Chemical sputtering

Topics in Applied Physics

Volumn 110, Issue , 2007, Pages 329-400

  Jacob, Wolfgang ^a   Roth, Joachim ^a  

^a MAX PLANCK INSTITUT FÜR PLASMAPHYSIK   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 62749124107     PISSN: 03034216     EISSN: 14370859     Source Type: Book Series    
DOI: 10.1007/978-3-540-44502-9_6     Document Type: Article

References (298)

1. V. Kohlschütter: Jahrb. Radioakt. 9, 355 (1912) 329
2. A. Güntherschulze: Z. Phys. 36, 563 (1926) 329, 330, 334, 340, 349
3. W. Hauffe: in R. Behrisch, K. Wittmaack (Eds.): Sputtering by Particle Bombardment III, Top. Appl. Phys. 64 (Springer, Berlin, Heidelberg 1991) russ. translation: (MIR, Moscow 1998) 330
4. J. W. Coburn, H. F. Winters: J. Vac. Sci. Technol. 16, 391 (1979) 330
5. H. F. Winters, J. W. Coburn: Appl. Phys. Lett. 34, 70 (1979) 330
6. J. Winter: J. Nucl. Mater. 161, 265 (1989) 330, 354
7. J. Roth, J. Bohdansky, W. Poschenrieder, M. K. Sinha: J. Nucl. Mater. 63, 222 (1976) 330, 349, 350
8. S. K. Erents, C. M. Braganza, G. M. McCracken: J. Nucl. Mater. 63, 399 (1976) 330, 344, 349, 350, 360
9. N. P. Busharov, E. A. Gorbatov, V. M. Gusev, M. I. Guseva, Y. V. Martynenko: J. Nucl. Mater. 63, 230 (1976) 330, 344, 349, 350
10. M. Balooch, D. R. Olander: J. Chem. Phys. 63, 4772 (1975) 330, 342, 369
11. L. Zielinski, G. C. Schwartz: in, Electrochem. Soc. Abstracts 75 (1975) p. 117 330, 332
12. M. Armacost, P. D. Hoh, R. Wise, W. Yan, J. J. Brown, J. H. Keller, G. A. Kaplita, S. D. Halle, K. P.Muller, M. D. Naeem, S. Srinivasan, H. Y. Ng, M. Gutsche, A. Gutmann, B. Spuler: IBM J. Res. Dev. 43, 39 (1999) 330, 331, 332
13. J. P. Chang, J. W. Coburn: J. Vac. Sci. Technol. 21, 145 (2003) 330, 332
14. T. A. Burtseva, O. K. Chugunov, E. F. Dovguchits, V. L. Komarov, I. V. Mazul, A. A. Mitrofansky, M. I. Persin, Y. G. Prokofiev, V. A. Sokolov, E. I. Trofimchuk, L. P. Zav'jalsky: J. Nucl. Mater. 191-194, 309 (1992) 330
15. C. García-Rosales, W. Eckstein, J. Roth: J. Nucl. Mater. 218, 8 (1994) 330
16. E. Vietzke, A. A. Haasz: in W. O. Hofer, J. Roth (Eds.): Physical Processes of the Interaction of Fusion Plasmas with Solids (Academic, New York 1996) p. 135 330, 342, 349, 350
17. C. García-Rosales, M. Balden: J. Nucl. Mater. 290-291, 173 (2001) 330, 365
18. E. de Juan Pardo, M. Balden, B. Cieciwa, C. García-Rosales, J. Roth: Phys. Scripta T111, 62 (2005) 330, 353, 358, 365
19. M. Balden, C. Adelhelm, E. de Juan Pardo, J. Roth: J. Nucl. Mater. 363-365, 1173 (2007) 330, 336, 358, 365
20. P. Sigmund, A. Gras-Marti: Nucl. Instrum. Meth. 168, 389 (1980) 331
21. A. Gras-Marti, P. Sigmund: in P. Varga, G. Betz, E. P. Viehböck (Eds.): Proc. Symp. on Sputtering (SOS) (Techn. Univ. Wien, Vienna 1980) p. 512 331
22. U. Littmark, W. O. Hofer: Nucl. Instrum. Meth. 168, 329 (1980) 331
23. K. Schmid, J. Roth, W. Eckstein: J. Nucl. Mater. 290-293, 148 (2001) 331
24. K. Schmid, J. Roth: J. Nucl. Mater. 302, 96 (2002) 331
25. O. Almén, G. Bruce: Nucl. Instrum. Meth. 11, 279 (1961) 331, 333
26. R. A. Zuhr, J. Roth, W. Eckstein, von Toussaint, U., J. Luthin: J. Nucl. Mater. 290-293, 162 (2001) 331
27. K. Schmid, J. Roth: Surf. Coat. Technol. 158, 81 (2002) 331
28. K. Schmid, J. Roth: J. Nucl. Mater. 313-316, 302 (2003) 331
29. C. Linsmeier, J. Roth, K. Schmid: Atomic and Plasma-Material Interaction Data for Fusion 12, 79 (2003) 331
30. K. Schmid, M. Baldwin, R. Doerner: J. Nucl. Mater. 337-339, 862 (2005) 331
31. M. J. Baldwin, R. P. Doerner, D. Nishijima, K. Schmid, D. G. Whyte, J. G. Kulpin, G. Wright: J. Nucl. Mater. 358, 96 (2006) 331
32. W. D. Sproul, D. J. Christie, D. C. Carter: Thin Solid Films 491, 1 (2005) 331
