Multiple level nanochannels fabricated using reversal UV nanoimprint

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 24, Issue 6, 2006, Pages 2984-2987

  Yang, B ^a   Pang, S W ^a  

^a UNIVERSITY OF MICHIGAN   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GLASS MOLD; IMPRINT SEQUENCE; NANOCHANNELS;

CURING; FLUIDIC DEVICES; SPIN COATING; SUBSTRATES; ULTRAVIOLET RADIATION;

NANOSTRUCTURED MATERIALS;

EID: 33845259127     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2393247     Document Type: Article

References (14)

1. J. D. Meindl, J. A. Davis, P. Zarkesh-Ha, C. S. Patel, K. P. Martin, and P. A. Kohl, IBM J. Res. Dev. 46, 245 (2002).
2. Y. Yang, S. Basu, D. L. Tomasko, L. J. Lee, and S. T. Yang, Biomaterials 26, 2585 (2005).
3. W. Hu, E. K. F. Yim, R. M. Reano, K. W. Leong, and S. W. Pang, J. Vac. Sci. Technol. B 23, 2984 (2005).
4. M. Agirregabiria, F. J. Blanco, J. Berganzo, M. T. Arroyo, A. Fullaondo, K. Mayoraa, and J. M. Ruano-Lopez, Lab Chip 5, 545 (2005).
5. M. Stjernstrom and J. Roeraade, J. Micromech. Microeng. 8, 33 (1998).
6. R. M. Reano and S. W. Pang, J. Vac. Sci. Technol. B 23, 2995 (2005).
7. H. Cao, Z. Yu, J. Wang, J. O. Tegenfeldt, R. H. Austin, E. Chen, W. Wu, and S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett. 81, 174 (2002).
8. L. Tan, Y. P. Kong, L. R. Bao, X. D. Huang, L. J. Guo, S. W. Pang, and A. F. Yee, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2742 (2003).
9. Y. P. Kong, H. Y. Low, S. W. Pang, and A. F. Yee, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 3251 (2004).
10. L. R. Bao, X. Cheng, X. D. Huang, L. J. Guo, S. W. Pang, and A. F. Yee, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 2881 (2002).
11. Y. P. Kong, L. Tan, S. W. Pang, and A. F. Yee, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 1873 (2004).
12. D. K. Owens and R. C. Wendt, J. Appl. Polym. Sci. 13, 1741 (1969).
13. L. J. Guo, X. Cheng, and C. F. Chou, Nano Lett. 4, 69 (2004).
14. H. Lim, Y. Lee, S. Han, J. Cho, and K. J. Kim, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 1490 (2001).