Rapid production of ultralow dielectric constant porous polyimide films via CO2-tert -amine zwitterion-induced phase separation and subsequent photopolymerization

Macromolecules

Volumn 46, Issue 6, 2013, Pages 2275-2281

  Taki, Kentaro ^a   Hosokawa, Kazunori ^a   Takagi, Shota ^a   Mabuchi, Hiroyuki ^a   Ohshima, Masahiro ^a  

^a KYOTO UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DROPLET FORMATION; ETHYL METHACRYLATES; N , N-DIMETHYLACETAMIDE; POLYIMIDE PRECURSORS; POLYIMIDE THIN FILMS; POROUS STRUCTURES; RELATIVE DIELECTRIC CONSTANT; ULTRA-LOW DIELECTRIC CONSTANT;

DIELECTRIC MATERIALS; PHASE SEPARATION; PHOTOPOLYMERIZATION; POLYIMIDES; POLYMERIC FILMS; POROSITY; QUARTZ; THIN FILMS;

CARBON DIOXIDE;

EID: 84875667265     PISSN: 00249297     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma302406m     Document Type: Article

References (47)

1. Coleman, M. R.; Koros, W. J. Macromolecules 1997, 30, 6899-6905
2. Niwa, M.; Kawakami, H.; Kanamori, T.; Shinbo, T.; Kaito, A.; Nagaoka, S. Macromolecules 2001, 34, 9039-9044
3. Hillock, A. M. W.; Koros, W. J. Macromolecules 2007, 40, 583-587
4. Kratochvil, A. M.; Damle-Mogri, S.; Koros, W. J. Macromolecules 2009, 42, 5670-5675
5. Low, B. T.; Chung, T. S.; Chen, H. M.; Jean, Y. C.; Pramoda, K. P. Macromolecules 2009, 42, 7042-7054
6. Kratochvil, A. M.; Damle-Mogri, S.; Koros, W. J. Macromolecules 2010, 43, 2642-2642
7. Garcia, C.; Lopez-Gonzalez, M.; de Abajo, J.; Garrido, L.; Guzman, J. Macromolecules 2011, 44, 3862-3873
8. Qiu, W. L.; Chen, C. C.; Xu, L. R.; Cui, L. L.; Paul, D. R.; Koros, W. J. Macromolecules 2011, 44, 6046-6056
9. Vaughn, J.; Koros, W. J. Macromolecules 2012, 45, 7036-7049
10. Kawakami, H.; Mikawa, M.; Nagaoka, S. Macromolecules 1998, 31, 6636-6638
11. Wind, J. D.; Sirard, S. M.; Paul, D. R.; Green, P. F.; Johnston, K. P.; Koros, W. J. Macromolecules 2003, 36, 6442-6448
12. Kratochvil, A. M.; Koros, W. J. Macromolecules 2008, 41, 7920-7927
13. Neyertz, S.; Brown, D.; Pandiyan, S.; van der Vegt, N. F. A. Macromolecules 2010, 43, 7813-7827
14. Pandiyan, S.; Brown, D.; Neyertz, S.; van der Vegt, N. F. A. Macromolecules 2010, 43, 2605-2621
15. Weng, C. J.; Jhuo, Y. S.; Huang, K. Y.; Feng, C. F.; Yeh, J. M.; Wei, Y.; Tsai, M. H. Macromolecules 2011, 44, 6067-6076
16. Horn, N. R.; Paul, D. R. Macromolecules 2012, 45, 2820-2834
17. Miyatake, K.; Zhou, H.; Matsuo, T.; Uchida, H.; Watanabe, M. Macromolecules 2004, 37, 4961-4966
18. Miyatake, K.; Zhou, H.; Watanabe, M. Macromolecules 2004, 37, 4956-4960
19. Lee, C. H.; Park, H. B.; Chung, Y. S.; Lee, Y. M.; Freeman, B. D. Macromolecules 2006, 39, 755-764
20. Yin, Y.; Suto, Y.; Sakabe, T.; Chen, S. W.; Hayashi, S.; Mishima, T.; Yamada, O.; Tanaka, K.; Kita, H.; Okamoto, K. Macromolecules 2006, 39, 1189-1198
