Global critical dimension correction: I. fogging effect correction

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers

Volumn 46, Issue 6 A, 2007, Pages 3359-3367

  Abe, Takayuki ^a   Suzuki, Jun Ichi ^a   Yashima, Jun ^a   Iijima, Tomohiro ^a   Oogi, Susumu ^a   Anze, Hirohito ^a   Onimaru, Yoshiaki ^a   Tsurumaki, Hideyuki ^a   Tsuchiya, Seiichi ^a   Hattori, Yoshiaki ^a  

^a NUFLARE TECHNOLOGY INC   (Japan)

Author keywords

Correction, mask; Effect; Electron beam; Fogging; Foggy; LSI; Proximity; Semiconductor

Indexed keywords

COMPUTATION THEORY; ERROR CORRECTION; PARAMETER ESTIMATION;

FOGGING; PROXIMITY;

ELECTRON BEAMS;

EID: 34547828861     PISSN: 00214922     EISSN: 13474065     Source Type: Journal    
DOI: 10.1143/JJAP.46.3359     Document Type: Article

References (15)

1. K. K. Christenson, R. V. Viswanathan, and F. J. Hohn: J. Vac. Sci. Technol. B 8 (1990) 1618.
2. N. Saitou, T. Iwasaki, and F. Murai: Proc. SPIE 1465 (199.1) 185.
3. M. Ogasawara, N. Shimomura, J. Takamatsu, S. Yoshitake, K. Ooki, N. Nakayamada, H. Okabe, T. Tojo, and T. Takigawa: J. Vac. Sci. Technol. B 17 (1999) 2936.
4. D. I. Park, E. S. Park, J. H. Lee, W. G. Jeong, S. K. Seo, H. J. Kwon, J. M. Kim, S. M. Jung, and S. S. Choi: Proc. SPIE 5130 (2003) 78.
5. E. S. Park, H. J. Cho, J. M. Kim, and S. S. Choi: Proc. SPIE 5853 (2005) 58.
6. T. Abe, Y. Hattori, T. lijima, H. Anze, S. Oogi, T. Kamikubo, S. Tsuchiya, M. Shimizu, K. Matsuki, H. Inoue, T. Tojo, and T. Takigawa: Jpn. J. Appl. Phys. 46 (2007) 826.
7. M. Murai, H. Yoda, S. Okazaki, and N. Saitou: J. Vac. Sci. Technol. B 10 (1992) 3072.
8. T. Abe, S. Yamasaki, R. Yoshikawa, and T. Takigawa: Jpn. J. Appl. Phys. 30 (1991) L528.
9. T. Abe, S. Yamasaki, T. Yamaguchi, R. Yoshikawa, and T. Takigawa: Jpn. J. Appl. Phys. 30 (1991.) 2965.
10. T. Abe, S. Yamasaki, R. Yoshikawa, and T. Takigawa: J. Vac. Sci. Technol. B 9 (1991) 3059.
11. M. L. Yu, A. Sagel, and B. Buller: Proc. SPIE 5853 (2005) 42.
12. J. M. Pavcovich: J. Vac. Sci. Technol. B 4 (1986) 159.
13. J. S. Greeneich: J. Vac. Sci. Technol. 16 (1979) 1749.
14. T. Tamura, K. Nakajima, and H. Nozue: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 6953.
15. H. Sunaoshi, Y. Tachikawa, H. Higurashi, T. Iijima, J. Suzuki, T. Kamikubo, K. Ohtoshi, H. Anze, T. Katsumata, N. Nakayamada, S. Hara, S. Tamamushi, and Y. Ogawa: Proc. SPIE 6283 (2006) 628306.