Enhanced capacitance of composite anodic ZrO2 films comprising high permittivity oxide nanocrystals and highly resistive amorphous oxide matrix

ACS Applied Materials and Interfaces

Volumn 3, Issue 7, 2011, Pages 2665-2670

  Habazaki, Hiroki ^a   Koyama, Shun ^a   Aoki, Yoshitaka ^a   Sakaguchi, Norihito ^a   Nagata, Shinji ^b  

^a HOKKAIDO UNIVERSITY   (Japan)

^b TOHOKU UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

anodic oxide; capacitor; dielectric film; nanocomposite oxide; ZrO2

Indexed keywords

AMORPHOUS OXIDES; ANODIC OXIDE FILM; ANODIC OXIDES; CAPACITANCE ENHANCEMENT; COMPOSITE ANODIC OXIDE FILMS; FORMATION VOLTAGE; HIGH PERMITTIVITY OXIDES; HIGH TEMPERATURE; NANOCRYSTALLINES; NOVEL MATERIALS; RELATIVE PERMITTIVITY; SINGLE-PHASE MATERIALS; ZIRCONIUM METAL; ZRO2;

AMORPHOUS FILMS; ANODIC OXIDATION; CAPACITANCE; CAPACITORS; DIELECTRIC FILMS; NANOCOMPOSITE FILMS; NANOCOMPOSITES; PERMITTIVITY; ZIRCONIUM; ZIRCONIUM ALLOYS;

OXIDE FILMS;

EID: 80053622117     PISSN: 19448244     EISSN: 19448252     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/am200460c     Document Type: Article

References (41)

