Origin of white light luminescence from Si +/C + sequentially implanted and annealed silica

Journal of Applied Physics

Volumn 111, Issue 8, 2012, Pages

  Zhou, X D ^a   Ren, F ^a   Xiao, X H ^a   Xu, J X ^a   Dai, Z G ^a   Cai, G X ^a   Jiang, C Z ^a  

^a WUHAN UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

IMPLANTED SAMPLES; MICRO-STRUCTURAL; OPTICAL ANALYSIS; PHOTOLUMINESCENCE SPECTRUM; THERMAL-ANNEALING; VISIBLE SPECTRAL RANGE; WHITE EMISSIONS; WHITE LIGHT; WHITE LIGHT EMISSION;

ANNEALING; LUMINESCENCE; SILICA; SILICON; SILICON CARBIDE;

LIGHT;

EID: 84860505056     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.3703668     Document Type: Article

References (33)

1. H. Morkoc, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. 76, 1363 (1994). 10.1063/1.358463
2. C. I. Harris, S. Savage, A. Konstantinov, M. Bakowski, and P. Ericsson, Appl. Surf. Sci. 184, 393 (2001). 10.1016/S0169-4332(01)00525-6
3. M. Ikeda, T. Hayakawa, S. Yamagiwa, H. Matsunami, and T. Tanaka, J. Appl. Phys. 50, 8215 (1979). 10.1063/1.325920
4. X. P. Chen, H. L. Zhu, J. F. Cai, and Z. Y. Wu, J. Appl. Phys. 102, 024505 (2007). 10.1063/1.2747213
5. T. Matsumoto, J. Takahashi, T. Tamaki, T. Futagi, H. Mimura, and Y. Kanemitsu, Appl. Phys. Lett. 64, 226 (1994). 10.1063/1.111979
6. A. O. Konstantinov, A. Henry, C. I. Harris, and E. Janzen, Appl. Phys. Lett. 66, 2250 (1995). 10.1063/1.113182
7. X. L. Wu, J. Y. Fan, T. Qiu, X. Yang, G. G. Siu, and P. K. Chu, Phys. Rev. Lett. 94, 026102 (2005). 10.1103/PhysRevLett.94.026102
8. L. S. Liao, X. M. Bao, Z. F. Yang, and N. B. Min, Appl. Phys. Lett. 66, 2382 (1995). 10.1063/1.113990
9. A. Prez-Rodrguez, B. Garrido, C. Bonafos, M. Lpez, O. González-Varona, J. R. Morante, J. Montserrat, and R. Rodrguez, J. Mater. Sci: Mater. Electron. 10, 385 (1999). 10.1023/A:1008953608585
10. O. Gonzalez-Varona, C. Bonafos, M. Lpez, B. Garrido, A. Prez-Rodrguez, J. R. Morante, J. Montserrat, and R. Rodriguez, Microelectron. Reliab. 40, 885 (2000). 10.1016/S0026-2714(99)00335-2
11. A. Prez-Rodrguez, O. González-Varona, B. Garrido, P. Pellegrino, J. R. Morante, C. Bonafos, M. Carrada, and A. Claverie, J. Appl. Phys. 94, 254 (2003). 10.1063/1.1578172
12. D. I. Tetelbaum, A. N. Mikhaylov, V. K. Vasiliev, A. I. Belov, A. I. Kovalev, D. L. Wainstein, Y. A. Mendeleva, T. G. Finstad, S. Foss, Y. Golan, and A. Osherov, Surf. Coat. Technol. 203, 2658 (2009). 10.1016/j.surfcoat.2009.02. 087
13. J. Zhao, D. S. Mao, Z. X. Lin, B. Y. Jiang, Y. H. Yu, X. H. Liu, H. Z. Wang, and G. Q. Yang, Appl. Phys. Lett. 73, 1838 (1998). 10.1063/1.122299