33. D. M. Manos, D. L. Flamm (Eds.): Plasma Etching: An Introduction (Academic, San Diego 1989) 331, 332
34. O. Auciello, D. E. Ibbotson, D. L. Flamm: Nucl. Instrum. Meth. B 23, 419 (1987) 332
35. H. F. Winters, J. W. Coburn: Surf. Sci. Rep. 14, 161 (1992) 332, 333, 341
36. J. Roth: in R. Behrisch (Ed.): Sputtering by Particle Bombardment II, Top. Appl. Phys. 52 (Springer, Berlin, Heidelberg 1981) p. 91, russ. translation: (MIR, Moscow 1986) 332, 348
37. J. W. Davis, A. A. Haasz: Appl. Phys. Lett. 57, 1976 (1990) 332, 361
38. W. Jacob: Thin Solid Films 326, 1 (1998) 332, 339, 354, 377
39. J. W. Coburn, H. F. Winters: J. Appl. Phys. 50, 3189 (1979) 332
40. E. P. Vaulin, N. E. Georgieva, T. P. Martynenko, L. V. Feoktistov: Sov. J. Plasma Phys. 7, 23 (1981) 333
41. R. P. Doerner, S. I. Krasheninnikov, K. Schmid: J. Appl. Phys. 95, 4471 (2004) 333
42. K. Schmid, M. Baldwin, R. Doerner: J. Nucl. Mater. 348, 294 (2006) 333
43. J. Roth: J. Nucl. Mater. 103, 291 (1982) 334
44. J. Roth, J. Bohdansky, K. L. Wilson: J. Nucl. Mater. 111-112, 775 (1982) 334, 350, 351, 355, 369, 383
45. V. Philipps, K. Flaskamp, E. Vietzke: J. Nucl. Mater. 111-112, 781 (1982) 334
46. J. Roth, W. Möller: Nucl. Instrum. Meth. B 7-8, 788 (1985) 334
47. [47] E. Vietzke: J. Nucl. Mater. 290-293, 158 (2001) 334, 340, 341, 379
48. E. Salonen, K. Nordlund, J. Keinonen, C. Wu: Europhys. Lett. 52, 504 (2000) 334, 377, 378, 379
49. E. Salonen, K. Nordlund, J. Keinonen, C.Wu: Phys. Rev. B 63, 195415 (2001) 334, 373, 377, 378, 379, 380, 382
50. E. Salonen, K. Nordlund, J. Keinonen, C. Wu: J. Nucl. Mater. 290-293, 144 (2001) 334, 377, 379
51. K. Nordlund, E. Salonen, J. Keinonen, C. Wu: Nucl. Instrum. Meth. B 180, 77 (2001) 334, 377, 378
52. A. Krasheninnikov, E. Salonen, K. Nordlund, J. Keinonen, C. Wu: Contrib. Plasma Phys. 42, 451 (2002) 334, 377, 378, 379
53. A. Krasheninnikov, K. Nordlund, E. Salonen, J. Keinonen, C. Wu: Computational Mater. Sci. 25, 427 (2002) 334, 377, 378, 379
54. K. Nordlund: Nucl. Instrum. Meth. B 218, 9 (2004) 334, 377, 378
55. J. Roth, J. Bohdansky, A. P. Martinelli: Radiat. Eff. Def. Sol. 48, 213 (1980) 335
56. E. Hechtl, J. Bohdansky, J. Roth: J. Nucl. Mater. 103, 333 (1981) 335, 384
57. G. Sauerbrey: Zeitschrift für Physik 155, 206 (1959) 335
58. M. C. Chuang, J. W. Coburn: J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1969 (1990) 335
59. G. Hayderer, M. Schmid, P. Varga, H. Winter, F. Aumayr: Rev. Sci. Instrum. 70, 3696 (1999) 335
60. J. Bohdansky, J. Roth, M. K. Sinha, W. Ottenberger: J. Nucl. Mater. 63, 115 (1976) 335
61. H. L. Bay, J. Roth, J. Bohdansky: J. Appl. Phys. 48, 4722 (1977) 335
62. R. Behrisch, J. Roth, J. Bohdansky, A. Martinelli, B. Schweer, D. Rusbüldt, E. Hintz: J. Nucl. Mater. 93-94, 645 (1980) 335
63. A. A. Haasz, P. C. Stangeby, O. Auciello: J. Nucl. Mater. 111-112, 757 (1982) 335, 342, 360
64. O. Auciello, A. A. Haasz, P. C. Stangeby: Phys. Rev. Lett. 50, 783 (1983) 335, 342, 360
65. P. C. Stangeby, O. Auciello, A. A. Haasz: J. Vac. Sci. Technol. A 1, 1425 (1983) 335, 342
66. J. Roth, C. Hopf: J. Nucl. Mater. 334, 97 (2004) 335, 340, 359
67. A. Nerken, L. C. Beavis, K. Bhagwan Das, R. Grande, D. H. Holekeboer, J. E. McRea, D. Patterson, E. Stroebelt, P. Varadi: J. Vac. Sci. Technol. 9, 1260 (1972) 336
68. J. A. Basford, M. D. Boeckmann, R. E. Ellefson: J. Vac. Sci. Technol. A 11, 22 (1993) 336
69. D. J. Dagel, C. M. Mallouris, J. R. Doyle: J. Appl. Phys. 79, 8735 (1996) 336
70. R. Dobrozemsky: J. Vac. Sci. Technol. 9, 220 (1972) 336
71. T. Schwarz-Selinger, R. Preuss, V. Dose, W. Linden: J. Mass Spectrom. 36, 866 (2001) 336
72. H. D. Kang, R. Preuss, T. Schwarz-Selinger, V. Dose: J. Mass Spectrom. 37, 748 (2002) 336
