Decoration of buried surfaces in Si detected by positron annihilation spectroscopy

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 1, 2006, Pages

  Brusa, R S ^a   MacChi, C ^a   Mariazzi, S ^a   Karwasz, G P ^a   Egger, W ^b   Sperr, P ^b   Kogel G ^b  

^a UNIVERSITY OF TRENTO   (Italy)

^b BUNDESWEHR UNIVERSITY MUNICH   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; DECORATION; DOPPLER EFFECT; HELIUM; MICROELECTRONICS; POSITRON ANNIHILATION SPECTROSCOPY; POSITRONS;

BURIED SURFACES; CAVITY TYPES; MICROCAVITIES; POSITRON TECHNIQUES;

SEMICONDUCTING SILICON;

EID: 33645537027     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2162691     Document Type: Article

References (24)

1. M. P. Petkov, C. L. Wang, M. H. Weber, K. G. Lynn, and K. P. Rodbell, J. Phys. Chem. B 107, 2725 (2003).
2. R. S. Brusa, M. Spagolla, G. P. Karwasz, A. Zecca, G. Ottaviani, F. Corni, M. Bacchetta, and E. Carollo, J. Appl. Phys. 95, 2398 (2004).
3. I. Mizushima, T. Sato, S. Taniguchi, and Y. Tsunashima, Appl. Phys. Lett. 77, 3290 (2000).
4. J. Pretet, S. Monfray, S. Cristoloveanu, and T. Skotnicki, IEEE Trans. Electron Devices 51, 240 (2004).
5. A. Paeva, P. F. P. Fichtner, D. L. da Silva, M. Behar, R. Koegler, and W. Skorupa, J. Appl. Phys. 91, 69 (2002).
6. D. A. Brett, G. de M. Azevedo, D. J. Llewellyn, and M. C. Ridgway, Appl. Phys. Lett. 83, 946 (2003).
7. S. Fabbroni, G. C. Gazzadi, L. Felisari, R. Tonini, F. Corni, and G. Ottavini, Appl. Phys. Lett. 85, 1683 (2004).
8. C. H. Yun, N. Quitoriano, and N. W. Cheung, Appl. Phys. Lett. 82, 1544 (2003).
9. V. C. Venezia, D. J. Eaglesham, T. E. Haynes, A. Agarwal, D. C. Jacobson, H. J. Gossmann, and F. H. Baumann, Appl. Phys. Lett. 73, 2980 (1998).
10. R. S. Brusa, G. P. Karwasz, N. Tiengo, A. Zecca, F. Corni, R. Tonini, and G. Ottaviani, Phys. Rev. B 61, 10154 (2000).
11. R. Tonini, F. Corni, C. Nobili, G. Ottaviani, F. Cazzaniga, and G. Queirolo, Solid State Phenom. 82-84, 291 (2002).
12. A. Agarwal, T. E. Haynes, V. C. Venezia, O. W. Holland, and D. J. Eaglesham, Appl. Phys. Lett. 72, 1086 (1998).
13. R. Krause-Rehberg and H. S. Leipner, Positron Annihilation in Semiconductors, Defect Studies, Springer Series in Solid State Science (Springer, Berlin, 1999).
14. M. Alatalo, H. Kauppinen, K. Saarinen, M. J. Puska, J. Mäkinen, P. Hautojärvi, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 51, 4176 (1995).
15. P. Asoka-Kumar, M. Alatalo, V. J. Ghosh, A. C. Kruseman, B. Nielsen, and K. G. Lynn, Phys. Rev. Lett. 77, 2097 (1996).
16. S. Szpala, P. Asoka-Kumar, B. Nielsen, J. P. Peng, S. Hayakawa, and K. G. Lynn, Phys. Rev. B 54, 4722 (1996).
17. P. Asoka-Kumar, K. G. Lynn, and D. O. Welch, J. Appl. Phys. 76, 4935 (1994).
18. A. Zecca, M. Bettonte, J. Paridaens, G. P. Karwasz, and R. S. Brusa, Meas. Sci. Technol. 9, 1 (1998).
19. W. Bauer-Kugelmann, P. Sperr, G. Kögel, and W. Triftshäuser, Mater. Sci. Forum 363-365, 529 (2001).
20. W. Bauer-Kugelmann, J. A. Duffy, J. Störmer, G. Kögel, and W. Triftshäuser, Appl. Surf. Sci. 116, 231 (1997).
21. R. S. Brusa, C. Macchi, S. Mariazzi, G. P. Karwasz, W. Egger, P. Sperr, and G. Kögel, Phys. Rev. B 71, 245320 (2005).
22. R. S. Brusa, W. Deng, G. P. Karwasz, A. Zecca, and D. Pliszka, Appl. Phys. Lett. 79, 149 (2001).
23. M. Hakala, M. J. Puska, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 57, 7621 (1998).
24. Computer Program PATFIT, RISO National Laboratory, Denmark, 1998.