Dual-tone patterned mesoporous silicate films templated from chemically amplified block copolymers

Advanced Functional Materials

Volumn 19, Issue 17, 2009, Pages 2728-2734

  Nagarajan, Sivakumar ^a,b   Russell, Thomas P ^a   Watkins, James J ^a  

^a UNIVERSITY OF MASSACHUSETTS   (United States)

^b INTEL CORPORATION   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AREA SELECTIVE; BLOCK COPOLYMER TEMPLATES; CHEMICAL TRANSFORMATIONS; DEPROTECTION; INFRARED SPECTROSCOPIC STUDIES; LENGTH SCALE; MESOPOROUS SILICATES; NEGATIVE TONES; PATTERN FORMATION; PHOTOACID GENERATORS; POLY(ACRYLIC ACID ); RAPID DIFFUSION; SCANNING FORCE MICROSCOPY; SILICA CONDENSATION; SILICA PRECURSORS; SILICATE FILM; SILICATE PRECURSORS; TEMPLATED; TERT-BUTYL ACRYLATE; TWO STAGE;

ACRYLICS; BLOCK COPOLYMERS; CALCINATION; CARBOXYLIC ACIDS; CONDENSATION; COPOLYMERIZATION; CROSSLINKING; EFFLUENT TREATMENT; MORPHOLOGY; ORGANIC ACIDS; ORGANIC POLYMERS; SCANNING TUNNELING MICROSCOPY; SILICA; SPECTROSCOPIC ANALYSIS; STYRENE; SUPERCRITICAL FLUIDS;

SILICATES;

EID: 69949185877     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.200900127     Document Type: Article

References (47)