73. von Toussaint, U., V. Dose, A. Golan: J. Vac. Sci. Technol. A 56, 401 (2004) 336
74. T. Zecho, B. D. Brandner, J. Biener, J. Küppers: J. Phys. Chem. B 105, 6194 (2001) 336, 342, 347, 348
75. T. Zecho, B. D. Brandner, J. Biener, J. Küppers: J. Phys. Chem. B 106, 610 (2002) 336, 342, 347
76. V. Philipps, E. Vietzke, M. Erdweg, A. Flaskamp: J. Nucl. Mater. 145-147, 292 (1987) 336, 342, 350, 354
77. E. Vietzke, K. Flaskamp, V. Philipps: J. Nucl. Mater. 111-112, 763 (1982) 336, 338, 340, 342, 345, 346, 359, 360, 361, 363, 374
78. E. Vietzke, V. Philipps, K. Flaskamp, C. Wild: in P. Koidl, P. Oelhafen (Eds.): Amorphous hydrogenated carbon films (Les Éditions de Physique, Les Ulis 1987) 336, 342, 347, 354, 370, 374
79. E. Vietzke, V. Philipps, K. Flaskamp: J. Nucl. Mater. 162-164, 898 (1989) 336, 345, 350, 360, 361, 374
80. J. Roth: J. Nucl. Mater. 266-269, 51 (1999) 336, 346, 355, 356, 359, 364, 372, 373
81. M. Balden, J. Roth: J. Nucl. Mater. 280, 39 (2000) 336, 350, 353, 356, 359, 363, 373, 375, 376, 380, 381, 382
82. T. Schwarz-Selinger: to be published 337
83. W. Walcher: Z. Physik 122, 62 (1944) 337
84. J. Benedikt, S. Agarwal, D. J. Eijkman, W. Vandamme, M. Creatore, M. C. M. van de Sanden: J. Vac. Sci. Technol. A 23, 1400 (2005) 338
85. E. Vietzke, K. Flaskamp, V. Philipps: J. Nucl. Mater. 128-129, 545 (1984) 338, 342, 345, 346, 350, 354, 359, 360, 361, 363, 369
86. R. M. A. Azzam, N. M. Bashara: Ellipsometry and Polarized Light (Elsevier, Amsterdam 1977) 339
87. R. W. Collins: Materials Science Forum 52/53, 341 (1989) 339
88. A. von Keudell, W. Jacob, W. Fukarek: Appl. Phys. Lett. 66, 1322 (1995) 339
89. A. von Keudell, W. Jacob: J. Appl. Phys. 79, 1092 (1996) 339, 376
90. A. von Keudell, W. Jacob: J. Appl. Phys. 81, 1531 (1997) 339
91. A. Kallenbach, A. Thoma, A. Bard, K. H. Behringer, K. Schmidtmann, M. Weinlich, ASDEX Upgrade Team: Nucl. Fusion 38, 1097 (1998) 339, 373
92. A. Kallenbach, A. Bard, A. Carlson, R. Dux, the ASDEX Upgrade Team: Phys. Scripta T81, 43 (1999) 339
93. M. F. Stamp, S. K. Erents, W. Fundamenski, G. F. Matthews, R. D. Monk: Phys. Scripta T91, 13 (2001) 339, 340, 355, 356
94. M. F. Stamp, S. K. Erents, W. Fundamenski, G. F. Matthews, R. D. Monk: J. Nucl. Mater. 290-293, 321 (2001) 339
95. D. G. Whyte, W. P. West, C. P. C. Wong, R. Bastasz, J. N. Brooks, W. R. Wampler, N. H. Brooks, J. W. Davis, R. P. Doerner, A. A. Haasz, R. C. Isler, G. L. Jackson, R. G. Macaulay-Newcombe, M. R. Wade: Nucl. Fusion 41, 1243 (2001) 339, 340
96. S. Brezinsek, P. T. Greenland, P. Mertens, A. Pospieszczyk, D. Reiter, U. Samm, B. Schweer, G. Sergienko: J. Nucl. Mater. 313-316, 967 (2003) 339
97. S. Brezinsek, P. Mertens, A. Pospieszczyk, G. Sergienko, U. Samm: Phys. Scr. T103, 51 (2003) 339
98. S. Brezinsek, A. Huber, S. Jachmich, A. Pospieszczyk, B. Schweer, G. Sergienko: Fusion Sci. Technol. 47, 209 (2005) 339
99. S. Brezinsek, A. Pospieszczyk, M. F. Stamp, A. Meigs, A. Kirschner, A. Huber, P. Mertens: J. Nucl. Mater. 337-339, 1058 (2005) 339
100. S. Brezinsek, G. Sergienko, A. Pospieszczyk, P. Mertens, U. Samm, P. T. Greenland: Plasma Phys. Contr. Fusion 47, 615 (2005) 339
101. M. F. Stamp, P. Andrew, S. Brezinsek, A. Huber: J. Nucl. Mater. 337-339, 1038 (2005) 339
102. R. Pugno, K. Krieger, A. Kirschner, A. Kallenbach, D. Coster, R. Dux, U. Fantz, J. Likonen, H. W. Müller, J. Neuhauser, V. Rohde, E. Vainonen-Ahlgren, ASDEX Upgrade Team: J. Nucl. Mater. 337-339, 985 (2005) 339, 355, 356
103. U. Fantz, S. Meir, ASDEX Upgrade Team: J. Nucl. Mater. 337-339, 1087 (2005) 339
104. D. Whyte, G. Tynan, R. Doerner, J. Brooks: Nucl. Fusion 41, 47 (2001) 339, 340, 355, 356, 373
