Fabrication of enclosed nanochannels in poly(methylmethacrylate) using proton beam writing and thermal bonding

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 9, 2006, Pages

  Shao, P E ^a   Van Kan, A ^a   Wang, L P ^a   Ansari, K ^a   Bettiol, A A ^a   Watt, F ^a  

^a NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE   (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

INTEGRATED CIRCUITS; NANOSTRUCTURED MATERIALS; OPTICAL INTERCONNECTS; POLYMERS; SUBSTRATES;

KAPTON SUBSTRATE; PROTON BEAM WRITING; THERMAL BONDING;

PROTON BEAMS;

EID: 33644667350     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2181631     Document Type: Article

References (27)

1. B. H. Weigl and P. Yager, Science 283, 346 (1999).
2. J. Han and H. G. Craighead, Science 288, 1026 (2000).
3. M. Baba, T. Sano, N. Iguchi, K. Iida, T. Sakamoto, and H. Kawaura, Appl. Phys. Lett. 83, 1468 (2003).
4. P. K. Wong, T. H. Wang, J. H. Deval, and C. M. Ho, IEEE/ASME Trans. Mechatron. 9, 366 (2004).
5. S. M. Stavis, J. B. Edel, K. T. Samiee, and H. G. Craighead, Lab Chip 5, 337 (2005).
6. Q. S. Pu, J. S. Yun, H. Temkin, and S. R. Liu, Nano Lett. 4, 1099 (2004).
7. W. Reisner, K. J. Morton, R. Riehn, Y. M. Wang, Z. Yu, M. Rosen, J. C. Sturm, S. Y. Chou, E. Frey, and R. H. Austin, Phys. Rev. Lett. 94, 196101 (2005).
8. F. Watt, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 158, 165 (1999).
9. G. M. Whitesides and J. C. Love, Sci. Am. 285, 38 (2001).
10. D. Mijatovic, J. C. Eijkel, and A. van den Berg, Lab Chip 5, 492 (2005).
11. F. Watt, A. A. Bettiol, J. A. Van Kan, E. J. Teo, and M. B. H. Breese, Int. J. Nanosci. 4, 269 (2005).
12. S. Quake and A. Scherer, Science 290, 1536 (2000).
13. M. Noerholm, H. Bruus, M. H. Jakobsen, P. Telleman, and N. B. Ramsing, Lab Chip 4, 28 (2004).
14. J. Kameoka, H. G. Craighead, H. Zhang, and J. Henion, Anal. Chem. 73, 1935 (2001).
15. S. A. Soper, S. M. Ford, S. Qi, R. L. McCarley, K. Kelly, and M. C. Murphy, Anal. Chem. 72, 643A (2000).
16. F. Hua, Y. Sun, A. Gaur, M. A. Meitl, L. Bilhaut, L. Rotkina, J. Wang, P. Geil, M. Shim, J. A. Rogers, and A. Shim, Nano Lett. 4, 2467 (2004).
17. W. K. Schomburg, R. Ahrens, W. Bacher, J. Martin, and V. Saile, Sens. Actuators, A A76, 343 (1999).
18. J. Li, D. Chen, and G. Chen, Anal. Lett. 38, 1127 (2005).
19. A. A. Yussu, I. Sbarski, J. P. Hayes, M. Solomon, and N. Tran, J. Micromech. Microeng. 15, 1692 (2005).
20. H. Cao, Z. Yua, J. Wang, E. Chen, W. Wua, J. Tegenfeldt, R. Austin, and S. Chou, Appl. Phys. Lett. 81, 174 (2002).
21. J. M. Ng, I. Gitlin, A. D. Stroock, and G. M. Whitesides, Electrophoresis 23, 3461 (2002).
22. J. A. Van Kan, A. A. Bettiol, and F. Watt, Appl. Phys. Lett. 83, 1629 (2003).
23. J. Biersack and L. G. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods 174, 257 (1980).
24. J. A. van Kan, A. A. Bettiol, and F. Watt, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 777, T2.1.1 (2003).
25. K. Ansari, J. A. van Kan, A. A. Bettiol, and F. Watt, Appl. Phys. Lett. 85, 476 (2004).
26. F. Watt, J. A. van Kan, I. Rajta, A. A. Bettiol, T. F. Choo, M. B. H. Breese, and T. Osipowicz, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 210, 14 (2003).
27. S. V. Springham, T. Osipowicz, J. L. Sanchez, L. H. Gan, and F. Watt, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 130, 155 (1997).