Low-temperature process for advanced Si thin film transistor technology

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers

Volumn 45, Issue 5 B, 2006, Pages 4321-4324

  Noguchi, Takashi ^a,b,c   Kwon, Jang Yeon ^a   Jung, Ji Sim ^a   Kim, Jong Man ^a   Park, Kyung Bae ^a   Lim, Hyuck ^a   Kim, Do Young ^a   Cho, Hans S ^a   Yin, Hua Xian ^a   Xianyu, Wenxyu ^a  

^a Samsung Advanced Institute of Technology (SAIT)   (South Korea)

^b Sungkyunkwan University   (South Korea)

^c Hanyang University   (South Korea)

Author keywords

ELA; ELC; Excimer laser; Flexible display; FPD; LCD; LTPS; O LED; Plastic; Polycrystalline; Si; SoP; TFT; U LTPS

Indexed keywords

EXCIMER LASERS; FLAT PANEL DISPLAYS; INFORMATION TECHNOLOGY; LIGHT EMITTING DIODES; LIQUID CRYSTAL DISPLAYS; PLASTICS; POLYCRYSTALLINE MATERIALS; THIN FILM TRANSISTORS;

ELA; ELC; FLEXIBLE DISPLAY; LTPS; ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE (O-LED); SOP; U-LTPS;

SILICON;

EID: 33744483532     PISSN: 00214922     EISSN: 13474065     Source Type: Journal    
DOI: 10.1143/JJAP.45.4321     Document Type: Review

References (26)

1. S. Morozumi, K. Oguchi, S. Yazawa, T. Kodaira, H. Ohshima and T. Mano: Dig. SID, 1983, p. 156.
2. Dig. Tech. Pap. AM-LCD, Symp. TFT System, 2001, p. 71.
3. T. Noguchi: Dig. IMID'01, 2001, p. 731.
4. J. S. Jung, J. Y. Kwon, Y. S. Park, H. S. Cho, K. B. Park, Y. X. Huaxiang, W. X. Xianyu and T. Noguchi: J. Korean Phys. Soc. 45 (2005) S861.
5. J. S. Jung, J. Y. Kwon, W. X. Xianyu, S. H. Jeong, S. W. Jeong, Y. H. Roh and T. Noguchi: Proc. Int. TFT Conf. (ITC), Korea, 2005, p. 126.
6. H. Kuriyama, T. Nohda, S. Ishida, T. Kuwahara, S. Noguchi, S. Kiyama, S.Tsuda and S. Nakano: Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1993) 6190.
7. R. S. Sposili and J. S. Im: Appl. Phys. Lett. 69 (1996) 2864.
8. N. Matsuo and H. Hamada: Tech. Rep. IEICE, ED2000-13, 2004, p. 21.
9. D. Y. Kim, K. B. Park, J. Y. Kwon, J. S. Jung, W. X. Xianyu, Y. S. Park and T. Noguchi: Dig. IMID'03, 2003, p. 657.
10. L. Mariucci, R. Carluccio, A. Pecora, V. Foglietti, G. Fortunato and D. D. Sala: Dig. Tech. Pap. AM-LCD, 1999. p. 283.
11. M. K. Han and I. H. Song: Dig. Tech. Pap. AM-LCD, 2003, p. 75.
12. K. B. Park, H. S. Cho, H. X. Yin, J. S. Jung, D. Y. Kim, W. X. Xianyu, J. Y. Kwon, Y. S. Park and T. Noguchi: Proc. 11th IDW, AMD5-4, 2004, p. 315.
13. T. Noguchi, J. A. Tsai, A. J. Tang and R. Reif: IEEE Trans. Electron Devices 43 (1996) 1454.
14. F. Omata and T. Serikawa: Dig. Tech. Pap. AM-LCD, 1999, p. 243.
15. D. Y. Kim, J. S. Jung, H. S. Cho, J. Y. Kwon, K. B. Park, H. Lim and T. Noguchi: Proc. 11th IDW, AMDp-11, 2004, p. 423.
16. K.-J. Kramer, S. Talwar, A. M. MaCarthy and K. H. Weimer: IEEE Electron Device Lett. 17 (1996) 461.
17. H. Lim, H. X. Yin, W. X. Xianyu, J. Y. Kwon, X. X. Zhang, H. S. Cho, J. M. Kim, K. B. Park, D. Y. Kim, J. S. Jung and T. Noguchi: Proc. ITC, 2005, p. 170.
18. H. Y. Yin, W. X. Xianyu, J. S. Jung, H. S. Cho, D. Y. Kim, K. B. Park, J. Y. Kwon and T. Noguchi: SID Int. Symp. Dig. Tech. Pap. 36 (2005) 1258.
19. W. Xianyu, H. Y. Yin, J. S. Jung, H. S. Cho, D. Y. Kim, K. B. Park, J. Y. Kwon and T. Noguchi: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 830 (2005) 159.
20. H. S. Cho, W. X. Xianyu, X. X. Zhang, H. Y. Yin, D. Y. Kim, K. B. Park, J. Y. Kwon and T. Noguchi: Proc. Electrochem. Soc. Symp. 2005-03 (2005) 243.
21. M. Han, S. H. Kang, M. Y. Shin and M. K. Han: IEDM Tech. Dig., 2003, p. 215.
22. D. P. Gosain, T. Noguchi and S. Usui: Jpn. J. Appl. Phys. 39 (2000) L179.
23. M. C. Lee, N. D. Young, D. J. Macculoch and R. M. Bunn: Dig. Tech. Pap. AM-LCD, 1997, p. 47.
24. J. Y. Kwon, D. Y. Kim, H. S. Cho, K. B. Park, J. S. Jung, J. M. Kim, Y. S. Park and T. Noguchi: IEICE Trans. Electron. E88-C (2005) 667.
25. D. Y. Kim, J. Y. Kwon, H. S. Cho, K. B. Park, J. S. Jung, J. M. Kim, Y. S. Park and T. Noguchi: Dig. Tech. Pap. AM LCD'05, 2005, p. 299.
26. S. Utsunomiya, T. Saeki, S. Inoue and T. Shimoda; Dig. Tech. Pap. AM LCD'05, 2002, p. 37.