1. Takada, D.; Ishijima, M.; Murayama, Y. NEC Tech. J. 2006, 1, 63-67
2. Lopez-Lopez, G.; Lopez-Lopez, J.; Garcia-Yagues, M. R. Dyna 2009, 84, 219-224
3. Robertson, J. Eur. Phys. J.: Appl. Phys. 2004, 28, 265-291
4. Watanabe, K.; Sakairi, M.; Takahashi, H.; Takahiro, K.; Nagata, S.; Hirai, S. Electrochemistry 2001, 69, 407-413
5. Izumi, T. Denkai Chikudenki Hyoron 2010, 61, 94-98
6. Harrop, P. J.; Campbell, D. S. Thin Solid Films 1968, 2, 273-292
7. Habazaki, H.; Skeldon, P.; Shimizu, K.; Thompson, G. E.; Wood, G. C. J. Phys. D: Appl. Phys. 1995, 28, 2612-2618
8. Habazaki, H.; Skeldon, P.; Shimizu, K.; Thompson, G. E.; Wood, G. C. Corros. Sci. 1995, 37, 1497-1509
9. Habazaki, H.; Skeldon, P.; Thompson, G. E.; Wood, G. C.; Shimizu, K. Philos. Mag. B 1995, 71, 81-90
10. Habazaki, H.; Shimizu, K.; Skeldon, P.; Thompson, G. E.; Wood, G. C. Thin Solid Films 1997, 300, 131-137
11. Habazaki, H.; Shimizu, K.; Skeldon, P.; Thompson, G. E.; Wood, G. C. Proc. R. Soc. London, Ser. A 1997, 453, 1593-1609
12. Habazaki, H.; Shimizu, K.; Skeldon, P.; Thompson, G. E.; Wood, G. C.; Zhou, X. Trans. Inst. Met. Finish. 1997, 75, 18-23
13. Habazaki, H.; Skeldon, P.; Thompson, G. E.; Wood, G. C.; Shimizu, K. J. Mater. Res. 1997, 12, 1885-1891
14. Habazaki, H.; Matsuo, T.; Konno, H.; Shimizu, K.; Nagata, S.; Matsumoto, K.; Takayama, K.; Oda, Y.; Skeldon, P.; Thompson, G. E. Electrochim. Acta 2003, 48, 3519-3526
15. Habazaki, H.; Ogasawara, T.; Konno, H.; Shimizu, K.; Asami, K.; Saito, K.; Nagata, S.; Skeldon, P.; Thompson, G. E. Electrochim. Acta 2005, 50, 5334-5339
16. Habazaki, H.; Ogasawara, T.; Konno, H.; Shimizu, K.; Nagata, S.; Asami, K.; Takayama, K.; Skeldon, P.; Thompson, G. E. J. Electrochem. Soc. 2006, 153, B173-B177
17. Santamaria, M.; Di Quarto, F.; Skeldon, P.; Thompson, G. E. J. Electrochem. Soc. 2006, 153, B518-B526
18. Fogazza, M.; Santamaria, M.; Di Quarto, F.; Garcia-Vergara, S. J.; Molchan, I.; Skeldon, P.; Thompson, G. E.; Habazaki, H. Electrochim. Acta 2009, 54, 1070-1075
19. Habazaki, H.; Takahiro, K.; Yamaguchi, S.; Shimizu, K.; Skeldon, P.; Thompson, G. E.; Wood, G. C. Philos. Mag. A 1998, 78, 171-187
20. Habazaki, H.; Uozumi, M.; Konno, H.; Nagata, S.; Shimizu, K. Surf. Coat. Technol. 2003, 169, 151-154
21. Habazaki, H.; Uozumi, M.; Konno, H.; Shimizu, K.; Nagata, S.; Asami, K.; Matsumoto, K.; Takayama, K.; Oda, Y.; Skeldon, P.; Thompson, G. E. Electrochim. Acta 2003, 48, 3257-3266
22. Habazaki, H.; Uozumi, M.; Konno, H.; Shimizu, K.; Skeldon, P.; Thompson, G. E. Corros. Sci. 2003, 45, 2063-2073
23. Habazaki, H.; Shimizu, K.; Nagata, S.; Asami, K.; Takayama, K.; Oda, Y.; Skeldon, P.; Thompson, G. E. Thin Solid Films 2005, 479, 144-151
24. Habazaki, H.; Uozumi, M.; Konno, H.; Shimizu, K.; Nagata, S.; Takayama, K.; Oda, Y.; Skeldon, P.; Thompson, G. E. J. Electrochem. Soc. 2005, 152, B263-B270
25. Santamaria, M.; Di Quarto, F.; Habazaki, H. Corros. Sci. 2008, 50, 2012-2020
26. Luby, S. Thin Solid Films 1976, 32, 61-64
27. Sasaki, K.; Umezawa, T. Kitami Inst. Technol. Repository 1979, 10, 203-211
28. Labunov, V.; Sokol, V.; Vorobiova, A.; Bondarenko, V. Electrochim. Acta 1985, 30, 1079-1084
29. Koyama, S.; Aoki, Y.; Nagata, S.; Kimura, H.; Habazaki, H. Electrochim. Acta 2010, 55, 3144-3151
30. Koyama, S.; Aoki, Y.; Sakaguchi, N.; Nagata, S.; Habazaki, H. J. Electrochem. Soc. 2010, 157, C444-C451
31. Pringle, J. P. S. Electrochim. Acta 1980, 25, 1423-1437
32. Chen, Y.; Sellar, J. R. Solid State Ionics 1996, 86-8, 207-211
33. Lanagan, M. T.; Yamamoto, J. K.; Bhalla, A.; Sankar, S. G. Mater. Lett. 1989, 7, 437-440
34. Zhao, X. Y.; Vanderbilt, D. Phys. Rev. B 2002, 65, 075105
35. del Monte, F.; Larsen, W.; Mackenzie, J. D. J. Am. Ceram. Soc. 2000, 83, 1506-1512
36. del Monte, F.; Larsen, W.; Mackenzie, J. D. J. Am. Ceram. Soc. 2000, 83, 628-634
37. Murase, Y.; Kato, E.; Daimon, K. J. Am. Ceram. Soc. 1986, 69, 83-87
38. Ishida, K.; Hirota, K.; Yamaguchi, O.; Kume, H.; Inamura, S.; Miyamoto, H. J. Am. Ceram. Soc. 1994, 77, 1391-1395
39. Jerebtsov, D. A.; Mikhailov, G. G.; Sverdina, S. V. Ceram. Int. 2000, 26, 821-823
40. Dörner, P.; Gauckler, L. J.; Krieg, H.; Lukas, H. L.; Petzow, G.; Weiss, J. CALPHAD: Comput. Coupling Phase Diagrams Thermochem. 1979, 3, 241-257
41. Koyama, S.; Aoki, Y; Nagata, S.; Habazaki, H. J. Solid State Electrochem. 2011, in press.