메뉴 건너뛰기




Volumn 96, Issue 1, 2004, Pages 164-169

Electronic stopping cross sections in silicon carbide for low-velocity ions with 1≤Z1≤15

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHIZATION; APPROXIMATION THEORY; CARBON; COMPUTATIONAL METHODS; DATA REDUCTION; ELECTRONS; HEAVY IONS; ION BEAMS; ION IMPLANTATION; MONTE CARLO METHODS; PARAMETER ESTIMATION; SWELLING;

EID: 3142747642     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1737810     Document Type: Article
Times cited : (21)

References (32)
  • 11
    • 0000893971 scopus 로고    scopus 로고
    • M. V. Rao, J. A. Gardner, P. H. Chi, O. W. Holland, G. Kelner, J. Kretchmer, and M. Ghezzo, J. Appl. Phys. 81, 6635 (1997); J. Gardner, M. V. Rao, O. W. Holland, G. Kelner, D. S. Simons, P. H. Chi, J. M. Andrews, J. Kretchmer, and M. Ghezzo, J. Electron. Mater. 25, 885 (1996); M. V. Rao, P. Griffiths, O. W. Holland, G. Kelner, J. J. A. Freitas, D. S. Simons, P. H. Chi, and M. Ghezzo, J. Appl. Phys. 77, 2479 (1995).
    • (1997) J. Appl. Phys. , vol.81 , pp. 6635
    • Rao, M.V.1    Gardner, J.A.2    Chi, P.H.3    Holland, O.W.4    Kelner, G.5    Kretchmer, J.6    Ghezzo, M.7
  • 13
    • 14344277817 scopus 로고
    • M. V. Rao, J. A. Gardner, P. H. Chi, O. W. Holland, G. Kelner, J. Kretchmer, and M. Ghezzo, J. Appl. Phys. 81, 6635 (1997); J. Gardner, M. V. Rao, O. W. Holland, G. Kelner, D. S. Simons, P. H. Chi, J. M. Andrews, J. Kretchmer, and M. Ghezzo, J. Electron. Mater. 25, 885 (1996); M. V. Rao, P. Griffiths, O. W. Holland, G. Kelner, J. J. A. Freitas, D. S. Simons, P. H. Chi, and M. Ghezzo, J. Appl. Phys. 77, 2479 (1995).
    • (1995) J. Appl. Phys. , vol.77 , pp. 2479
    • Rao, M.V.1    Griffiths, P.2    Holland, O.W.3    Kelner, G.4    Freitas, J.J.A.5    Simons, D.S.6    Chi, P.H.7    Ghezzo, M.8
  • 18
    • 0001233220 scopus 로고
    • J. H. Ormrud and H. E. Duckworth, Can. J. Phys. 41, 1424 (1963); J. H. Ormrud, J. R. Macdonald, and H. E. Duckworth, ibid. 43, 275 (1965).
    • (1963) Can. J. Phys. , vol.41 , pp. 1424
    • Ormrud, J.H.1    Duckworth, H.E.2
  • 28
    • 3142697643 scopus 로고    scopus 로고
    • Ph.D. Thesis, Royal Institute of Technology (KTH), Stockholm
    • M. S. Janson, Ph.D. Thesis, Royal Institute of Technology (KTH), Stockholm, 2003.
    • (2003)
    • Janson, M.S.1


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.