Templating water stains for nanolithography

Nano Letters

Volumn 7, Issue 8, 2007, Pages 2452-2458

  Liao, Wei Ssu ^a   Chen, Xin ^a   Chen, Jixin ^a   Cremer, Paul S ^a  

^a TEXAS A AND M UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

HYDROPHILICITY; HYDROPHOBICITY; POLYMERS;

HYDROPHOBIC SPHERICAL TEMPLATES; PATTERNING TECHNIQUE; WATER STAINS;

NANOLITHOGRAPHY;

METALS; POLYMERS; STAINING; WATER REPELLENCE;

METAL; NANOMATERIAL; POLYMER; WATER;

ARTICLE; CHEMISTRY; CONFORMATION; CRYSTALLIZATION; MACROMOLECULE; MATERIALS TESTING; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE; SURFACE PROPERTY; ULTRASTRUCTURE;

CRYSTALLIZATION; MACROMOLECULAR SUBSTANCES; MATERIALS TESTING; METALS; MOLECULAR CONFORMATION; NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE; POLYMERS; SURFACE PROPERTIES; WATER;

EID: 34548151236     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl071195c     Document Type: Article

References (43)

1. Joannopoulos, J. D.; Villeneuve, P. R.; Fan, S. H. Nature 1997, 386, 143.
2. Joannopoulos, J. D.; Meade, R. D.; Winn, J. N. Photonic Crystals: Modeling the Flow of Light; Princeton University Press: Princeton, NJ, 1995.
3. Jacobs, H. O.; Whitesides, G. M. Science 2001, 291, 1763.
4. Thurn-Albrecht, T.; Schotter, J.; Kastle, C. A.; Emley, N.; Shibauchi, T.; Krusin-Elbaum, L.; Guarini, K.; Black, C. T.; Tuominen, M. T.; Russell, T. P. Science 2000, 290, 2126.
5. Haes, A. J.; Van Duyne, R. P. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 10596.
6. Ostuni, E.; Chen. C. S.; Ingber, D.; Whitesides, G. M. Langmuir 2001, 17, 2828.
7. Lee, K.-B.; Park, S.-J.; Mirkin, C. A.; Smith, J. C.; Mrksich, M. Science 2002, 295, 1702.
8. Kohli, P.; Harrell, C. C.; Cao, Z.; Gasparac, R.; Tan, W.; Martin, C. R. Science 2004, 305, 984.
9. Chan, W. C. W.; Nie, S. Science 1998, 281, 2016.
10. Han, M.; Gao, X.; Su, J. Z.; Nie, S. Nat. Biotechnol. 2001, 19, 631.
11. Moreau, W. M. Semiconductor Lithography; Plenum: New York, 1989, Chapter 8.
12. Sze, S. M. VLSI Technology; McGraw-Hill: Singapore, 1988; Chapter 4.3.
13. Dändliker, R.; Gray, S.; Clube, F.; Herzig, H. P.; Vökel, R. Microelectron. Eng. 1995, 27, 205.
14. Gale, M. T.; Rossi, M.; Pedersen, J.; Schutz, H. Opt. Eng. 1994, 33, 3556.
15. Martin, C. R. Science 1994, 266, 1961.
16. Piner, R. D.; Zhu, J.; Xu, F.; Hong, S.; Mirkin, C. A. Science 1999, 283, 661.
17. Wu, M.-H.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 2273.
18. Wu, M.-H.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Appl. Opt. 2002, 41, 2575.
19. Hulteen. J. C.; Van Duyne, R. P. J. Vac. Sci. Technol., A 1995, 13, 1553.
20. Guo, Q.; Teng, X.; Yang, H. Nano Lett. 2004, 4, 1657.
21. McLellan, J. M.; Geissler, M.; Xia, Y. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 10830.
22. Deegan, R. D.; Bakajin, O.; Dupont, T. F.; Huber, G.; Nagel, S. R.; Witten, T. A. Nature 1997, 389, 827.
23. Deegan, R. D. Phys. Rev. E 2000, 61, 475.
24. Deegan, R. D.; Bakajin, O.; Dupont, T. F.; Huber, G.; Nagel, S. R.; Witten, T. A. Phys. Rev. E 2000, 62, 756.
25. Rabani, E.; Reichman, D. R.; Geissler. P. L.; Brus, L. E. Nature 2003, 426, 271.
26. Hong, S. W.; Xu, J.; Xia, J.; Lin, Z. Q.; Qiu, F.; Yang, Y. L. Chem. Mater. 2005, 17, 6223.
27. Xu, J.; Xia, J.; Hong, S. W.; Lin, Z. Q.; Qiu, F.; Yang, Y. L. Phys. Rev. Lett. 2006, 96, 066104.
28. Hong, S. W.; Xu, J.; Lin, Z. Q. Nano Lett. 2006, 6, 2949.
29. Hulteen, J. C.; Treichel, D. A.; Smith, M. T.; Duval, M. L.; Jensen, T. R.; Van, Duyne, R. P. J. Phys. Chem. B 1999, 103, 3854.
30. Xu, H.; Goedel, W. A. Angew. Chem., Int. Ed. 2003, 42, 4696.
31. Zhu, F. Q.; Fan, D.; Zhu, X.; Zhu, J. G.; Cammarata, R. C.; Chien, C. L. Adv. Mater. 2004, 16, 2155.
32. Yan, F.; Goedel, W. A. Nano Lett. 2004, 4, 1193.
33. Kosiorek, A.; Kandulski, W.; Glaczynska, H.; Giersig, M. Small 2005, 1, 439.
34. Hobbs, K. L.; Larson, P. R.; Lian, G. D.; Keay, J. C.; Johnson, M. B. Nano Lett. 2004, 4, 167.
35. Wang, Z. K.; Lim, H. S.; Liu, H. Y.; Ng, S. C.; Kuok, M. H.; Tay, L. L.; Lockwood, D. J.; Cottam, M. G.; Hobbs, K. L.; Larson, P. R.; Keay, J. C.; Lian, G. D.; Johnson, M. B. Phys. Rev. Lett. 2005, 94, 137208.
36. Liao, W.-S.; Yang, T.; Castellana, E. T.; Kataoka, S.; Cremer, P. S. Adv. Mater. 2006, 18, 2240.
37. Nicewarner-Peña, S. R.; Freeman, G. R.; Reiss, B. D.; He, L.; Peña, D. J.; Walton, I. D.; Cromer, R.; Keating, C. D.; Natan, M. J. Science 2001, 294, 137.
38. Pearson, D. H.; Tonucci, R. J.; Bussmann, K. M.; Bolden, E. A. Adv. Mater. 1999, 11, 769.
39. Ji, R.; Lee, W.; Scholz, R.; Gösele, U.; Nielsch, K. Adv. Mater. 2006, 18, 2593.
40. Kim, E.; Xia, Y.; Zhao, X. M.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1997, 9, 651.
41. Deckman, H. W.; Dunsmuir, J. H. Appl. Phys. Lett. 1982, 41, 377.
42. Deckman, H. W.; Dunsmuir, J. H. J. Vac. Sci. Technol., B 1983, 1, 1109.
43. Haes, A. J.; Haynes, C. L.; McFarland, A. D.; Schatz, G. C.; Van Duyne, R. P.; Zou, S. MRS Bull. 2005, 30, 368.