105. H. Grote, W. Bohmeyer, P. Kornejew, H. D. Reiner, G. Fussmann, R. Schlögl, G.Weinberg, C. H. Wu: J. Nucl. Mater. 266-269, 1059 (1999) 339, 355, 356
106. U. Fantz, H. Paulin: Phys. Scr. T91, 25 (2001) 339, 373
107. U. Fantz: Contrib. Plasma Phys. 44, 508 (2004) 339
108. U. Fantz: Nuclear Fusion Research - Understanding Plasma-Surface Interaction, Springer Ser. Chem. Phys. (Springer, Berlin, Heidelberg 2005) p. 99 339
109. P. Starke, U. Fantz, M. Balden: J. Nucl. Mater. 337-339, 1005 (2005) 339
110. K. Behringer, H. P. Summers, B. Denne, M. Forrest, M. Stamp: Plasma Phys. Contr. Fusion 31, 2059 (1989) 339
111. A. Pospieszczyk, Y. Ra, Y. Hirooka, R. W. Conn, D. M. Goebel, B. LaBombard, R. E. Nygren: Spectroscopic Studies of Carbon Containing Molecules and their Break-up in Pisces-A, Technical report, UCLA Report PPG-1251 (1989) 339
112. S. Brezinsek, A. Pospieszczyk, A. Kirschner, G. Sergienko, A. Huber, V. Philipps, P. Mertens, U. Samm, M. F. Stamp, A. Meigs, P. T. Greenland, JET-EFDA contributors: Phys. Scr. T111, 42 (2004) 340
113. V. Philipps, M. Stamp, A. Pospieszczyk, A. Huber, A. Kirschner, E. Vietzke: J. Nucl. Mater. 313-316, 354 (2003) 340
114. J. Perrin, Y. Takeda, N. Hirano, Y. Takeuchi, A. Matsuda: Surf. Sci. 210, 114 (1989) 340
115. A. Matsuda, K. Nomoto, Y. Takeuchi, A. Suzuki, Y. Yuuki, J. Perrin: Surf. Sci. 227, 50 (1990) 340
116. D. A. Doughty, J. R. Doyle, G. H. Lin, A. Gallagher: J. Appl. Phys. 67, 6220 (1990) 340
117. A. Nuruddin, J. R. Doyle, J. R. Abelson: J. Appl. Phys. 76, 3123 (1994) 340
118. C. Hopf, K. Letourneur,W. Jacob, T. Schwarz-Selinger, A. von Keudell: Appl. Phys. Lett. 74, 3800 (1999) 340
119. C. Hopf, T. Schwarz-Selinger, W. Jacob, A. von Keudell: J. Appl. Phys. 87, 2719 (2000) 340
120. W. Jacob, C. Hopf, A. von Keudell, T. Schwarz-Selinger: in C. H. W. and (Ed.): Hydrogen Recycling at Plasma Facing Materials (Kluwer, Dordrecht 2000) p. 331 340
121. E. Vietzke, K. Flaskamp, M. Hennes, V. Philipps: Nucl. Instrum. Meth. B 2, 617 (1984) 340
122. [122] A. A. Haasz, J. W. Davis: Nucl. Instrum. Meth. B 83, 117 (1993) 341
123. J. W. Davis, A. A. Haasz, C. H. Wu: J. Nucl. Mater. 196-198, 581 (1992) 341
124. S. Chiu, A. A. Haasz, P. Franzen: J. Nucl. Mater. 218, 319 (1995) 341, 369, 382, 383
125. A. Haasz, S. Chiu, P. Franzen: J. Nucl. Mater. 220-222, 815 (1995) 341, 354, 369, 382, 383
126. S. Chiu, A. A. Haasz: J. Nucl. Mater. 196-198, 972 (1992) 341, 354, 369
127. S. Chiu, A. A. Haasz: J. Nucl. Mater. 208, 282 (1994) 341, 354, 369
128. S. Chiu, A. A. Haasz: J. Nucl. Mater. 210, 34 (1994) 341
129. A. A. Haasz, A. Y. K. Chen, J. W. Davis, E. Vietzke: J. Nucl. Mater. 248, 19 (1997) 341
130. A. Y. K. Chen, J. W. Davis, A. A. Haasz: J. Nucl. Mater. 266-269, 399 (1999) 341
131. A. Y. K. Chen, J. W. Davis, A. A. Haasz: J. Nucl. Mater. 290-293, 61 (2002) 341
132. A. Y. K. Chen, J. W. Davis, A. A. Haasz: J. Nucl. Mater. 312, 16 (2003) 341
133. A. Y. K. Chen, A. A. Haasz, J. W. Davis: J. Appl. Phys. 94, 1617 (2003) 341
134. R. G. Macaulay-Newcombe, A. A. Haasz, C. H. Wu, J. W. Davis: J. Nucl. Mater. 327, 114 (2004) 341
135. A. von Keudell, T. Schwarz-Selinger, W. Jacob: J. Appl. Phys. 89, 2979 (2001) 341
136. A. von Keudell: Thin Solid Films 402, 1 (2002) 341
137. A. von Keudell, W. Jacob: Prog. Surf. Sci. 76, 21 (2004) 341
138. M. Meier, A. von Keudell: J. Appl. Phys. 90, 3585 (2001) 341
139. M. Meier, A. von Keudell: J. Chem. Phys. 116, 5125 (2002) 341
140. C. Hopf, A. von Keudell, W. Jacob: J. Appl. Phys. 93, 3352 (2003) 341 [141] C. Hopf, A. von Keudell, W. Jacob: J. Appl. Phys. 94, 2373 (2003) 341, 361, 363, 374, 375, 376, 377, 380, 383
