Ethynyl (C2H): A major player in the chemical vapor deposition of diamond

Applied Physics Letters

Volumn 90, Issue 5, 2007, Pages

  Deák, Peter ^a,b   Kováts, Antal ^a   Csíkváry, Peter ^a   Maros, István ^a   Hárs, György ^a  

^a BUDAPEST UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND ECONOMICS   (Hungary)

^b UNIVERSITY OF BREMEN   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CRYSTAL GROWTH; DIAMONDS; MASS SPECTROMETRY; MICROWAVES; PLASMAS;

ABUNDANT SPECIES; DIAMOND DEPOSITION;

NITROGEN COMPOUNDS;

EID: 33847000868     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2437718     Document Type: Article

References (36)

1. S. Matsumoto, Z. Sato, M. Tsutsimi, and N. Setaka, J. Mater. Sci. 17, 3106 (1982).
2. P. K. Bachmann, D. Leers, and H. Lydtin, Diamond Relat. Mater. 1, 1 (1991).
3. D. G. Goodwin and J. E. Butler, in Handbook of Industrial Diamonds and Diamond Films, edited by, M. A. Prelas, G. Popovici, and, L. K. Bigelow, (Dekker, New York, 1997), p. 541; S.-T. Lee, Zh.-D. Lin, and X. Jiang, Mater. Sci. Eng., R. 0927-796X 10.1016/S0927-796X(99)00003-0 25, 123 (1999); L. K. Bigelow and M. P. D'Evelyn, Surf. Sci. 500, 986 (2002).
4. D. G. Goodwin and J. E. Butler, in Handbook of Industrial Diamonds and Diamond Films, edited by, M. A. Prelas, G. Popovici, and, L. K. Bigelow, (Dekker, New York, 1997), p. 541; S.-T. Lee, Zh.-D. Lin, and X. Jiang, Mater. Sci. Eng., R. 0927-796X 10.1016/S0927-796X(99)00003-0 25, 123 (1999); L. K. Bigelow and M. P. D'Evelyn, Surf. Sci. 500, 986 (2002).
5. D. G. Goodwin and J. E. Butler, in Handbook of Industrial Diamonds and Diamond Films, edited by, M. A. Prelas, G. Popovici, and, L. K. Bigelow, (Dekker, New York, 1997), p. 541; S.-T. Lee, Zh.-D. Lin, and X. Jiang, Mater. Sci. Eng., R. 0927-796X 10.1016/S0927-796X(99)00003-0 25, 123 (1999); L. K. Bigelow and M. P. D'Evelyn, Surf. Sci. 500, 986 (2002).
6. Y. Ando, T. Tachibana, and K. Kobashi, Diamond Relat. Mater. 10, 312 (2001).
7. V. Mortet, Z. Hubicka, V. Vorlicek, K. Jurek, J. Rosa, and M. Vanecek, Phys. Status Solidi A 201, 2425 (2004).
8. G. Lombardi, K. Hassouni, G. D. Stancu, L. Mechold, J. Röpcke, and A. Gicquel, Plasma Sources Sci. Technol. 14, 440 (2005).
9. C. Brenndorf, P. Joeris, and R. Kröger, Pure Appl. Chem. 66, 1195 (1994).
10. W. L. Hsu and D. M. Tung, Rev. Sci. Instrum. 63, 4138 (1992).
11. W. L. Hsu, M. C. McMaster, M. E. Coltrin, and D. S. Dandy, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 0021-4922 10.1143/JJAP.33.2311 33, 2231 (1994); C. A. Rego, P. W. May, C. R. Henderson, M. N. R. Ashfold, K. N. Rosser, and N. M. Everitt, Diamond Relat. Mater. 0925-9635 10.1016/0925-9635(94)05302-2 4, 770 (1995); C. A. Rego, R. S. Tsang, P. W. May, M. N. R. Ashfold, and K. N. Rosser, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.361443 79, 7264 (1996); R. S. Tsang, C. A. Rego, P. W. May, M. N. R. Ashfold, and K. N. Rosser, Diamond Relat. Mater. 6, 247 (1997).
12. W. L. Hsu, M. C. McMaster, M. E. Coltrin, and D. S. Dandy, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 0021-4922 10.1143/JJAP.33.2311 33, 2231 (1994); C. A. Rego, P. W. May, C. R. Henderson, M. N. R. Ashfold, K. N. Rosser, and N. M. Everitt, Diamond Relat. Mater. 0925-9635 10.1016/0925-9635(94)05302-2 4, 770 (1995); C. A. Rego, R. S. Tsang, P. W. May, M. N. R. Ashfold, and K. N. Rosser, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.361443 79, 7264 (1996); R. S. Tsang, C. A. Rego, P. W. May, M. N. R. Ashfold, and K. N. Rosser, Diamond Relat. Mater. 6, 247 (1997).
13. W. L. Hsu, M. C. McMaster, M. E. Coltrin, and D. S. Dandy, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 0021-4922 10.1143/JJAP.33.2311 33, 2231 (1994); C. A. Rego, P. W. May, C. R. Henderson, M. N. R. Ashfold, K. N. Rosser, and N. M. Everitt, Diamond Relat. Mater. 0925-9635 10.1016/0925-9635(94)05302-2 4, 770 (1995); C. A. Rego, R. S. Tsang, P. W. May, M. N. R. Ashfold, and K. N. Rosser, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.361443 79, 7264 (1996); R. S. Tsang, C. A. Rego, P. W. May, M. N. R. Ashfold, and K. N. Rosser, Diamond Relat. Mater. 6, 247 (1997).
