Imaging ellipsometry study on the Ni-mediated crystallization of a-Si

Journal of Applied Physics

Volumn 100, Issue 11, 2006, Pages

  Choi, A J ^b   Ghong, T H ^b   Kim, Y D ^a   Oh, J H ^a   Jang, J ^a  

^a Kyung Hee University   (South Korea)

^b NONE

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; CRYSTALLIZATION; ELLIPSOMETRY; GLASS; NICKEL; SUBSTRATES;

ANNEALING TIME; DISK SHAPE; GLASS SUBSTRATE;

POLYSILICON;

EID: 33845781626     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2345468     Document Type: Article

References (25)

1. P. Kuusrainen and A. Carranque, Elettronica Oggi 348, 128 (2005).
2. A. Nathan, G. R. Chaji, and S. J. Ashtiani, Journal of Display Technology 1, 267 (2005).
3. A. Nathan, A. Kumar, K. Sakariya, P. Servati, S. Sambandan, and D, Striakhilev, IEEE J. Solid-State Circuits 39, 1477 (2004).
4. J. J. Lih, C. F. Sung, C. H. Li, T. H. Hsiao, and H. H. Lee, J. Soc. Inf. Disp. 12, 367 (2004).
5. W. K. Kwak, B. R. Cho, S. Y. Yoon, S. J. Park, and J. Jang, IEEE Electron Device Lett. 21, 107 (2000).
6. C. Hayzelden and J. L. Batstone, J. Appl. Phys. 73, 8279 (1993).
7. K. H. Kim, A. Y. Kim, S. J. Park, K. C. Park, and J. Jang, Thin Solid Films 451, 320 (2004).
8. J. H. Choi, D. Y. Kim, S. J. Park, B. K. Choo, and J. Jang, Thin Solid Films 427, 289 (2003).
9. P. J. van der Zaag, M. A. Verheijen, S. Y. Yoon, and N. D. Young, Appl. Phys. Lett. 81, 3404 (2002).
10. B. Goranchev, V. Orlinov, F. Przyborowski, and C. Weissmantel, Thin Solid Films 70, 111 (1980).
11. S. Boultadakis, S. Logothetidis, and S. Ves, J. Appl. Phys. 72, 3648 (1992).
12. T. Suzuki and S. Adachi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 32, 4900 (1993).
13. G. E. Jellison, Jr., M. F. Chisholm, and S. M. Gorbatkin, Appl. Phys. Lett. 62, 3348 (1993).
14. I. C. Hsieh, S. Y. Lien, and D. S. Wuu, Thin Solid Films 473, 169 (2005).
15. W. S. Shon, J. H. Choi, K. H. Kim, J. H. Oh, S. S. Kim, and J. Jang, J. Appl. Phys. 94, 4326 (2003).
16. J. Jang, J. Y. Oh, S. K. Kim, Y. J. Choi, S. Y. Yoon, and C. O. Kim, Nature (London) 395, 481 (1998).
17. K. H. Kim, A. Y. Kim, S. J. Park, K. C. Park, and J. Jang, Thin Solid Films 451, 320 (2004).
18. R. M. A. Azzam and N. M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland, Amsterdam, 1987).
19. C. Hayzelden, J. L. Batstone, and R. C. Cammarata, Appl. Phys. Lett. 60, 225 (1992).
20. J. H. Oh, E. H. Kim, S. K. Kim, J. H. Cheon, Y. D. Son, and J. Jang, Appl. Phys. Lett. 87, 231120 (2005).
21. K. H. Kim, J. P. Park, A. Y. Kim, and J. Jang, J. Non-Cryst. Solids 299, 83 (2002).
22. B. Abeles and J. Gittleman, Appl. Opt. 15, 2328 (1976).
23. G. Niklasson, C. Granqvist, and O. Hunderi, Appl. Opt. 20, 26 (1981).
24. D. E. Aspnes, Thin Solid Films 89, 249 (1982).
25. A. J. Choi, Y. D. Kim, J. H. Oh, and J. Jang (unpublished).