Formation process of high reflective Ni/Ag/Au Ohmic contact for GaN flip-chip light-emitting diodes

Applied Physics Letters

Volumn 90, Issue 16, 2007, Pages

  Chang, Liann Be ^a   Shiue, Ching Chuan ^a   Jeng, Ming Jer ^a  

^a CHANG GUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

FLIP CHIP DEVICES; GALLIUM NITRIDE; METALLIZING; MULTILAYERS; NICKEL; OHMIC CONTACTS; SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY;

FORMATION PROCESS; REFLECTIVE MULTILAYERS;

LIGHT EMITTING DIODES;

EID: 34247394221     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2730734     Document Type: Article

References (14)

1. J. J. Wierer, D. A. Steigerwald, M. R. Krames, J. J. O'Shea, M. J. Ludowise, G. Christenson, Y. C. Shen, C. Lowery, P. S. Martin, S. Subramanya, W. Gotz, N. F. Gardner, R. S. Kern, and S. A. Stockman, Appl. Phys. Lett. 78, 3379 (2001).
2. W. S. Chen, S. C. Shei, S. J. Chang, Y. K. Su, W. C. Lai, C. H. Kuo, Y. C. Lin, C. S. Chang, T. K. Ko, Y. P. Hsu, and C. F. Shen, IEEE Trans. Electron Devices 53, 32 (2006).
3. J. O. Song, D. S. Leem, J. S. Kwak, O. H. Nam, Y. Park, and T. Y. Seong, IEEE Photonics Technol. Lett. 16, 1450 (2004).
4. W. K. Hong, J. O. Song, H. G. Hong, K. Y. Ban, T. Lee, J. S. Kwak, Y. Park, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 8, G320 (2005).
5. J. K. Ho, C. S. Jong, C. C. Chiu, C. N. Hunag, C. Y. Chen, and K. K. Shih, Appl. Phys. Lett. 74, 1275 (1999).
6. T. Maeda, Y. Koide, and M. Murakami, Appl. Phys. Lett. 75, 4145 (1999).
7. S. Y. Kim and J. L. Lee, Electrochem. Solid-State Lett. 7, G102 (2004).
8. D. L. Hibbard, S. P. Jung, C. Wang, D. Ullery, Y. S. Zhao, H. P. Lee, W. So, and H. Liu, Appl. Phys. Lett. 83, 311 (2003).
9. H. W. Jang and J. L. Lee, Appl. Phys. Lett. 85, 5920 (2004).
10. N. C. Chen, P. H. Chang, A. P. Chiu, M. C. Wang, W. S. Feng, and G. M. Wu, Appl. Phys. Lett. 84, 2584 (2004).
11. C. Y. Hu, Z. X. Qin, Z. X. Feng, Z. Z. Chen, Z. B. Ding, Z. J. Yang, T. J. Yu, X. D. Hu, S. D. Yao, and G. Y. Zhang, Mater. Sci. Eng., B 128, 37 (2006).
12. L. C. Chen, F. R. Chen, J. J. Kai, L. Chang, J. K. Ho, C. S. Jong, C. C. Chiu, C. N. Huang, C. Y. Chen, and K. K. Shih, J. Appl. Phys. 86, 3826 (1999).
13. G. T. Chen, C. C. Pan, C. S. Fang, T. C. Huang, J. I. Chyi, M. N. Chang, S. B. Huang, and J. T. Hsu, Appl. Phys. Lett. 85, 2797 (2004).
14. H. W. Jang, J. H. Son, and J. L. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 012106 (2007).