Rapid fabrication of large-area concave microlens arrays on PDMS by a femtosecond laser

ACS Applied Materials and Interfaces

Volumn 5, Issue 19, 2013, Pages 9382-9385

  Yong, Jiale ^a   Chen, Feng ^a   Yang, Qing ^a   Du, Guangqing ^a   Bian, Hao ^a   Zhang, Dongshi ^a   Si, Jinhai ^a   Yun, Feng ^a   Hou, Xun ^a  

^a XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY   (China)

Author keywords

concave microlens array; femtosecond laser; optical performance; single pulse ablation

Indexed keywords

FABRICATION; FEMTOSECOND LASERS; LASER PRODUCED PLASMAS; LASER PULSES; MICROCHANNELS; MICROOPTICS; OPTICAL INSTRUMENT LENSES; POLYDIMETHYLSILOXANE; SILICONES;

CONCAVE MICROLENS ARRAYS; LASER DIRECT WRITING; LASER INDUCED PLASMA; MECHANICAL PRESSURE; OPTICAL PERFORMANCE; POLYDIMETHYLSILOXANE PDMS; SINGLE PULSE; SINGLE-STEP PROCESS;

MICROLENSES;

EID: 84885464657     PISSN: 19448244     EISSN: 19448252     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/am402923t     Document Type: Article

References (34)

1. Wu, D.; Wu, S. Z.; Niu, L. G.; Chen, Q. D.; Wang, R.; Song, J. F.; Fang, H. H.; Sun, H. B. Appl. Phys. Lett. 2010, 97, 031109
2. Lee, K.; Wagermaier, W.; Masic, A.; Kommareddy, K. P.; Bennet, M.; Manjubala, I.; Lee, S. W.; Park, S. B.; Cölfen, H.; Fratzl, P. Nat. Commun. 2012, 3, 1720
3. Wei, M. K.; Su, I. L. Opt. Express 2004, 12, 5777-5782
4. Zhao, X.; Sun, Y. Y.; Bu, J.; Zhu, S. W.; Yuan, X. C. Appl. Opt. 2011, 50, 318-322
5. Mogi, T.; Hatakeyama, K.; Taguchi, T.; Wake, H.; Tanaami, T.; Hosokawa, M.; Tanaka, T.; Matsunage, T. Biosens. Bioelectron. 2011, 26, 1942-1946
6. Lin, V.; Wei, H. C.; Hsieh, H. T.; Su, G. D. J. Sensors 2011, 11, 10293-10307
7. Jiang, P.; McFarland, M. J. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 3710-3711
8. Liu, H. W.; Chen, F.; Yang, Q.; Qu, P. B.; He, S. G.; Wang, X. H.; Si, J. H.; Hou, X. Appl. Phys. Lett. 2012, 100, 133701
9. Yang, H.; Chao, C. K.; Wei, M. K.; Lin, C. P. J. Micromech. Microeng. 2004, 14, 1197-1204
10. Chronis, N.; Liu, G. L.; Jeong, K. H.; Lee, L. P. Opt. Express 2003, 11, 2370-2378
11. Ong, N. S.; Koh, Y. H.; Fu, Y. Q. Microelectron. Eng. 2002, 60, 365-379
12. Wu, M. H.; Park, C.; Whitesides, G. M. Langmuir 2002, 18, 9312-9318
13. Chen, F.; Liu, H. W.; Yang, Q.; Wang, X. H.; Hou, C.; Bian, H.; Liang, W. W.; Si, J. H.; Hou, X. Opt. Express 2010, 18, 20334-20343
14. He, M.; Yuan, X.; Bu, J.; Cheong, W. C. Opt. Lett. 2004, 29, 1007-1009
15. Yi, A. Y.; Li, L. Opt. Lett. 2005, 30, 1707-1709
16. Li, X. M.; Ding, Y. C.; Shao, J. Y.; Liu, H. Z; Tian, H. M. Opt. Lett. 2011, 36, 4083-4085
17. Li, X. M.; Ding, Y. C.; Shao, J. Y.; Tian, H. M.; Liu, H. Z. Adv. Mater. 2012, 24, OP165-OP169
18. Liu, H. W.; Chen, F.; Wang, X. H.; Yang, Q.; Zhang, D. S.; Si, J. H.; Hou, X. Opt. Commun. 2009, 282, 4119-4123
19. Guo, R.; Xiao, S. Z.; Zhai, X. M.; Li, J. W.; Xia, A. D.; Huang, W. H. Opt. Express 2006, 14, 810-816
20. Wu, D.; Chen, Q. D.; Niu, L. G.; J, J.; Xia, H.; Song, J. F.; Sun, H. B. IEEE Photonics Technol. Lett. 2009, 21, 1535-1537
21. Wu, D.; Chen, Q. D.; Niu, L. G.; Wang, J. N.; Wang, J.; Wang, R.; Xia, H.; Sun, H. B. Lab Chip 2009, 9, 2391-2394
22. Yong, J. L.; Chen, F.; Yang, Q.; Zhang, D. S.; Bian, H.; Du, G. Q.; Si, J. H.; Meng, X. W.; Hou, X. Langmuir 2013, 29, 3274-3279
23. Chen, F.; Zhang, D. S.; Yang, Q.; Wang, X. H.; Dai, B. J.; Li, X. M.; Hao, X. Q.; Ding, Y. C.; Si, J. H.; Hou, X. Langmuir 2011, 27, 359-365
24. Yong, J. L.; Yang, Q.; Chen, F.; Zhang, D. S.; Bian, H.; Ou, Y.; Si, J. H.; Du, G. Q.; Hou, X. Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2013, 111, 243-249
25. Hao, B.; Liu, H. W.; Chen, F.; Yang, Q.; Qu, P. B.; Du, G. Q.; Si, J. H.; Wang, X. H.; Hou, X. Opt. Express 2012, 20, 12939-12948
26. Huang, L. C.; Liu, T. C.; Huang, C. C.; Chao, C. Y. Soft Matter 2011, 7, 2812-2816
27. Ben-Yakar, A.; Harkin, A.; Ashmore, A.; Byer, R. L.; Stone, H. A. J. Phys. D: Appl. Phys. 2007, 40, 1447-1459
28. Linde, D. V. D.; Sokolowski-Tinten, K.; Bialkowski, J. Appl. Surf. Sci. 1997, 109, 1-10
29. Ben-Yakar, A.; Byer, R. L.; Hakin, A.; ashmore, J.; Stone, H. A.; Shen, M.; Mazur, E. Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 3030-3032
30. Borowiec, A.; Mackenzie, M.; Weatherly, G. C.; Haugen, H. K. Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2003, 76, 201-207
31. Bonse, J.; Baudach, S.; Krüger, J.; Kautek, W.; Lenzner, M. Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2002, 74, 19-25
32. Lenzner, M.; Krüger, J.; Sartania, S.; Cheng, Z.; Spielmann, Ch.; Mourou, G.; Kautek, W.; Krausz, F. Phys. Rev. Lett. 1998, 80, 4076-4079
33. Baudach, S.; Bonse, J.; Kautek, W. Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 1999, 69, S395-S398
34. Qu, P. B.; Chen, F.; Liu, H. W.; Yang, Q.; Lu, J.; Si, J. H.; Wang, Y. Q.; Hou, X. Opt. Express 2012, 20, 5775-5782