141. C. Hopf, W. Jacob, A. von Keudell: J. Appl. Phys. 97, 094904-1 (2005) 341, 361, 375
142. W. Jacob, C. Hopf, A. von Keudell, M. Meier, T. Schwarz-Selinger: Rev. Sci. Instrum. 74, 5123 (2003) 341
143. T. Schwarz-Selinger, A. von Keudell, W. Jacob: J. Vac. Sci. Technol. A 18, 995 (2000) 342
144. T. Schwarz-Selinger, V. Dose, W. Jacob, A. von Keudell: J. Vac. Sci. Technol. A 19, 101 (2001) 342?
145. C. S. Pitcher, O. Auciello, A. A. Haasz, P. C. Stangeby: J. Nucl. Mater. 128-129, 597 (1984) 342
146. A. A. Haasz, O. Auciello, P. C. Stangeby: J. Vac. Sci. Technol. A 4, 1179 (1986) 342
147. E. Vietzke, K. Flaskamp, V. Philipps, G. Esser, P. Wienhold, J. Winter: J. Nucl. Mater. 145-147, 443 (1987) 342, 347, 350, 354, 370, 374
148. A. Schenk, J. Biener, B. Winter, C. Lutterloh, U. Schubert, J. Küppers: Appl. Phys. Lett. 61, 2414 (1992) 342
149. J. Biener, U. Schubert, A. Schenk, B. Winter, C. Lutterloh, J. Küppers: Advan. Mater. 5, 639 (1993) 342
150. J. Biener, U. Schubert, A. Schenk, B. Winter, C. Lutterloh, J. Küppers: J. Chem. Phys. 99, 3125 (1993) 342, 344
151. J. Biener, A. Schenk, B. Winter, J. Küppers: J. Electr. Spectr. Rel. Phen. 64/65, 331 (1993) 342
152. J. Biener, A. Schenk, B. Winter, U. Schubert, C. Lutterloh, J. Küppers: Phys. Rev. B 49, 17307 (1994) 342
153. J. Biener, A. Schenk, B. Winter, C. Lutterloh, U. Schubert, J. Küppers: Surf. Sci. 307-309, 228 (1994) 342
154. A. Horn, A. Schenk, J. Biener, B. Winter, C. Lutterloh, M. Wittmann, J. Küppers: Chem. Phys. Lett. 231, 193 (1994) 342, 343, 344, 345, 346, 369, 373, 380
155. A. Schenk, B. Winter, J. Biener, C. Lutterloh, U. Schubert, J. Küppers: J. Appl. Phys. 77, 2462 (1995) 342, 344
156. J. Küppers: Surf. Sci. Rep. 22, 249 (1995) 342, 343, 345, 346, 369, 371, 373
157. M. Wittmann, J. Küppers: J. Nucl. Mater. 227, 186 (1996) 342, 371
158. J. Roth, C. García-Rosales: Nucl. Fusion 36, 1647 (1996) see also corrigendum by J. Roth, C. García-Rosales: Nucl. Fusion 37, 897 (1997). 344, 350, 353, 355, 369, 370, 372, 373, 380
159. V. Philipps, K. Flaskamp, E. Vietzke: J. Nucl. Mater. 122-123, 1440 (1984) 345, 346, 350, 354, 364
160. J. W. Davis, A. A. Haasz, P. C. Stangeby: J. Nucl. Mater. 155-157, 234 (1988) 346, 347, 356, 357, 361, 362, 363
161. E. Vietzke, V. Philipps, K. Flaskamp, P. Koidl, C. Wild: Surf. Coat. Technol. 47, 156 (1991) 347, 354, 370
162. O. Auciello, A. A. Haasz, P. C. Stangeby: Radiat. Eff. 89, 63 (1985) 348
163. J. Roth, E. Vietzke, A. A. Haasz: in Atomic and Plasma-Material Interaction Data for Fusion, Suppl. Nucl. Fusion 1 (1991) p. 63 349, 350
164. C. M. Braganza, S. K. Erents, G. M. McCracken: J. Nucl. Mater. 75, 209 (1978) 349, 350
165. R. Yamada, K. Nakamura, K. Sone, M. Saidoh: J. Nucl. Mater. 95, 278 (1980) 350, 351, 352, 354, 370
166. E. Vietzke, V. Philipps: Nucl. Instrum. Meth. B 23, 449 (1987) 350, 354
167. J. W. Davis, A. A. Haasz: J. Nucl. Mater. 149, 349 (1987) 350, 354, 370, 374
168. A. A. Haasz, J. W. Davis: J. Nucl. Mater. 175, 84 (1990) 350, 354, 356, 357, 358
169. J. W. Davis, A. A. Haasz, P. C. Stangeby: J. Nucl. Mater. 145-147, 417 (1987) 350, 351, 352, 355
170. R. Yamada, K. Sone: J. Nucl. Mater. 116, 200 (1983) 350
171. R. Yamada: J. Nucl. Mater. 145-147, 359 (1987) 350, 356, 357, 358
172. J. Roth, J. Bohdansky: Nucl. Instrum. Meth. B 23, 549 (1987) 350, 367, 368
173. A. A. Haasz, B. V. Mech, J. D. Davis: J. Nucl. Mater. 231, 170 (1996) 350
174. B. V. Mech, A. A. Haasz, J. W. Davis: J. Nucl. Mater. 241-243, 1147 (1997) 350, 351, 356, 358
175. B. V. Mech, A. A. Haasz, J. W. Davis: J. Nucl. Mater. 255, 153 (1998) 350, 351, 356, 358, 359, 370, 373
176. L. I. Vergara, F. W. Meyer, H. F. Krause: J. Nucl. Mater. 347, 118 (2005) 350, 366, 380, 383
177. F. W. Meyer, H. F. Krause, L. I. Vergara: J. Nucl. Mater. 337-339, 922 (2005) 350, 366, 380, 383
178. F. W. Meyer, L. I. Vergara, H. F. Krause: Phys. Scr. T124, 44 (2006) 350, 366, 379, 380, 383
179. L. I. Vergara, F. W. Meyer, H. F. Krause, P. Träskelin, K. Nordlund, E. Salonen: J. Nucl. Mater. 357, 9 (2006) 350, 366, 378, 379, 380, 383