14. W. L. Hsu, M. C. McMaster, M. E. Coltrin, and D. S. Dandy, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 0021-4922 10.1143/JJAP.33.2311 33, 2231 (1994); C. A. Rego, P. W. May, C. R. Henderson, M. N. R. Ashfold, K. N. Rosser, and N. M. Everitt, Diamond Relat. Mater. 0925-9635 10.1016/0925-9635(94)05302-2 4, 770 (1995); C. A. Rego, R. S. Tsang, P. W. May, M. N. R. Ashfold, and K. N. Rosser, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.361443 79, 7264 (1996); R. S. Tsang, C. A. Rego, P. W. May, M. N. R. Ashfold, and K. N. Rosser, Diamond Relat. Mater. 6, 247 (1997).
15. W. L. Hsu, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.351470 72, 3102 (1992); M. C. McMaster, W. L. Hsu, M. E. Coltrin, D. S. Dandy, and C. Fox, Diamond Relat. Mater. 4, 1000 (1995).
16. W. L. Hsu, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.351470 72, 3102 (1992); M. C. McMaster, W. L. Hsu, M. E. Coltrin, D. S. Dandy, and C. Fox, Diamond Relat. Mater. 4, 1000 (1995).
17. T. Fujii and M. Kareev, J. Appl. Phys. 89, 2543 (2001).
18. A. Kovács and P. Deák, Diamond Relat. Mater. 14, 1517 (2005).
19. Sz. Kátai, Z. Tass, L. Bori, Gy. Hárs, and P. Deák, Rev. Sci. Instrum. 0034-6748 10.1063/1.1149912 70, 3324 (1999); Sz. Kátai, Z. Tass, Gy. Hárs, and P. Deák, J. Appl. Phys. 86, 5549 (1999).
20. Sz. Kátai, Z. Tass, L. Bori, Gy. Hárs, and P. Deák, Rev. Sci. Instrum. 0034-6748 10.1063/1.1149912 70, 3324 (1999); Sz. Kátai, Z. Tass, Gy. Hárs, and P. Deák, J. Appl. Phys. 86, 5549 (1999).
21. K. Larsson, S. Lunell, and J.-O. Carlsson, Phys. Rev. B 0163-1829 10.1103/PhysRevB.48.2666 48, 266 (1993); D. R. Alfonso, S. H. Zang, and D. A. Drabold, Phys. Rev. B 50, 15369 (1994).
22. K. Larsson, S. Lunell, and J.-O. Carlsson, Phys. Rev. B 0163-1829 10.1103/PhysRevB.48.2666 48, 266 (1993); D. R. Alfonso, S. H. Zang, and D. A. Drabold, Phys. Rev. B 50, 15369 (1994).
23. M. Frenklach and K. E. Spaer, J. Mater. Res. 0884-2914 3, 133 (1988); M. A. Capelli and R. H. Paul, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.345464 67, 2596 (1990); X. Y. Chang, D. L. Thomson, and L. M. Raff, J. Phys. Chem. 97, 10112 (1993).
24. M. Frenklach and K. E. Spaer, J. Mater. Res. 0884-2914 3, 133 (1988); M. A. Capelli and R. H. Paul, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.345464 67, 2596 (1990); X. Y. Chang, D. L. Thomson, and L. M. Raff, J. Phys. Chem. 97, 10112 (1993).
25. M. Frenklach and K. E. Spaer, J. Mater. Res. 0884-2914 3, 133 (1988); M. A. Capelli and R. H. Paul, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.345464 67, 2596 (1990); X. Y. Chang, D. L. Thomson, and L. M. Raff, J. Phys. Chem. 97, 10112 (1993).
26. J. Peploski, D. L. Thompson, and L. M. Raff, J. Phys. Chem. 0022-3654 10.1021/j100200a060 96, 8544 (1992); H. Rau and F. Picht, J. Mater. Res. 8, 2250 (1993).
27. J. Peploski, D. L. Thompson, and L. M. Raff, J. Phys. Chem. 0022-3654 10.1021/j100200a060 96, 8544 (1992); H. Rau and F. Picht, J. Mater. Res. 8, 2250 (1993).
28. Y. Matsui, A. Yuaki, M. Sahara, and Y. Hirose, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 28, 1718 (1989).
29. P. Bou, J. C. Boettner, and L. Vandenbulcke, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 31, 1505 (1992).
30. G. Lombardi, K. Hassouni, G. D. Stancu, L. Mechold, J. Röpcke, and A. Gicquel, J. Appl. Phys. 98, 053303 (2005).
31. P. W. May, J. N. Harvey, J. A. Smith, and Yu. A. Mankelevich, J. Appl. Phys. 99, 104907 (2006).
32. J. E. Butler and R. Woodin, Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A 342, 209 (1993).
33. D. A. Homer, L. A. Curtiss, and D. M. Gruen, Chem. Phys. Lett. 0009-2614 10.1016/0009-2614(95)00478-M 233, 234 (1995); P. C. Redfern, D. A. Homer, L. A. Curtiss, and D. M. Gruen, J. Phys. Chem. 100, 11654 (1996).
34. D. A. Homer, L. A. Curtiss, and D. M. Gruen, Chem. Phys. Lett. 0009-2614 10.1016/0009-2614(95)00478-M 233, 234 (1995); P. C. Redfern, D. A. Homer, L. A. Curtiss, and D. M. Gruen, J. Phys. Chem. 100, 11654 (1996).
35. Y. Lifshitz, C. H. Lee, Y. Wu, W. J. Zhang, I. Bello, and S. T. Lee, Appl. Phys. Lett. 88, 243114 (2006).
36. T. Teraji, Phys. Status Solidi A 203, 3324 (2006).