Mechanisms for NH3 decomposition on the Si(111)-7 × 7 surface: A DFT cluster model study

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 111, Issue 45, 2007, Pages 16974-16981

  Wang, Xinlan ^a   Xu, Xin ^a  

^a XIAMEN UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ADATOMS; CATALYST SELECTIVITY; CLUSTER ANALYSIS; DECOMPOSITION; DENSITY FUNCTIONAL THEORY; DISSOCIATION; MICROELECTRONICS; REACTION KINETICS;

BOND DISSOCIATION; COMPETING FACTORS; ELEVATED TEMPERATURES; SURFACE SITES;

SILICON COMPOUNDS;

EID: 36749084058     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp075193s     Document Type: Article

References (62)

1. VLSI Technology; Sze, S. M., Ed.; McGraw-Hill: Singapore, 1984.
2. Sze, S. M. Semiconductor Devices, Physics and Technology; Wiley: New York, 1985.
3. Belyi, V. I.; Vasil'evich, A. Silicon Nitride in Electronics. Materials Science Monographs; Elsevier: New York, 1988; Vol. 34.
4. Fujisawa, M.; Taguchi, Y.; Kuwahara, Y.; Onchi, M.; Nishijima, M. Phys. Rev. B 1989, 39, 12918.
5. Dresser, M. J.; Taylor, P. A.; Wallace, R. M.; Choyke, W. J.; Yates, J. T. Surf. Sci. 1989, 218, 75.
6. Bischoff, J. L.; Lutz, F.; Bolmont, D.; Kubler, L. Surf. Sci. 1991, 248, L240.
7. Franco, N.; Avila, J.; Davila, M. E.; Asensio, M. C.; Woodruff, D. P.; Schaff, O.; Fernandez, V.; Schindler, K. M.; Fritzsche, V.; Bradshaw, A. M. Phys. Rev. Lett. 1997, 79, 673.
8. Queeney, K. T.; Chabal, Y. J.; Raghavachari, K. Phys. Rev. Lett. 2001, 86, 1046.
9. Lee, S. H.; Kang, M. H. Phys. Rev. B. 1998, 58, 4903.
10. Miotto, R.; Srivastava, G. P.; Ferraz, A. C. Phys. Rev. B 1998, 58, 7944.
11. Cho, J. H.; Kim, K. S. Phys. Rev. B 2000, 62, 1607.
12. Widjaja, Y.; Mysinger, M. M.; Musgrave, C. B. J. Phys. Chem. B 2000, 104, 2527.
13. Widjaja, Y.; Musgrave, C. B. Surf. Sci. 2000, 469, 9.
14. Stober, J.; Eisenhut, B.; Rangelov, G.; Fauster, T. Surf. Sci. 1994, 321, 111.
15. Cherif, S. M.; Lacharme, J. P.; Sebenne, C. A. Appl. Surf. Sci. 1992, 56, 777.
16. Chen, P. J.; Colaianni, M. L.; Yates, J. T. Surf. Sci. 1992, 274, L605.
17. Widjaja, Y.; Musgrave, C. B. Phys. Rev. B 2001, 64, 205303.
18. Xu, X.; Kang, S. Y.; Yamabe, T. Phys. Rev. Lett. 2002, 88, 076106.
19. Kim, H. J.; Cho, J. H. Phys. Rev. B 2004, 69, 233402.
20. Takayangagi, K.; Tanishiro, Y.; Takahashi, M.; Takahashi, S. J. Vac. Sci. Technol. A 1985, 3, 1502.
21. Cao, Y.; Wei, X. M.; Chin, W. S.; Lai, Y. H.; Deng, J. F.; Bernasek, S. L.; Xu, G. Q. J. Phys. Chem. B 1999, 103, 5698.
22. Cao, Y.; Yong, K. S.; Wang, Z. Q.; Chin, W. S.; Lai, Y. H.; Deng, J. F.; Xu, G. Q. J. Am. Chem. Soc. 2000, 122, 1812.
23. Avouris, Ph.; Wolkow, R. Phys. Rev. B 1989, 39, 5091.
24. Northrup, J. E. Phys. Rev. Lett. 1986, 57, 154.
25. Hamers, R. J.; Tromp, R. M.; Demuth, J. E. Phys. Rev. Lett. 1986, 56, 1972.
26. Stauffer, L.; Bolmont, S. Van D.; Koulmann, J. J.; Minot, C. Solid State Commun. 1993, 85, 935.
27. Wokow, R.; Avouris. Ph. Phys. Rev. Lett. 1988, 60, 1049.
28. Cao, X. P.; Hamers, R. J. J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 10988.
29. Kubler, L.; Hlil, E. K.; Bolmont, D.; Gewinner, G. Surf. Sci. 1987, 183, 503.
30. Kubler, L.; Hlil, E. K.; Bolmont, D.; Peruchetti, J. C. Thin Solid Films 1987, 149, 385.
31. Tanaka, S.; Onchi, M.; Nishijma, M. Surf. Sci. 1987, 191, L756.
32. Bozso, F.; Avouris, Ph. Phys. Rev. B 1988, 38, 3937.
33. Cherif, S. M.; Lacharme, J. P.; Sebenne, C. A. Surf. Sci. 1991, 243, 113.