180. M. Küstner, W. Eckstein, V. Dose, J. Roth: Nucl. Instrum. Meth. B 145, 320 (1998) 353
181. M. Balden, de Juan Pardo, E., I. Quintana, B. Cieciwa, J. Roth: J. Nucl. Mater. 337-339, 980 (2005) 353, 358, 365
182. E. Vietzke, V. Philipps: Fusion Technol. 15, 108 (1989) 354, 356
183. B. M. U. Scherzer, R. Behrisch, W. Eckstein, U. Littmark, J. Roth, M. K. Sinha: J. Nucl. Mater. 63, 100 (1976) 354
184. G. Staudenmaier, J. Roth, R. Behrisch, J. Bohdansky, W. Eckstein, P. Staib, S. Matteson, S. K. Erents: J. Nucl. Mater. 84, 149 (1979) 354
185. J. Roth, B. M. U. Scherzer, R. S. Blewer, D. K. Brice, S. T. Picraux, W. R. Wampler: J. Nucl. Mater. 93-94, 601 (1980) 354
186. W. R. Wampler, D. K. Brice, C. W. Magee: J. Nucl. Mater. 102, 304 (1981) 354
187. B. M. U. Scherzer, R. A. Langley, W. Möller, J. Roth, R. Schulz: Nucl. Instrum. Meth. 194, 497 (1982) 354
188. M. Braun, B. Emmoth: J. Nucl. Mater. 128-129, 657 (1984) 354
189. W. Möller, B. M. U. Scherzer: Appl. Phys. Lett. 50, 1870 (1987) 354, 375
190. B. M. U. Scherzer,M.Wielunski, W. Möller, A. Turos, J. Roth: Nucl. Instrum. Meth. B 33, 714 (1988) 354
191. W. Möller, B. M. U. Scherzer: J. Appl. Phys. 64, 4860 (1988) 354
192. W. Möller: J. Nucl. Mater. 162-164, 138 (1989) 354
193. B. L. Doyle, P. S. Peercy: Appl. Phys. Lett. 34, 811 (1979) 354
194. J. Roth, J. Bohdansky: Appl. Phys. Lett. 51, 964 (1987) 354, 369
195. J. Roth, R. A. Zuhr, S. P. Withrow, W. P. Eatherly: J. Appl. Phys. 63, 2603 (1988) 354
196. K. Niwase, M. Sugimoto, T. Tanabe, F. E. Fujita: J. Nucl. Mater. 155-157, 303 (1988) 354
197. R. Siegele, J. Roth, B. M. U. Scherzer, S. J. Pennycook: J. Appl. Phys. 73, 2225 (1993) 354
198. T. Schwarz-Selinger, A. von Keudell, W. Jacob: J. Appl. Phys. 86, 3988 (1999) 354
199. J. Winter, H. G. Esser, P. Wienhold, V. Philipps, E. Vietzke, K. H. Besocke, W. Möller, B. Emmoth: Nucl. Instrum. Meth. B 23, 538 (1987) 354
200. B. Lersmacher, H. Lydtin, W. F. Knippenberg, A. W. Moore: Carbon 5, 205 (1967) 355
201. J. Roth: in R. K. Janev, H. W. Drawin (Eds.): Atomic and Plasma-Material Interaction Processes in Controlled Thermonuclear Fusion (Elsevier, Amsterdam 1993) p. 381 355
202. C. S. Pitcher, G. M. McCracken, D. H. J. Goodall, A. A. Haasz, G. F. Matthews, P. C. Stangeby: Nucl. Fusion 26, 1641 (1986) 355
203. P. Kornejew, W. Bohmeyer, H. D. Reiner: Phys. Scr. T81, 40 (1990) 355, 356
204. R. Ruggiéri, E. Gauthier, J. Hogan, J. M. Layet, T. Loarer: J. Nucl. Mater. 266-269, 660 (1999) 355, 356
205. A. Cambe, E. Gauthier, J. Hogan, J. M. Layet: J. Nucl. Mater. 313-316, 364 (2003) 355, 356
206. A. Pospiesczyk, V. Philipps, A. Huber, A. Kirschner, B. Schweer, E. Vietzke: Phys. Scr. T81, 48 (1999) 355, 356
207. A. Kallenbach, A. Bard, D. Coster, R. Dux, C. Fuchs, J. Gafert, A. Herrmann, R. Schneider, ASDEX Upgrade Team: J. Nucl. Mater. 266-269, 343 (1999) 355
208. T. Nakano, H. Kubo, S. Higashijima, N. Asakura, H. Takenaga, T. Sugie, K. Itami: Nucl. Fusion 42, 689 (2002) 355, 356
209. J. Roth, R. Preuss, W. Bohmeyer, S. Brezinsek, A. Cambe, E. Casarotto, R. Doerner, E. Gauthier, G. Federici, S. Higashijima, J. Hogan, A. Kallenbach, A. Kirschner, H. Kubo, J. Layet, T. Nakano, V. Philipps, A. Pospieszczyk, R. Pugno, R. Ruggieri, B. Schweer, G. Sergienko, M. Stamp: Nucl. Fusion 44, L21 (2004) 355, 356
210. V. Dose: Rep. Prog. Phys. 66, 1421 (2003) 356
211. V. Dose, R. Preuss, J. Roth: J. Nucl. Mater. 288, 153 (2001) 356
212. R. Yamada: J. Vac. Sci. Technol. A 5, 305 (1987) 356, 357
213. R. Yamada: J. Nucl. Mater. 174, 118 (1990) 358
214. A. A. Haasz, O. Auciello, P. C. Stangeby, I. S. Youle: J. Nucl. Mater. 128-129, 593 (1984) 361, 363
215. A. A. Haasz, J. W. Davis, O. Auciello, P. Stangeby, E. Vietzke, K. Flaskamp, V. Philipps: J. Nucl. Mater. 145-147, 412 (1987) 361, 363
216. C. Hopf, A. von Keudell, W. Jacob: Nucl. Fusion 42, L27 (2002) 361, 375, 377
217. W. Jacob, C. Hopf, M. Meier, T. Schwarz-Selinger: in Nuclear Fusion Research - Understanding Plasma-Surface Interaction, 1st ed., Springer Ser. Chem. Phys. (Springer, Berlin, Heidelberg 2005) p. 249 361, 375
