Transmission and scanning electron microscopy studies of single femtosecond-laser-pulse ablation of silicon

Applied Physics A: Materials Science and Processing

Volumn 76, Issue 2, 2003, Pages 201-207

  Borowiec, A ^a,b   Mackenzie, M ^a,c   Weatherly, G C ^a,b   Haugen, H K ^a,b  

^a MCMASTER UNIVERSITY   (Canada)

^b MCMASTER UNIVERSITY   (Canada)

^c UNIVERSITY OF GLASGOW   (United Kingdom)

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ATOMIC FORCE MICROSCOPY; ELECTRON ENERGY LOSS SPECTROSCOPY; LASER ABLATION; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

SINGLE FEMTOSECOND-LASER-PULSE ABLATION;

SILICON;

EID: 0037290782     PISSN: 09478396     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s003390201409     Document Type: Article

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