14. L. Rebohle, T. Gebel, H. Frb, H. Reuther, and W. Skorupa, Appl. Surf. Sci. 184, 156 (2001). 10.1016/S0169-4332(01)00490-1
15. Y. H. Yu, S. P. Wong, and I. H. Wilson, Phys. Status Solidi A 168, 531 (1998). 10.1002/(SICI)1521-396X(199808)168:2531::AID-PSSA5313.0.CO;2-V
16. J. Zhao, D. S. Mao, Z. X. Lin, B. Y. Jiang, Y. H. Yu, X. H. Liu, and G. Q. Yang, Mater. Lett. 38, 321 (1999). 10.1016/S0167-577X(98)00182-7
17. Y. Ishikawa, A. V. Vasin, J. Salonen, S. Muto, V. S. Lysenko, A. N. Nazarov, N. Shibata, and V.-P. Lehto, J. Appl. Phys. 104, 083522 (2008). 10.1063/1.3003079
18. R. Walker, S. Prawer, D. N. Jamieson, and K. W. Nugent, Diamond Relat. Mater. 8, 2159 (1999). 10.1016/S0925-9635(99)00182-X
19. D. S. Knight and W. B. White, J. Mater. Res. 4, 385 (1989). 10.1557/JMR.1989.0385
20. Z. C. Feng, A. J. Mascarenhas, W. J. Choyke, and J. A. Powell, J. Appl. Phys. 64, 3176 (1988). 10.1063/1.341533
21. J. C. Burton, L. Sun, M. Pophristic, S. J. Lukacs, F. H. Long, Z. C. Feng, and I. T. Ferguson, J. Appl. Phys. 84, 6268 (1998). 10.1063/1.368947
22. J. C. Burton, F. H. Long, and I. T. Ferguson, J. Appl. Phys. 86, 2073 (1999). 10.1063/1.371011
23. J. P. Ma, Z. M. Chen, G. Lu, L. M. Hang, X. F. Feng, and T. M. Lei, Chin. Phys. Lett. 18, 1123 (2001). 10.1088/0256-307X/18/8/343
24. D. Nesheva, C. Raptis, A. Perakis, I. Bineva, Z. Aneva, Z. Levi, S. Alexandrova, and H. Hofmeister, J. Appl. Phys. 92, 4678 (2002). 10.1063/1.1504176
25. J. Zi, H. Bscher, C. Falter, W. Ludwig, K. Zhang, and X. Xie, Appl. Phys. Lett. 69, 200 (1996). 10.1063/1.117371
26. W. W. Ke, X. Feng, and Y. D. Huang, J. Appl. Phys. 109, 083526 (2011). 10.1063/1.3569888
27. G. Faraci, S. Gibilisco, P. Russo, A. R. Pennisi, and C. Faraci, J. Appl. Phys. 109, 074311 (2011). 10.1063/1.3567908
28. S. Hayashi, M. Kataoka, and K. Yamamoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 32, L274 (1993). 10.1143/JJAP.32.L274
29. B. Garrido, M. Lpez, S. Ferr, A. Romano-Rodrguez, A. Prez-Rodrguez, P. Ruterana, and J. R. Morante, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 120, 101 (1996). 10.1016/S0168-583X(96)00488-0
30. L. J. Mitchell, F. Naab, O. W. Holland, J. L. Duggan, and F. D. McDaniel, J. Non-Cryst. Solids. 352, 2562 (2006). 10.1016/j.jnoncrysol.2006.03.075
31. X. D. Zhou, F. Ren, X. H. Xiao, G. X. Cai, and C. Z. Jiang, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 267, 3437 (2009). 10.1016/j.nimb.2009.07.001
32. T. Shimizu-Iwayama, K. Fujita, S. Nakao, K. Saitoh, T. Fujita, and N. Itoh, J. Appl. Phys. 75, 7779 (1994). 10.1063/1.357031
33. B. Garrido, M. Lpez, C. Garca, A. Prez-Rodrguez, J. R. Morante, C. Bonafos, M. Carrada, and A. Claverie, J. Appl. Phys. 91, 798 (2002). 10.1063/1.1423768