218. W. Jacob, C. Hopf, M. Schlüter: Phys. Scr. T124, 32 (2006) 361, 363, 375
219. W. Eckstein: Computer Simulation of Ion Solid Interactions, Springer Ser. Mater. Sci. (Springer, Berlin, Heidelberg 1991) russ. translation: (MIR, Moscow 1995) 362, 363, 375
220. J. Roth, J. Bohdansky, J. B. Roberto: J. Nucl. Mater. 128-129, 534 (1984) 364
221. J. Roth, C. García-Rosales, R. Behrisch, W. Eckstein: J. Nucl. Mater. 191, 45 (1992) 364
222. R. Schwörer, H. Plank, J. Roth: J. Nucl. Mater. 241-243, 1156 (1997) 364
223. V. K. Alimov, R. Schwörer, B. M. U. Scherzer, J. Roth: J. Nucl.Mater. 187, 191 (1992) 364
224. R. Schwörer, J. Roth: J. Appl. Phys. 77, 3812 (1995) 364
225. C. García-Rosales, J. Roth: J. Nucl. Mater. 196-198, 573 (1992) 364, 365
226. C. García-Rosales, J. Roth, R. Behrisch: J. Nucl. Mater. 212-215, 1211 (1994) 365
227. M. Balden, C. García-Rosales, R. Behrisch, J. Roth, P. Paz, J. Etxeberria: J. Nucl. Mater. 290-293, 52 (2001) 365
228. Y. Yao, Z. Hargitai, M. Albert, R. G. Albridge, A. V. Barnes, J. M. Gilligan, B. P. Ferguson, G. Lüpke, V. D. Gordon, N. H. Tolk, J. C. Tully, G. Betz, W. Husinsky: Phys. Rev. Lett. 81, 550 (1998) 366
229. R. K. Gould: J. Chem. Phys. 63, 1825 (1975) 369
230. M. Balden, J. Roth, E. D. Pardo, A. Wiltner: J. Nucl. Mater. 313-316, 348 (2003) 369, 383
231. T. Zecho, A. Güttler, X. Sha, B. Jackson, J. Küppers: J. Chem. Phys. 117, 8486 (2002) 369
232. B. V. Mech, A. A. Haasz, J. W. Davis: J. Appl. Phys. 84, 1655 (1998) 370
233. J. Bohdansky, J. Roth, H. Bay: J. Appl. Phys. 51, 2861 (1980) 371
234. J. Roth: Phys. Scr. T124, 37 (2005) 373
235. C. Hopf, W. Jacob: J. Nucl. Mater. 342, 141 (2005) 374, 375, 376
236. E. Ghio, L. Mattera, C. Salvo, F. Tommasini, U. Valbusa: J. Chem. Phys. 73, 556 (1980) 375
237. J. Pillath, J. Winter, F. Waelbroek: in P. Koidl, P. Oelhafen (Eds.): Amorphous hydrogenated carbon films (Les Éditions de Physique, Les Ulis 1987) p. 449 376
238. E. Salonen, K. Nordlund, J. Tarus, T. Ahlgren, J. Keinonen, C. Wu: Phys. Rev. B 60, R14 005-1-4 (1999) 377
239. E. Salonen, K. Nordlund, J. Keinonen, N. Runeberg, C. Wu: J. Appl. Phys. 92, 2216 (2002) 377
240. E. Salonen, K. Nordlund, J. Keinonen, C. Wu: Contrib. Plasma Phys. 42, 458 (2002) 377, 379
241. E. Salonen, K. Nordlund, J. Keinonen, C. Wu: J. Nucl. Mater. 313-316, 404 (2003) 377
242. P. Träskelin, K. Nordlund, J. Keinonen: Nucl. Instrum. Meth. B 228, 319 (2005) 377
243. K. Nordlund: Phys. Scr. T124, 53 (2006) 377
244. S. J. Stuart, P. S. Krstić, T. A. Embry, C. O. Reinhold: Nucl. Instrum. Meth. B 255, 202 (2007) 378, 380, 382
245. P. S. Krstić, C. O. Reinhold, S. J. Stuart: Europhys. Lett. 77, 33002 (2007) 378
246. P. S. Krstić, S. J. Stuart, C. O. Reinhold: AIP Proc. 876, 201 (2006) 378, 379, 380, 382
247. C. O. Reinhold, P. S. Krstić, S. J. Stuart: Nucl. Instrum. Meth. B 258, 274 (2007) 378
248. R. G. Macaulay-Newcombe, A. A. Haasz, J. W. Davis: J. Nucl. Mater. 337-339, 857 (2005) 380
249. A. A. Haasz, J. W. Davis: Fus. Sci. Technol. 50, 58 (2006) 382
250. P. Franzen: Report IPP 9/92 (MPG, Garching 1993) 382, 383
251. K. Maruyama, W. Jacob, J. Roth: J. Nucl. Mater. 264, 56 (1999) 384
252. W. M. Wang, J. Roth, W. Eckstein, R. Schwörer, H. Plank, M. Du: Nucl. Instrum. Meth. B 129, 210 (1997) 384
253. M. Balden, K. U. Klages, W. Jacob, J. Roth: J. Nucl. Mater. 341, 31 (2005) 384
254. C. Li, T. C. Brown: Carbon 39, 725 (2001) 384
255. J. O. Müller, D. S. Su, R. E. Jentoft, J. Kröhnert, F. C. Jentoft, R. Schlögl: Catalysis Today 102-103, 259 (2005) 384
256. H. Marsh, K. Kuo: in H. Marsh (Ed.): Introduction to Carbon Science (Butterworths, London 1989) p. 107 384
257. B. R. Stanmore, J. F. Brilhac, P. Gilot: Carbon 39, 2247 (2001) 384
258. J. W. Davis, C. G. Hamilton, A. A. Haasz: J. Nucl. Mater. 288, 148 (2001) 384
259. D. E. Rosner, H. D. Allendorf: Kinetics of the Attack of Refractory Materials by Dissociated Gases (Plenum, New York 1970) see also references therein 384