1. R. Hoofman, G. Verheijden, J. Michelon, F. lacopi, Y. Travaly, M. R. Baklanov, Z. Tokei, G. P. Beyer, Microelectron. Eng. 2005, 80, 337.
2. R. Schmuhl, W. Nijdam, J. Sekulic, S. R. Chowdhury, C.J. M. van Rijn, A. van den Berg, J. E. ten Elshof, D. H. A. Blank, Anal. Chem. 2005, 77, 178.
3. P. D.Yang, G. Wirnsberger, H. C. Huang, S. R. Cordero, M. D. McGehee, B. Scott, T. Deng, G. M. Whitesides, B. F. Chmelka, S. K. Buratto, G. D. Stucky, Science 2000, 287, 465.
4. J. A. Paik, S. K. Fan, C. J. Kim, M. C. Wu, B. Dunn, J. Mater. Res. 2002, 17, 2121.
5. G. Wirnsberger, B. J. Scott, G. D. Stucky, Chem. Commun. 2001, 119.
6. R. Yokokawa, J. A. Paik, B. Dunn, N. Kitazawa, H. Kotera, C. J. Kim, J. Micromech. Microeng. 2004, 14, 681.
7. H. Yang, N. Coombs, C. A. Ozin, Adv. Mater. 1997, 9, 811.
8. M. Trau, N. Yao, E. Kim, Y. Xia, G. M. Whitesides, I. A. Aksay, Nature 1997, 390, 674.
9. P. D. Yang, A. H. Rizvi, B. Messer, B. F. Chmelka, G. M. Whitesides, G. D. Stucky, Adv. Mater. 2001, 13, 427.
10. H. Y. Fan, Y. F. Lu, A. Stump, S. T. Reed, T. Baer, R. Schunk, V. Perez- Luna, G. P. Lopez, C. J. Brinker, Nature 2000, 405, 56.
11. H. Y. Fan, S. Reed, T. Baer, R. Schunk, C. P. Lopez, C.J. Brinker, Microporous Mesoporous Mater. 2001, 44, 625.
12. M. Mougenot, M. Lejeune, J. F. Baumard, C. Boissiere, F. Ribot, D. Grosso, C. Sanchez, R. Noguera, J. Am. Ceram. Soc. 2006, 89, 1876.
13. M. Su, X. C. Liu, S. Y. Li, V. P. Dravid, C. A. Mirkin, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 1560.
14. C. W. Wu, T. Aoki, M. Kuwabara, Nanotechnology 2004, 15, 1886.
15. F. Cerrina, J. Phys. D: Appl. Phys. 2000, 33, R103.
16. L. Malfatti, T. Kidchob, S. Costacurta, P. Falcara, P. Schiavuta, H. Ame- nitsch, P. Innocenzi, Chem. Mater. 2006, 18, 4553.
17. H.Sugimura, A. Hozumi,T. Kameyama, O.Takai, Adv. Mater. 2001, 13, 667.
18. A. Hozumi, T. Kizuki, M. Inagaki, N. Shirahata, J. Vac. Sci. Technol. A 2006, 24, 1494.
19. A. Hozumi, S. Kojima, S. Nagano, T. Seki, N. Shirahata, T. Kameyama, Langmuir 2007, 23, 3265.
20. Y. F. Lu, Y. Yang, A. Sellinger, M. C. Lu, J. M. Huang, H. Y. Fan, R. Haddad, G. Lopez, A. R. Burns, D. Y. Sasaki, J. Shelnutt, C. J. Brinker, Nature 2001, 410, 913.
21. D. A. Doshi, N. K. Huesing, M. C. Lu, H. Y. Fan, Y. F. Lu, K. Simmons-Potter, B. C. Potter, A. J. Hurd, C. J. Brinker, Science 2000, 290, 107.
22. C. T. Kresge, M. E. Leonowicz, W. J. Roth, J. C. Vartuli, J. S. Beck, Nature 1992, 359, 710.
23. R. A. Pai, R. Humayun, M. T. Schulberg, A. Sengupta, J. N. Sun, J. J. Watkins, Science 2004, 303, 507.
24. R. A. Pai, J. J. Watkins, Adv. Mater. 2006, 18, 241.
25. V. R. Tirumala, R. A. Pai, S. Agarwal, G. Bhatnagar, A. Romang, C. Chandler, B. P. Gorman, R. L Jones, E. K. Lin, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2007, 19, 5868.
26. R. R. Gupta, K. A. Lavery, T. J. Francis, J. R. P. Webster, G. S. Smith, T. P. Russell, J. J. Watkins, Macromolecules 2003, 36, 346.
27. R. R. Gupta, V. S. Ramachandra Rao, J. J. Watkins, Macromolecules 2003, 36, 1295.
28. B. D. Vogt, G. D. Brown, V. S. Ramachandra Rao, J. J. Watkins, Macro- molecues 1999, 32, 7907.
29. B. D. Vogt, V. S. Ramachandra Rao, R. Gupta, K. A. Lavery, T. J. Francis, T. P. Russell, J. J. Watkins, Macromolecules 2003, 36, 4029.
30. S. Tanaka, M. P. Tate, N. Nishiyama, K. Ueyama, H. W. Hillhouse, Chem. Mater. 2006, 18, 5461.
31. S. Nagarajan, M. Q. Li, R. A. Pai, J. K. Bosworth, P. Busch, D. M. Smilgies, C. K. Ober, T. P. Russell, J. J. Watkins, Adv. Mater. 2008, 20, 246.
32. S. Nagarajan, J. K. Bosworth, C. K. Ober, T. P. Russell, J. J. Watkins, Chem. Mater. 2008, 20, 604.
33. C. G. Willson, H. Ito, Technical Papers of SPE Regional Technical Conference on Photopolymers 1982, p. 331.
34. C. G. Willson, J. M. J. Frechet, H. Ito, Digest of Technical Papers of 1982 Symposium on VLSI Technology 1982, p. 86.
35. H. Ito, IBM J. Res. Dev. 1997, 41, 69.
36. H. Ito, M. Ueda, Macromolecules 1988, 21, 1475.
37. H. Ito, Microlithography-Molecular Imprinting, Vol.172, Springer, Netherlands 2005, p. 37.
38. W. D. Hinsberg, F. A. Houle, M. I. Sanchez, G. M. Wallraff, IBM J. Res. Dev. 2001, 45, 667.
39. S. H. Kim, M. J. Misner, T. P. Russell, Adv. Mater. 2004, 16, 2119.
40. G. Kim, M. Libera, Macromolecules 1998, 31, 2569.
41. G. Kim, M. Libera, Macromolecules 1998, 31, 2670.
42. S. H. Kim, M. J. Misner, T. Xu, M. Kimura, T. P. Russell, Adv. Mater. 2004, 16, 226.
43. D. R. McKean, U. Schaedeli, S.A. Macdonald, J. Polym. Sci, Part A: Polym. Chem. 1989, 27, 3927.
44. F. A. Houle, W. D. Hinsberg, M. Morrison, M. I. Sanchez, C. Wallraff, C.Larson, J. Hoffnagle, J. Vac. Sci. Technol. B 2000, 18, 1874.
45. E. K. Lin, C. L. Soles, D. L Goldfarb, B. C. Trinque, S. D. Burns, R. L. Jones, J. L Lenhart, M. Angelopoulos, C. G. Willson, S. K. Satija, W. L. Wu, Science 2002, 297, 372.
46. G. Wallraff, J. Hutchinson, W. Hinsberg, F. Houle, P. Seidel, R. Johnson, W. Oldham, J. Vac. Sci. Technol. B 1994, 12, 3857.
47. S. Nagarajan, Ph.D. Dissertation, Polymer Science and Engineering, University of Massachusetts, sAmherst 2008, p. 76.