21. Volksen, W.; Miller, R. D.; Dubois, G. Chem. Rev. 2009, 110, 56-110
22. Weng, M. H.; Wu, H. W.; Su, Y. K.; Yang, R. Y.; Hung, C. Y. Microw. Opt. Techn. Let. 2006, 48, 1675-1678
23. Wu, H. W.; Su, Y. K.; Yang, R. Y.; Weng, M. H.; Lin, Y. D. Microelectr. J. 2007, 38, 304-309
24. Ren, Y.; Lam, D. C. C. J. Electron. Mater. 2008, 37, 955-961
25. Zhao, X.-Y.; Liu, H.-J. Polym. Int. 2010, 59, 597-606
26. Hedrick, J. L.; Carter, K. R.; Labadie, J. W.; Miller, R. D.; Volksen, W.; Hawker, C. J.; Yoon, D. Y.; Russell, T. P.; McGrath, J. E.; Briber, R. M. Nanoporous Polyimides. In Progress in Polyimide Chemistry II; Kricheldorf, H. R., Ed.; Springer: Berlin and Heidelberg, Germany, 1999; Vol. 141, pp 1-43.
27. Krause, B.; Diekmann, K.; van der Vegt, N. F. A.; Wessling, M. Macromolecules 2002, 35, 1738-1745
28. Krause, B.; Koops, G. H.; van der Vegt, N. F. A.; Wessling, M.; Wubbenhorst, M.; van Turnhout, J. Adv. Mater. 2002, 14, 1041-1046
29. Mochizuki, A.; Fukuoka, T.; Kanada, M.; Kinjou, N.; Yamamoto, T. J. Photopolym. Sci. Technol. 2002, 15, 159-165
30. Lee, Y. J.; Huang, J. M.; Kuo, S. W.; Chang, F. C. Polymer 2005, 46, 10056-10065
31. Lee, Y. J.; Huang, J. M.; Kuo, S. W.; Lu, J. S.; Chang, F. C. Polymer 2005, 46, 173-181
32. Wahab, M. A.; Mya, K. Y.; He, C. B. J. Polym. Sci., Polym. Chem. 2008, 46, 5887-5896
33. Devaraju, S.; Vengatesan, M. R.; Selvi, M.; Kumar, A. A.; Alagar, M. High Perform. Polym. 2012, 24, 85-96
34. Lin, J. J.; Wang, X. D. Polymer 2007, 48, 318-329
35. Dang, Z. M.; Ma, L. J.; Zha, J. W.; Yao, S. H.; Xie, D.; Chen, Q.; Duan, X. J. Appl. Phys. 2009, 105, 044104
36. Zhao, G. F.; Ishizaka, T.; Kasai, H.; Hasegawa, M.; Furukawa, T.; Nakanishi, H.; Oikawa, H. Chem. Mater. 2009, 21, 419-424
37. Bittner, A.; Seidel, H.; Schmid, U. Microelectron. Eng. 2011, 88, 2977-2980
38. Im, J.; Hong, S. Y.; Cheon, Y.; Lee, J.; Lee, J. S.; Kim, H. S.; Cheong, M.; Park, H. Energ. Environ. Sci. 2011, 4, 4284-4289
39. Jin, Y. X.; Tang, J.; Hu, J.; Han, X.; Shang, Y. Z.; Liu, H. L. Colloids Surf., A 2011, 392, 178-186
40. Taki, K.; Okumura, S. Macromolecules 2010, 43, 9899-9907
41. Okaji, R.; Taki, K.; Nagamine, S.; Ohshima, M. J. Appl. Polym. Sci. 2012, 125, 2874-2881
42. Sroog, C. E.; Endrey, A. L.; Abramo, S. V.; Berr, C. E.; Edwards, W. M.; Olivier, K. L. J. Polym. Sci., Part A 1965, 3, 1373-1390
43. Sroog, C. E. J. Polym. Sci.: Macromol. Rev. 1976, 11, 161-208
44. Jackson, P.; Beste, A.; Attalla, M. Struct. Chem. 2011, 22, 537-549
45. Kayi, H.; Kaiser, R. I.; Head, J. D. Phys. Chem. Chem. Phys. 2011, 13, 11083-11098
46. Maiti, A.; Bourcier, W. L.; Aines, R. D. Chem. Phys. Lett. 2011, 509, 25-28
47. da Silva, E. F.; Svendsen, H. F. Int. J. Greenhouse Gas Control 2007, 1, 151-157