ALD approach toward electrodeposition of Sb2Te3 for phase-change memory applications

Journal of the Electrochemical Society

Volumn 155, Issue 11, 2008, Pages

  Venkatasamy, V ^a,b,c   Shao, I ^a   Huang, Q ^a   Stickney, J L ^b  

^a IBM T J WATSON RESEARCH CENTER   (United States)

^b UNIVERSITY OF GEORGIA   (United States)

^c SEAGATE TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

METALLIZING;

ELECTRODEPOSITION;

EID: 52649143191     PISSN: 00134651     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/1.2969911     Document Type: Article

References (33)

1. R. Bez and A. Pirovano, Mater. Sci. Semicond. Process., 7, 349 (2004).
2. M. Wuttig and C. Steimer, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process., 87, 411 (2007).
3. S. H. Hong, H. Lee, K. Y. Yang, and G. Y. Jung, Microelectron. Eng., 84, 573 (2007).
4. S. R. Ovshinsky, Phys. Rev. Lett., 21, 1450 (1968).
5. S. M. Kim, M. J. Shin, D. J. Choi, K. N. Lee, S. K. Hong, and Y. J. Park, J. Mater. Sci., 40, 1543 (2005).
6. Z. Song, B. Liu, S. Feng, and B. Chen, Microelectron. Eng., 82, 168 (2005).
7. S. Raoux, D. B. Mitzi, A. G. Schrott, M. Copel, A. Kellock, and J. J. Sweet, Chem. Mater., 18, 6278 (2006).
8. M. Amuntencei, A. Roule, E. Deronzier, P. H. Haumesser, S. Da Silva, X. Avale, O. Pollet, R. Baskaran, and G. Passemard, Microelectron. Eng., 84, 2610 (2007).
9. V. Venkatasamy, N. Jayaraju, S. M. Cox, C. Thambidurai, and J. L. Stickney, J. Electrochem. Soc., 154, H720 (2007).
10. J. L. Stickney, in Electroanal. Chem., A. J. Bard, and, I. Rubenstein, Editors, p. 75, Marcel Dekker, New York (1997).
11. D. M. Kolb, M. Przasnys, and H. Gerische, J. Electroanal. Chem. Interfacial Electrochem., 54, 25 (1974).
12. D. M. Kolb, in Advances in Electrochemistry and Electrochemical Engineering, H. Gerischer, and, C. W. Tobias, Editors, p. 125, Wiley, New York (1978).
13. K. Juttner and W. J. Lorenz, Z. Phys. Chem., Neue Folge, 122, 163 (1980).
14. A. T. Hubbard, V. K. F. Chia, D. G. Frank, J. Y. Katekaru, S. D. Rosasco, G. N. Salaita, B. C. Schardt, D. Song, M. P. Soriaga, D. A. Stern, in New Dimensions in Chemical Analysis, B. L. Shapiro, Editor, p. 135, Texas A&M University Press, College Station (1985).
15. A. A. Gewirth and B. K. Niece, Chem. Rev. (Washington, D.C.), 97, 1129 (1997).
16. B. H. Flowers, T. L. Wade, J. W. Garvey, M. Lay, U. Happek, and J. L. Stickney, J. Electroanal. Chem., 524-525, 273 (2002).
17. V. Venkatasamy, M. K. Mathe, S. M. Cox, U. Happek, and J. L. Stickney, J. Appl. Electrochem., 36, 1223 (2006).
18. L. P. Colletti, B. H. Flowers, Jr. and J. L. Stickney, J. Electrochem. Soc., 145, 1442 (1998).
19. G. Pezzatini, S. Caporali, M. Innocenti, and M. L. Foresti, J. Electroanal. Chem., 475, 164 (1999).
20. T. L. Wade, L. C. Ward, C. B. Maddox, U. Happek, and J. L. Stickney, Electrochem. Solid-State Lett., 2, 616 (1999).
21. R. Vaidyanathan, J. L. Stickney, and U. Happek, Electrochim. Acta, 49, 1321 (2004).
22. R. Vaidyanathan, S. M. Cox, U. Happek, D. Banga, M. K. Mathe, and J. L. Stickney, Langmuir, 22, 10590 (2006).
23. W. Zhu, J. Y. Yang, X. H. Gao, S. Q. Bao, X. A. Fan, T. J. Zhang, and K. Cui, Electrochim. Acta, 50, 4041 (2005).
24. W. Zhu, J. Y. Yang, J. Hou, X. H. Gao, S. Q. Bao, and X. A. Fan, J. Electroanal. Chem., 585, 83 (2005).
25. W. Zhu, J. Y. Yang, D. X. Zhou, C. J. Mao, and X. K. Duan, J. Electroanal. Chem., 614, 41 (2008).
26. J. Y. Yang, W. Zhu, J. Hou, X. H. Gao, S. Q. Bao, X. A. Fan, and X. K. Duan, J. Phys. Chem. B, 110, 4599 (2006).
27. Q. Huang, A. J. Kellock, and S. Raoux, J. Electrochem. Soc., 155, D104 (2008).
28. W. Zhu, J. Y. Yang, D. X. Zhou, C. J. Xiao, and X. K. Duan, Electrochim. Acta, 53, 3579 (2008).
29. J. Y. Kim, Y. G. Kim, and J. L. Stickney, J. Electrochem. Soc., 154, D260 (2007).
30. J. Y. Kim, Y. G. Kim, and J. L. Stickney, ECS Trans. 10.1149/1.2214543, 1 (30), 41 (2006).
31. Y. G. Kim, J. Y. Kim, D. Vairavapandian, and J. L. Stickney, J. Phys. Chem. B, 110, 17998 (2006).
32. W. Zhu, J. Y. Yang, X. H. Gao, X. A. Fan, S. Q. Bao, and X. K. Duan, Electrochim. Acta, 52, 3035 (2006).
33. M. K. Mathe, S. M. Cox, B. H. Flowers, Jr., R. Vaidyanathan, L. Pham, N. Srisook, U. Happek, and J. L. Stickney, J. Cryst. Growth, 271, 55 (2004).