D. S. Jensen, S. S. Kanyal, N. Madaan, M. A. Vail, A. E. Dadson, M. H. Engelhard, and M. R. Linford, Surf. Sci. Spectra 20, 007301sss (2013).
19. J. A. Yaylor, Appl. Surf. Sci. 7, 168 (1981).
20. D. A. Shirley, Phys. Rev. B 5, 4709 (1972).