34. Bischoff. J. L.; Lutz, F.; Bolmont, D.; Kubler, L. Surf. Sci. 1991, 251/252, 170.
35. Colaianni, M. L.; Chen, P. J.; Yates, J. T. J. Chem. Phys. 1992, 96, 7826.
36. Dufour, G.; Rochet, F.; Roulet, H.; Sirotti, F. Surf. Sci. 1994, 304, 33.
37. Bjrkqvist, M.; Gthelid, M.; Grehk, T. M.; Karlsson, U. O. Phys. Rev. B 1998, 57, 2327.
38. Bengió, S.; Ascolani, H.; Franco, N.; Avila, J.; Asensio, M. C.; Bradshaw, A. M.; Woodruff, D. P. Phys. Rev B 2004, 69, 125340.
39. Zaïbi, M. A.; Lacharme, J. P.; Sébenne, C. A. Surf. Sci. 1998, 206-210, 402.
40. Kubler, L.; Bischoff, J. L.; Bolmont, D. Phys. Rev. B 1998, 38, 13113.
41. Lu, X.; Xu, X.; Wang, N. Q.; Zhang, Q. Z.; Lin, M. C. Chem. Phys. Lett. 2002, 355, 365.
42. Ezzehar, H.; Sonnet, Ph.; Minot. C.; Stauffer, L. Surf. Sci. 2000, 454-456, 358.
43. Kang, M. H. Phys. Rev. B 2003, 68, 205307.
44. Ferullo, R. M.; Fuente, S. A.; Belelli, P. G.; Castellani, N. J. Surf. Sci. 2007, 601, 1870.
45. Carbone, M.; Zanoni, R.; Piancastelli, M. N.; Cometet, G.; Dujardin, G.; Hellner, N. L. Surf. Sci. 1996, 352-354, 391.
46. Piancastelli. M. N.; Paggel, J. J.; Weindel, Chr.; Hasselblatt, M.; Horn, K. Phys. Rev. B 1997, 57, 12737.
47. Xie, Z. X.; Uematsu, Y.; Lu, X.; Tanaka, K. Phys. Rev. B 2002, 66, 125306.
48. Xu, X.; Wang, C. J.; Xie, Z. X.; Lu, X.; Chen, M. S.; Tanaka, K. Chem. Phys. Lett. 2004, 388, 190.
49. Xu, X.; Kang, S. Y.; Yamabe, T. Chem. Eur. J. 2002, 8, 5351.
50. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648.
51. Stephens, P. J.; Devlin, F. J.; Frisch, M. J.; Chabalowski, C. F. J. Phys. Chem. 1994, 98, 11623.
52. Slater, J. C. The Self-consistent Field for Molecules and Solids, in Quantum Theory of Molecules and Solids; McGraw Hill: New York, 1974.
53. Becke, A. D. Phys. Rev. A 1988, 38, 3098.
54. Vosko, S. H.; Wilk, L.; Nusair, M. Can. Phys. J. 1980, 58, 1200.
55. Lee, C.; Yang, W.; Parr, R. G. Phys. Rev. B 1998, 37, 785.
56. Francl, M. M.; Pietro, W. J.; Hehre, W. J.; Binkley, J. S.; Gorden, M. S.; Defrees, D. J.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1982, 77, 3654.
57. Hariharan, P. C.; Pople, J. A. Theor. Chim. Ada 1973, 28, 213.
58. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Zakrzewski, V. G.; Montgomery, J. A., Jr.; Stratmann, R. E.; Burant, J. C.; Dapprich, S.; Millam, J. M.; Daniels, A. D.; Kudin, K. N.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Tomasi, J.; Barone, V.; Cossi, M.; Cammi, R.; Mennucci, B.; Pomelli, C.; Adamo, C.; Clifford, S.; Ochterski, J.; Petersson, G. A.; Ayala, P. Y.; Cui, Q.; Morokuma, K.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Cioslowski, J.; Ortiz, J. V.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Gomperts, R.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Gonzalez, C.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B. G.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Head-Gordon, M.; Replogle, E. S.; Pople, J. A. Gaussian 98, revision A.5; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA, 1998.
59. Lu, X.; Wang, X. L.; Yuan, Q. H.; Zhang, Q. E. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 7923.
60. Weinberg, W. H. In Kinetics of Interface Reactions; Grunze, M., Kreuzer, H. J., Eds.; Springer: New York, 1987; p 84.
61. Gorte, R.; Schmidt, L. D. Surf. Sci. 1978, 76, 599.
62. CRC Handbook of Chemistry and Physics, 76th ed.; Lide, D. R., Ed.; CRC Press: Boca Raton, FL, 1995.