ALD-grown ZnO thin-film transistor with a polymeric dielectric

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 54, Issue 2, 2009, Pages 678-681

  Choi, Woon Seop ^a  

^a Hoseo University   (South Korea)

Author keywords

ALD; Polymeric dielectric; Thin film transistor; Zinc oxide

Indexed keywords

EID: 62149147530     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.54.678     Document Type: Article

References (14)

1. J. Hue and G. Gordon, J. Appl. Phys. 71, 880 (1992).
2. P. F Garcia, R. S. McLean, M. H. Reilly and G. Nenus, Jr., Appl. Phys. Lett. 82, 1117 (2003).
3. R. L. Hoffman, B. J. Norris and J. F. Wagner, Appl. Phys. Lett. 82, 733 (2003).
4. E. M. C. Fortunate, P. M. C. Barquinha, A. C. Pimental, A. M. F. Gonsalves, A. S. Marques, L. M .N. Pereria and R. F. P. Martins, Adv. Mater. 17, 590 (2005).
5. S. Masuda, K. Kitamura, Y. Okumura, S. Miyatake, H. Yabata and T. Kawai, J. Appl. Phys. 93, 1624 (2003).
6. K. Lee, J. H. Kim and S. Im, Appl. Phys. Lett. 88, 023504 (2006).
7. C. S. Hwang, S.-H. K. Park and H. Y. Chu, IDW, 1149 (2005).
8. S. K. Kim, C. S. Hwang, S.-H. K. Park and S. J. Yun, Thin Solid Films 478, 103 (2005).
9. W.-S. Choi, prepared paper for submission.
10. R. L. Huffman, J. Appl. Phys. 95, 5813 (2004).
11. J.-H. Jeon, H.-H. Chae, K.-W. Lee, J.-H. Shin, C.-S. Hwang, S.-H. K. Park and J.-H. Seo, J Korean Phys. Soc. 53, 412 (2008).
12. T. Jung, A. Dodabalapur, R. Wenz and S. Mohapatra, Appl. Phys. Lett. 87, 182109 (2005).
13. S. Masuda, K. Kitamura, Y. Okumura, S. Miyatake, H. Tabada and T. Kawai, J Appl. Phys. 93, 1624 (2003).
14. S. J. Lim, S. Kwon, H. Kim and J. S. Park, Appl. Phy. Lett. 91, 183517 (2007).