260. E. Vietzke, T. Tanabe, V. Philipps, M. Erdweg, K. Flaskamp: J. Nucl. Mater. 145-147, 425 (1987) 384
261. A. Refke, V. Philipps, E. Vietzke: J. Nucl. Mater. 250, 13 (1997) 384
262. E. Vietzke, A. A. Haasz: in W. O. Hofer, J. Roth (Eds.): Physical Processes of the Interaction of Fusion Plasmas with Solids (Academic, New York 1996) p. 135 384
263. E. Hechtl, J. Bohdansky: J. Nucl. Mater. 141-143, 139 (1986) 384
264. E. Hechtl, J. Bohdansky: J. Nucl. Mater. 154, 201 (1988) 384
265. C. Hopf, M. Schlüter, W. Jacob: J. Appl. Phys. (2007) to be published 384, 385
266. C. Hopf, M. Schlüter, W. Jacob: Appl. Phys. Lett. 90, 224106 (2007) 385
267. B. Landkammer, von Keudell, A., W. Jacob: J. Nucl. Mater. 264, 48 (1999) 385
268. G. Adamopoulos, C. Godet, B. Drévillon, Y. Sato, D. N. Batchelder, A. Grosman, C. Ortega: Diamond Relat. Mater. 12, 983 (2003) 385
269. A. M. Baranov, V. V. Sleptsov, A. A. Nefedov, A. E. Varfolomeev, L. Calliari: Diamond Relat. Mater. 13, 1356 (2004) 385
270. K. K. Hirakuri, K. Kuwashima, K. Tatsuta, K. Sato: Diamond Relat. Mater. 14, 1067 (2005) 385
271. W. L. Hsu: J. Vac. Sci. Technol A 7, 1047 (1989) 385
272. D. Mueller, W. Blanchard, J. Collins, J. Hosea, J. Kamperschroer, P. H. LaMarche, A. Nagy, D. K. Owens, C. H. Skinner: J. Nucl. Mater. 241-243, 897 (1997) 385
273. W. Jacob, B. Landkammer, C. Wu: J. Nucl. Mater. 266-269, 552 (1999) 385
274. J. S. Hu, J. G. Li, X. M. Wang, the HT-7 team: Plasma Phys. Control. Fusion 47, 1271 (2005) 385
275. J. S. Hu, J. G. Li, X. M. Wang: J. Nucl. Mater. 350, 9 (2006) 385
276. C. Hopf, V. Rohde, W. Jacob, A. Herrmann, R. Neu, J. Roth, the ASDEX Upgrade Team: J. Nucl. Mater. 363-365, 882 (2007) 385
277. S. Fujimura, K. Shinagawa, M. T. Suzuki, M. Nakamura: J. Vac. Sci. Technol. B 9, 357 (1991) 386
278. T. E. F. M. Standaert, P. J. Matsuo, X. Li, G. S. Oehrlein, T. M. Lu, R. Gutmann, C. T. Rosenmayer, J. W. Bartz, J. G. Langan, W. R. Entley: J. Vac. Sci. Technol. A 19, 435 (2001) 386
279. W. Jacob, C. Hopf, M. Schlüter: Appl. Phys. Lett. 86, 204103 (2005) 386, 387
280. S. Grigull, W. Jacob, D. Henke, C. Spaeth, L. Sümmchen, W. Sigle: J. Appl. Phys. 83, 5185 (1998) 386
281. S. Grigull, R. Behrisch, S. Parascandola: J. Nucl. Mater. 275, 158 (1999) 386
282. P. Hammer, W. Gissler: Diamond Relat. Mater. 5, 1152 (1996) 386
283. M. Schlüter, C. Hopf, T. Schwarz-Selinger, W. Jacob: J. Appl. Phys. (2007) to be published 386, 387
284. K. J. Clay, S. P. Speakman, G. A. J. Amaratunga, S. R. P. Silva: J. Appl. Phys. 79, 7227 (1996) 387
285. C. Spaeth, U. Kreissig, F. Richter: Thin Solid Films 355-356, 64 (1999) 387
286. S. E. Rodil, N. A. Morrison, J. Robertson, W. I. Milne: Phys. Stat. Solidi (A) 174, 25 (1999) 387
287. J. Hong, G. Turban: Diamond Relat. Mater. 8, 572 (1999) 387
288. J. Hong, A. Granier, A. Goullet, G. Turban: Diamond Relat. Mater. 9, 573 (2000) 387
289. N. Hellgren, M. P. Johansson, B. Hjörvarsson, E. Broitman, M. Östblom, B. Liedberg, L. Hultman, J. E. Sundgren: J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2349 (2000) 387
290. N. Hellgren, M. P. Johansson, E. Broitman, P. Sandström, L. Hultman, J. E. Sundgren: Thin Solid Films 382, 146 (2001) 387
291. N. A. Morrison, S. E. Rodil, J. Robertson, W. I. Milne: J. Appl. Phys. 89, 5754 (2001) 387
292. T. Schwarz-Selinger, C. Hopf, C. Sun, W. Jacob: J. Nucl. Mater. 363-365, 174 (2007) 387, 388
293. J. W. Butterbaugh, D. C. Gray, H. H. Sawin: J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1461 (1991) 389
294. G. S. Oehrlein, D. Zhang, D. Vender, M. Haverlag: J. Vac. Sci. Technol. A 12, 323 (1994) 389
295. G. S. Oehrlein, D. Zhang, D. Vender, O. Joubert: J. Vac. Sci. Technol. A 12, 333 (1994) 389
296. T. E. F. M. Standaert, M. Schaepkens, P. G. M. Sebel, N. R. Rueger, G. S. Oehrlein: J. Vac. Sci. Technol. A 16, 239 (1998) 389
297. T. Standaert, C. Hedlund, E. A. Joseph, G. S. Oehrlein, T. J. Dalton: J. Vac. Sci. Technol. A 22, 53 (2004) 389
298. D. Humbird, D. B. Graves, X. F. Hua, G. S. Oehrlein: Appl. Phys. Lett. 84, 1073 (2004) 389